1 報告の範囲
1.1 市場概要
1.2 対象期間
1.3 研究目的
1.4 市場調査手法
1.5 研究プロセスとデータソース
1.6 経済指標
1.7 対象通貨
1.8 市場推計の留意点
2 執行要約
2.1 世界市場の概要
2.1.1 グローバルスパッタリング装置の年間販売額（2020年～2031年）
2.1.2 地域別スパッタリング装置の現状と将来分析（2020年、2024年、2031年）
2.1.3 2020年、2024年、2031年の国/地域別スパッタリング装置の現状と将来分析
2.2 スパッタリング装置のセグメント別分析（タイプ別）
2.2.1 物理スパッタリング
2.2.2 電子スパッタリング
2.2.3 エッチングおよび化学スパッタリング
2.3 タイプ別スパッタリング装置の販売額
2.3.1 グローバルスパッタリング装置販売市場シェア（種類別）（2020-2025）
2.3.2 グローバルスパッタリング装置の売上高と市場シェア（種類別）（2020-2025）
2.3.3 グローバルスパッタリング装置の販売価格（種類別）（2020-2025）
2.4 応用分野別スパッタリング装置セグメント
2.4.1 自動車
2.4.2 医療
2.4.3 消費者向け電子機器
2.4.4 その他
2.5 アプリケーション別スパッタリング装置の販売額
2.5.1 グローバルスパッタリング装置販売市場シェア（用途別）（2020-2025）
2.5.2 グローバルスパッタリング装置の売上高と市場シェア（用途別）（2020-2025）
2.5.3 アプリケーション別スパッタリング装置販売価格（2020-2025）
3 グローバル企業別
3.1 グローバルスパッタリング装置の企業別内訳データ
3.1.1 グローバルスパッタリング装置の年間販売額（企業別）（2020-2025）
3.1.2 グローバルスパッタリング装置の売上高市場シェア（企業別）（2020-2025）
3.2 グローバルスパッタリング装置の年間売上高（企業別）（2020-2025）
3.2.1 グローバルスパッタリング装置の売上高（企業別）（2020-2025）
3.2.2 グローバルスパッタリング装置の売上高市場シェア（企業別）（2020-2025）
3.3 グローバルスパッタリング装置の企業別販売価格
3.4 主要メーカーのスパッタリング装置の製造地域分布、販売地域、製品タイプ
3.4.1 主要メーカーのスパッタリング装置製品所在地分布
3.4.2 主要メーカーのスパッタリング装置製品ラインナップ
3.5 市場集中率分析
3.5.1 競争環境分析
3.5.2 集中率（CR3、CR5、CR10）および（2023-2025）
3.6 新製品と潜在的な新規参入企業
3.7 市場M&A活動と戦略
4 地域別スパッタリング装置の世界歴史的動向
4.1 世界地域別スパッタリング装置市場規模（2020-2025）
4.1.1 地域別スパッタリング装置の年間売上高（2020-2025）
4.1.2 地域別グローバルスパッタリング装置年間売上高（2020-2025）
4.2 世界スパッタリング装置市場規模（地域別）（2020-2025）
4.2.1 グローバルスパッタリング装置の年間販売額（国/地域別）（2020-2025）
4.2.2 グローバルスパッタリング装置の年間売上高（地域別）（2020-2025）
4.3 アメリカズ スパッタリング装置の売上成長率
4.4 アジア太平洋地域（APAC）のスパッタリング装置販売成長率
4.5 欧州のスパッタリング装置販売成長率
4.6 中東・アフリカ地域 スパッタリング装置の売上高成長率
5 アメリカ
5.1 アメリカ大陸のスパッタリング装置販売額（国別）
5.1.1 アメリカ大陸のスパッタリング装置販売額（国別）（2020-2025）
5.1.2 アメリカ大陸のスパッタリング装置売上高（国別）（2020-2025）
5.2 アメリカ大陸のスパッタリング装置販売量（2020-2025）
5.3 アメリカ大陸のスパッタリング装置販売額（用途別）（2020-2025）
5.4 アメリカ合衆国
5.5 カナダ
5.6 メキシコ
5.7 ブラジル
6 アジア太平洋地域
6.1 APAC地域別スパッタリング装置販売額
6.1.1 APAC地域別スパッタリング装置販売額（2020-2025）
6.1.2 APAC地域別スパッタリング装置売上高（2020-2025）
6.2 アジア太平洋地域（APAC）のスパッタリング装置販売額（2020-2025）
6.3 APAC スパッタリング装置の販売量（地域別）（2020-2025）
6.4 中国
6.5 日本
6.6 韓国
6.7 東南アジア
6.8 インド
6.9 オーストラリア
6.10 中国・台湾
7 ヨーロッパ
7.1 欧州のスパッタリング装置の地域別市場規模
7.1.1 欧州 スパッタリング装置の売上高（国別）（2020-2025）
7.1.2 欧州 スパッタリング装置の売上高（国別）（2020-2025）
7.2 欧州 スパッタリング装置の売上高（種類別）（2020-2025）
7.3 欧州スパッタリング装置の売上高（用途別）（2020-2025）
7.4 ドイツ
7.5 フランス
7.6 イギリス
7.7 イタリア
7.8 ロシア
8 中東・アフリカ
8.1 中東・アフリカ地域 スパッタリング装置の市場規模（国別）
8.1.1 中東・アフリカ地域 スパッタリング装置の売上高（国別）（2020-2025）
8.1.2 中東・アフリカ地域 スパッタリング装置の売上高（国別）（2020-2025）
8.2 中東・アフリカ地域 スパッタリング装置の売上高（種類別）（2020-2025）
8.3 中東・アフリカ地域 スパッタリング装置の売上高（用途別）（2020-2025）
8.4 エジプト
8.5 南アフリカ
8.6 イスラエル
8.7 トルコ
8.8 GCC諸国
9 市場動向、課題、およびトレンド
9.1 市場ドライバーと成長機会
9.2 市場課題とリスク
9.3 業界の動向
10 製造コスト構造分析
10.1 原材料とサプライヤー
10.2 スパッタリング装置の製造コスト構造分析
10.3 スパッタリング装置の製造プロセス分析
10.4 スパッタリング装置の産業チェーン構造
11 マーケティング、販売代理店および顧客
11.1 販売チャネル
11.1.1 直接チャネル
11.1.2 間接チャネル
11.2 スパッタリング装置のディストリビューター
11.3 スパッタリング装置の顧客
12 地域別スパッタリング装置の世界市場予測レビュー
12.1 地域別スパッタリング装置市場規模予測
12.1.1 地域別スパッタリング装置市場予測（2026-2031）
12.1.2 地域別スパッタリング装置の年間売上高予測（2026-2031）
12.2 アメリカ地域別予測（2026-2031）
12.3 アジア太平洋地域別予測（2026-2031）
12.4 欧州地域別予測（2026-2031年）
12.5 中東・アフリカ地域別予測（2026-2031年）
12.6 グローバル スパッタリング装置 タイプ別予測（2026-2031）
12.7 グローバルスパッタリング装置市場予測（用途別）（2026-2031）
13 主要企業分析
13.1 応用材料
13.1.1 応用材料会社情報
13.1.2 応用材料のスパッタリング装置製品ポートフォリオと仕様
13.1.3 応用材料のスパッタリング装置の売上高、収益、価格、粗利益率（2020-2025）
13.1.4 応用材料の主要事業概要
13.1.5 応用材料の最新動向
13.2 キヤノンアネルバ株式会社
13.2.1 キヤノンアネルバ株式会社 会社概要
13.2.2 キヤノンアネルバ株式会社 スパッタリング装置の製品ポートフォリオと仕様
13.2.3 キヤノンアネルバ株式会社 スパッタリング装置の売上高、収益、価格、粗利益率（2020-2025）
13.2.4 キヤノンアネルバ株式会社 主な事業概要
13.2.5 キヤノンアネルバ株式会社の最新動向
13.3 オエリコン
13.3.1 オエリコン会社概要
13.3.2 オエリコン スパッタリング装置の製品ポートフォリオと仕様
13.3.3 オエリコン スパッタリング装置の売上高、収益、価格、粗利益率（2020-2025）
13.3.4 オエリコンの主要事業概要
13.3.5 Oerlikonの最新動向
13.4 ULVAC Technologies
13.4.1 ULVAC Technologies 会社概要
13.4.2 ULVAC Technologies スパッタリング装置の製品ポートフォリオと仕様
13.4.3 ULVAC Technologies スパッタリング装置の売上高、収益、価格、粗利益率（2020-2025）
13.4.4 ULVAC Technologies 主な事業概要
13.4.5 ULVAC Technologiesの最新動向
13.5 Kolzer
13.5.1 Kolzer 会社概要
13.5.2 Kolzer スパッタリング装置の製品ポートフォリオと仕様
13.5.3 Kolzer スパッタリング装置の売上高、収益、価格、粗利益率（2020-2025）
13.5.4 Kolzer 主な事業概要
13.5.5 Kolzerの最新動向
13.6 神戸製鋼
13.6.1 神戸製鋼会社概要
13.6.2 神戸製鋼のスパッタリング装置製品ポートフォリオと仕様
13.6.3 神戸製鋼のスパッタリング装置の売上高、収益、価格、粗利益率（2020-2025）
13.6.4 神戸製鋼の主要事業概要
13.6.5 神戸製鋼の最新動向
13.7 サティスロ
13.7.1 サティスロ社概要
13.7.2 サティスロのスパッタリング装置製品ポートフォリオと仕様
13.7.3 サティスロフ スパッタリング装置の売上高、収益、価格、粗利益率（2020-2025）
13.7.4 サティスロフの主要事業概要
13.7.5 サティスロの最新動向
13.8 ボブスト
13.8.1 ボブスト会社概要
13.8.2 ボブスト スパッタリング装置の製品ポートフォリオと仕様
13.8.3 ボブスト スパッタリング装置の売上高、収益、価格、粗利益率（2020-2025）
13.8.4 ボブストの主要事業概要
13.8.5 ボブストの最新動向
13.9 Izovac
13.9.1 Izovac 会社情報
13.9.2 Izovac スパッタリング装置の製品ポートフォリオと仕様
13.9.3 Izovac スパッタリング装置の売上高、収益、価格、粗利益率（2020-2025）
13.9.4 Izovac 主な事業概要
13.9.5 イゾヴァックの最新動向
13.10 JXニッポン鉱業・金属
13.10.1 JXニッポン鉱業・金属会社概要
13.10.2 JXニッポン鉱業・金属 スパッタリング装置の製品ポートフォリオと仕様
13.10.3 JXニッポン鉱業・金属 スパッタリング装置の売上高、収益、価格、粗利益率（2020-2025）
13.10.4 JXニッポン鉱業・金属 主要事業概要
13.10.5 JX日本鉱業・金属の最新動向
14 研究結果と結論
14.1.1 JXニッポン鉱業・金属 事業概要

1 Scope of the Report
1.1 Market Introduction
1.2 Years Considered
1.3 Research Objectives
1.4 Market Research Methodology
1.5 Research Process and Data Source
1.6 Economic Indicators
1.7 Currency Considered
1.8 Market Estimation Caveats
2 Executive Summary
2.1 World Market Overview
2.1.1 Global Sputtering Equipment Annual Sales 2020-2031
2.1.2 World Current & Future Analysis for Sputtering Equipment by Geographic Region, 2020, 2024 & 2031
2.1.3 World Current & Future Analysis for Sputtering Equipment by Country/Region, 2020, 2024 & 2031
2.2 Sputtering Equipment Segment by Type
2.2.1 Physics Sputtering
2.2.2 Electronic Sputtering
2.2.3 Etching and Chemical Sputtering
2.3 Sputtering Equipment Sales by Type
2.3.1 Global Sputtering Equipment Sales Market Share by Type (2020-2025)
2.3.2 Global Sputtering Equipment Revenue and Market Share by Type (2020-2025)
2.3.3 Global Sputtering Equipment Sale Price by Type (2020-2025)
2.4 Sputtering Equipment Segment by Application
2.4.1 Automotive
2.4.2 Healthcare
2.4.3 Consumer Electronics
2.4.4 Others
2.5 Sputtering Equipment Sales by Application
2.5.1 Global Sputtering Equipment Sale Market Share by Application (2020-2025)
2.5.2 Global Sputtering Equipment Revenue and Market Share by Application (2020-2025)
2.5.3 Global Sputtering Equipment Sale Price by Application (2020-2025)
3 Global by Company
3.1 Global Sputtering Equipment Breakdown Data by Company
3.1.1 Global Sputtering Equipment Annual Sales by Company (2020-2025)
3.1.2 Global Sputtering Equipment Sales Market Share by Company (2020-2025)
3.2 Global Sputtering Equipment Annual Revenue by Company (2020-2025)
3.2.1 Global Sputtering Equipment Revenue by Company (2020-2025)
3.2.2 Global Sputtering Equipment Revenue Market Share by Company (2020-2025)
3.3 Global Sputtering Equipment Sale Price by Company
3.4 Key Manufacturers Sputtering Equipment Producing Area Distribution, Sales Area, Product Type
3.4.1 Key Manufacturers Sputtering Equipment Product Location Distribution
3.4.2 Players Sputtering Equipment Products Offered
3.5 Market Concentration Rate Analysis
3.5.1 Competition Landscape Analysis
3.5.2 Concentration Ratio (CR3, CR5 and CR10) & (2023-2025)
3.6 New Products and Potential Entrants
3.7 Market M&A Activity & Strategy
4 World Historic Review for Sputtering Equipment by Geographic Region
4.1 World Historic Sputtering Equipment Market Size by Geographic Region (2020-2025)
4.1.1 Global Sputtering Equipment Annual Sales by Geographic Region (2020-2025)
4.1.2 Global Sputtering Equipment Annual Revenue by Geographic Region (2020-2025)
4.2 World Historic Sputtering Equipment Market Size by Country/Region (2020-2025)
4.2.1 Global Sputtering Equipment Annual Sales by Country/Region (2020-2025)
4.2.2 Global Sputtering Equipment Annual Revenue by Country/Region (2020-2025)
4.3 Americas Sputtering Equipment Sales Growth
4.4 APAC Sputtering Equipment Sales Growth
4.5 Europe Sputtering Equipment Sales Growth
4.6 Middle East & Africa Sputtering Equipment Sales Growth
5 Americas
5.1 Americas Sputtering Equipment Sales by Country
5.1.1 Americas Sputtering Equipment Sales by Country (2020-2025)
5.1.2 Americas Sputtering Equipment Revenue by Country (2020-2025)
5.2 Americas Sputtering Equipment Sales by Type (2020-2025)
5.3 Americas Sputtering Equipment Sales by Application (2020-2025)
5.4 United States
5.5 Canada
5.6 Mexico
5.7 Brazil
6 APAC
6.1 APAC Sputtering Equipment Sales by Region
6.1.1 APAC Sputtering Equipment Sales by Region (2020-2025)
6.1.2 APAC Sputtering Equipment Revenue by Region (2020-2025)
6.2 APAC Sputtering Equipment Sales by Type (2020-2025)
6.3 APAC Sputtering Equipment Sales by Application (2020-2025)
6.4 China
6.5 Japan
6.6 South Korea
6.7 Southeast Asia
6.8 India
6.9 Australia
6.10 China Taiwan
7 Europe
7.1 Europe Sputtering Equipment by Country
7.1.1 Europe Sputtering Equipment Sales by Country (2020-2025)
7.1.2 Europe Sputtering Equipment Revenue by Country (2020-2025)
7.2 Europe Sputtering Equipment Sales by Type (2020-2025)
7.3 Europe Sputtering Equipment Sales by Application (2020-2025)
7.4 Germany
7.5 France
7.6 UK
7.7 Italy
7.8 Russia
8 Middle East & Africa
8.1 Middle East & Africa Sputtering Equipment by Country
8.1.1 Middle East & Africa Sputtering Equipment Sales by Country (2020-2025)
8.1.2 Middle East & Africa Sputtering Equipment Revenue by Country (2020-2025)
8.2 Middle East & Africa Sputtering Equipment Sales by Type (2020-2025)
8.3 Middle East & Africa Sputtering Equipment Sales by Application (2020-2025)
8.4 Egypt
8.5 South Africa
8.6 Israel
8.7 Turkey
8.8 GCC Countries
9 Market Drivers, Challenges and Trends
9.1 Market Drivers & Growth Opportunities
9.2 Market Challenges & Risks
9.3 Industry Trends
10 Manufacturing Cost Structure Analysis
10.1 Raw Material and Suppliers
10.2 Manufacturing Cost Structure Analysis of Sputtering Equipment
10.3 Manufacturing Process Analysis of Sputtering Equipment
10.4 Industry Chain Structure of Sputtering Equipment
11 Marketing, Distributors and Customer
11.1 Sales Channel
11.1.1 Direct Channels
11.1.2 Indirect Channels
11.2 Sputtering Equipment Distributors
11.3 Sputtering Equipment Customer
12 World Forecast Review for Sputtering Equipment by Geographic Region
12.1 Global Sputtering Equipment Market Size Forecast by Region
12.1.1 Global Sputtering Equipment Forecast by Region (2026-2031)
12.1.2 Global Sputtering Equipment Annual Revenue Forecast by Region (2026-2031)
12.2 Americas Forecast by Country (2026-2031)
12.3 APAC Forecast by Region (2026-2031)
12.4 Europe Forecast by Country (2026-2031)
12.5 Middle East & Africa Forecast by Country (2026-2031)
12.6 Global Sputtering Equipment Forecast by Type (2026-2031)
12.7 Global Sputtering Equipment Forecast by Application (2026-2031)
13 Key Players Analysis
13.1 Applied Materials
13.1.1 Applied Materials Company Information
13.1.2 Applied Materials Sputtering Equipment Product Portfolios and Specifications
13.1.3 Applied Materials Sputtering Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.1.4 Applied Materials Main Business Overview
13.1.5 Applied Materials Latest Developments
13.2 Canon Anelva Corporation
13.2.1 Canon Anelva Corporation Company Information
13.2.2 Canon Anelva Corporation Sputtering Equipment Product Portfolios and Specifications
13.2.3 Canon Anelva Corporation Sputtering Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.2.4 Canon Anelva Corporation Main Business Overview
13.2.5 Canon Anelva Corporation Latest Developments
13.3 Oerlikon
13.3.1 Oerlikon Company Information
13.3.2 Oerlikon Sputtering Equipment Product Portfolios and Specifications
13.3.3 Oerlikon Sputtering Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.3.4 Oerlikon Main Business Overview
13.3.5 Oerlikon Latest Developments
13.4 ULVAC Technologies
13.4.1 ULVAC Technologies Company Information
13.4.2 ULVAC Technologies Sputtering Equipment Product Portfolios and Specifications
13.4.3 ULVAC Technologies Sputtering Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.4.4 ULVAC Technologies Main Business Overview
13.4.5 ULVAC Technologies Latest Developments
13.5 Kolzer
13.5.1 Kolzer Company Information
13.5.2 Kolzer Sputtering Equipment Product Portfolios and Specifications
13.5.3 Kolzer Sputtering Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.5.4 Kolzer Main Business Overview
13.5.5 Kolzer Latest Developments
13.6 Kobe Steel
13.6.1 Kobe Steel Company Information
13.6.2 Kobe Steel Sputtering Equipment Product Portfolios and Specifications
13.6.3 Kobe Steel Sputtering Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.6.4 Kobe Steel Main Business Overview
13.6.5 Kobe Steel Latest Developments
13.7 Satisloh
13.7.1 Satisloh Company Information
13.7.2 Satisloh Sputtering Equipment Product Portfolios and Specifications
13.7.3 Satisloh Sputtering Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.7.4 Satisloh Main Business Overview
13.7.5 Satisloh Latest Developments
13.8 Bobst
13.8.1 Bobst Company Information
13.8.2 Bobst Sputtering Equipment Product Portfolios and Specifications
13.8.3 Bobst Sputtering Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.8.4 Bobst Main Business Overview
13.8.5 Bobst Latest Developments
13.9 Izovac
13.9.1 Izovac Company Information
13.9.2 Izovac Sputtering Equipment Product Portfolios and Specifications
13.9.3 Izovac Sputtering Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.9.4 Izovac Main Business Overview
13.9.5 Izovac Latest Developments
13.10 JX Nippon Mining & Metals
13.10.1 JX Nippon Mining & Metals Company Information
13.10.2 JX Nippon Mining & Metals Sputtering Equipment Product Portfolios and Specifications
13.10.3 JX Nippon Mining & Metals Sputtering Equipment Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.10.4 JX Nippon Mining & Metals Main Business Overview
13.10.5 JX Nippon Mining & Metals Latest Developments
14 Research Findings and Conclusion

※参考情報 スパッタリング装置とは、薄膜形成技術の一種であり、主に半導体デバイス、光学デバイス、マイクロエレクトロニクス、金属コーティングなどの分野で使用される装置です。この技術は、固体材料から原子や分子を取り除き、基板上に薄膜を形成するプロセスに基づいています。スパッタリングは、真空中で行われるため、非常に高品質な薄膜を得ることが可能です。 スパッタリング装置の基本的な動作原理は、ターゲットと呼ばれる材料に高エネルギーのイオンビームを照射することによって、ターゲットから原子や分子を叩き出し、それを基板に deposition することです。このプロセスでは、イオンビームは一般的にアルゴンなどの惰性ガスから生成されます。ターゲット材料は、金属、セラミックス、合金など、さまざまな材質から選択できます。この技術によって作成される薄膜は、均一で高純度の特性を示すため、多くの産業で広く利用されています。 スパッタリング装置の特徴の一つとして、プロセスの制御が挙げられます。スパッタリングは、ターゲットと基板間の距離、スパッタリング環境の圧力、ガスフロー、電圧など、多数のパラメータを調整可能です。これにより、膜特性や膜厚の精密な制御が実現し、特定の用途に応じた材料特性を持つ薄膜を得ることが可能になります。また、スパッタリングは、化合物や合金をターゲット材料とする場合でも、均一な薄膜を形成できる特性を持っています。 スパッタリング装置には、大きく分けて二つの主要な種類があります。一つは直流スパッタリング（DCスパッタリング）、もう一つは高周波スパッタリング（RFスパッタリング）です。DCスパッタリングでは、金属ターゲットに直流電圧を印加し、イオンを生成します。この方法は金属材料に対して非常に効果的で、広く使用されています。一方、高周波スパッタリングは、絶縁体やセミコンドクタ材料に適用されます。高周波電力を利用してターゲットを励起させることで、より高い効率でスパッタリングを行うことができます。 スパッタリング装置の用途は多岐にわたります。半導体産業では、トランジスタや集積回路の製造において、金属配線や絶縁膜の形成に用いられます。また、光学デバイスでは、反射防止コーティングやフィルター製造において重要な役割を果たします。さらには、表面強化や耐食性向上を目的とした金属コーティングや、エネルギー保存技術としての薄膜太陽電池の製造にも利用されています。 スパッタリング技術に関連する技術も多く存在します。例えば、蒸着（ヴェイポレーション）やCVD（化学気相成長）といった他の薄膜形成技術とは異なり、スパッタリングは固体から直接原子を叩き出すため、膜の構造や性質が異なります。特に、スパッタリングは、薄膜の密着性や均一性、さらには膜厚の均一性が求められる場面において非常に高いパフォーマンスを示します。 さらに、近年では、ナノテクノロジーの発展に伴い、ナノスケールの薄膜材料の開発にもスパッタリングが用いられています。これにより、電子デバイスやフォトニクスデバイスにおいて、さらに高精度で機能的な薄膜を作成することが可能となりました。 スパッタリング装置は、その高い柔軟性と広い適用範囲によって、今後も様々な分野での薄膜形成プロセスにおいて重要な役割を果たし続けることが期待されています。特に、新しい材料やデバイスの開発が進む中で、スパッタリング技術は、その特徴を活かしてさらなる進化を遂げることでしょう。例えば、量子ドットやグラフェンなどの新素材の薄膜成長においても、スパッタリング技術が鍵を握る可能性があります。 このように、スパッタリング装置は、現代の技術社会において不可欠な存在であり、その進展が今後も多くの分野において新たな革新をもたらすことが期待されています。科学技術の進化と共に、新たなニーズにも応える柔軟な技術であり続けるでしょう。スパッタリング装置の研究と開発は、今後ますます重要になると考えられます。

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