極低温ポンプのグローバル市場:タイプ別(遠心ポンプ、容積式ポンプ)、最終用途産業別(エネルギー・発電産業、ヘルスケア産業、電気・電子産業、冶金産業、化学産業、その他)、および地域別 2025年~2033年

※本調査レポートは英文PDF形式で、以下は英語を日本語に自動翻訳した内容です。レポートの詳細内容はサンプルでご確認ください。

❖本調査レポートの見積依頼/サンプル/購入/質問フォーム❖

世界の極低温ポンプ市場は、2024年に7億7190万ドル規模に達し、2025年から2033年にかけて年平均成長率(CAGR)5.2%で成長し、2033年には12億1620万ドルに達すると予測されています。この市場成長の主要な推進要因は、発電や輸送における液化天然ガス(LNG)の需要増加、ポンプ設計、材料、安全機能の継続的な改善、そして世界的な急速な産業発展です。

特に、LNGは石炭に代わるクリーンなエネルギー源として多くの国で利用が拡大しており、極低温ポンプはLNGの液化、生産、貯蔵、流通といったバリューチェーン全体で不可欠な役割を担っています。これらのポンプは、必要な低温度でLNGを安全かつ効率的に供給することで、プロセス全体の完全性と有効性を支えています。例えば、米国は2023年に平均日量119億立方フィート(Bcf/d)のLNGを輸出し、前年比12%増を記録するなど、LNG需要の増加が極低温ポンプ市場の価格と需要に直接的な影響を与えています。

また、医療および生物医学分野での応用拡大も市場成長を力強く後押ししています。極低温ポンプは、血液、組織、小型臓器などの生体材料を極低温で長期保存する様々な凍結保存プロセスにおいて、極めて重要な役割を果たします。医療研究の進展に伴い、バイオバンキングや臓器保存サービスへの需要が高まっており、これらは極低温貯蔵システムに大きく依存しています。IMARCグループのデータによると、バイオバンキング市場は2023年に610億ドルと評価され、2024年から2032年にかけて年平均成長率5.4%で成長すると予測されています。さらに、医薬品業界でも、低温保存が必要な薬剤やワクチンの保存にこれらのポンプが利用されており、医療分野における厳格な安全性と信頼性の要件が、高品質な極低温ポンプの需要を一層高めています。

技術革新も市場の成長を牽引する重要な要素です。材料科学と工学の進歩により、より信頼性が高く、堅牢で効率的な極低温ポンプが開発されています。現代のポンプは、高度なシール、コンピューター制御システム、その他の安全機能により、操作が容易になっています。これらの技術的改善は、ポンプの寿命を延ばすだけでなく、運用コストの削減にも寄与し、石油化学や航空宇宙産業など、多様な産業での採用を促進しています。例えば、航空宇宙産業協会(AIA)の報告によると、航空宇宙・防衛分野の輸出は2022年に4.4%増加し、総額1048億ドルに達しており、このような産業の成長も極低温ポンプの需要を刺激しています。

地理的トレンドとしては、LNGインフラへの投資拡大と政府の有利な政策に支えられ、アジア太平洋地域が市場を支配しています。

市場は高い初期投資コストと極低温物質の取り扱いに関する専門知識の必要性という課題に直面していますが、主要企業は革新と費用対効果が高く、使いやすいソリューションの開発を通じて、新たな市場機会を創出しています。

主要な市場プレイヤーには、Atlas Copco、Cryostar SAS (Linde plc)、Fives (Novafives S.A.S.)、Sulzer Ltd.、Weir Group PLC.、Nikkiso Co. Ltd.などが挙げられます。市場はタイプ別に遠心ポンプと容積式ポンプに分類され、遠心ポンプが最大の市場セグメントを占めています。これらの複合的な要因により、極低温ポンプ市場は今後も着実な成長を続けると見込まれています。

極低温ポンプ市場において、遠心ポンプが最大のセグメントを占めています。遠心ポンプは、LNGのような極低温流体の大容量移送を容易に処理でき、可動部品が少ないため、メンテナンスコストとダウンタイムが低く抑えられます。これは、運用継続性が極めて重要な産業において決定的な要因です。これらのポンプは、液体窒素や液体酸素を含む幅広い極低温流体に対応し、医療、航空宇宙、製造業など多様な産業で汎用的に利用されています。IMARC Groupのデータによると、2023年の液体窒素市場規模は全世界で194億ドルと評価され、2024年から2032年にかけて年率5.2%で成長すると予測されています。また、遠心ポンプの設計は、特に極端な温度で揮発性物質を扱う際に、本質的に安全な運用を可能にし、医療やエネルギー分野でしばしば見られる厳格な安全規制への準拠を容易にします。

エンドユース産業別では、エネルギー・発電産業が最大の市場シェアを保持しています。極低温ポンプは、極低温流体を伴う用途において、この産業で極めて重要な役割を果たします。特に、クリーンな燃料として利用が拡大しているLNGの効率的な移送、貯蔵、供給には不可欠であり、生産施設から貯蔵タンク、そして発電所へとLNGが安全に移動することを保証します。航空宇宙分野では、液体酸素や液体水素などの極低温推進剤でロケットエンジンに燃料を供給するために使用され、市場に好ましい見通しをもたらしています。水素が再生可能エネルギー戦略の主要要素となるにつれて、燃料電池システムにおける液化水素の取り扱いにも極低温ポンプが必要とされています。さらに、液体窒素や酸素といった産業ガスの製造・供給にも利用され、発電所の冷却プロセスなどに適用されます。一部の発電施設では、特定の運転に必要な極低温を実現するための冷凍システムにも極低温ポンプが用いられています。クリーンエネルギー源への注力の高まりと発電技術の進歩が、エネルギー・発電産業における極低温ポンプの需要を大きく後押ししています。インド中央電力庁のデータによれば、再生可能エネルギーを含む2023-24年の発電目標は1750億ユニット(前年比約7.2%増)と設定されており、この分野の成長を示唆しています。

地域別では、アジア太平洋地域が極低温ポンプ市場で最大のシェアを占めています。この地域における工業化と都市化の進展は、液化天然ガス(LNG)のようなクリーン燃料代替品に対する高いエネルギー需要を促進し、極低温ポンプ産業における明確な優位性をもたらしています。極低温ポンプはLNGの効率的な貯蔵と供給に不可欠です。さらに、規制当局が医療インフラに多額の投資を行っていることも、生体サンプルを極低温で保存するための極低温ポンプの需要を牽引しています。これに加え、アジア太平洋地域は石油化学、冶金、エレクトロニクスなど多様な製造業の中心地であり、液体窒素や酸素の取り扱いに極低温ポンプが使用されています。例えば、インドの化学・石油化学(CPC)産業は1780億ドルの世界市場価値を有し、2025年までに約3000億ドルに達すると予測されており、この分野の大きな成長潜在性を示しています。また、クリーンエネルギーを促進するための政府の有利な政策やインセンティブも、市場の成長に寄与しています。

アジア太平洋地域の極低温ポンプ市場は、エネルギーおよび高度なヘルスケアサービスの需要拡大に牽引され、著しい成長を遂げている。

市場の主要企業は、競争優位性を確立し成長を促進するため、多角的な戦略を展開している。これには、信頼性、使いやすさ、効率性を向上させた極低温ポンプの開発に向けた技術革新への大規模な投資が含まれ、リアルタイム監視や強化された安全機構が標準機能となりつつある。また、M&Aを通じて製品ポートフォリオを拡大し、新たな市場への参入を図る動きが活発である。ヘルスケア、エネルギー、製造業といった主要な極低温ポンプ利用産業との連携も強化されており、各分野の特定のニーズと基準への対応を目指している。急速な工業化とヘルスケアの進歩により需要が大幅に高まっている新興市場を中心に、地理的拡大にも注力。これらの戦略は、厳格な規制要件への適合努力によって補完され、市場での広範な受容を確保している。さらに、主要企業は、進化する市場環境において事業範囲を拡大し、提供製品を強化するために戦略的提携を優先している。

市場の主要プレイヤーには、Atlas Copco Cryostar SAS (Linde plc)、Ebara Corporation、Fives (Novafives S.A.S.)、Flowserve Corporation、Nikkiso Co. Ltd、PHPK Technologies Inc.、Ruhrpumpen Group (Corporación EG)、Sulzer Ltd.、Sumitomo Heavy Industries Ltd、Weir Group PLCなどが挙げられる。

最近の主な動向としては、2023年7月にAtlas CopcoがZEUS Co., Ltd.のクライオポンプサービスおよび販売事業を買収し、韓国でのサービス体制を強化した。2021年4月にはNikkiso Cryo Inc. (NCI)が極低温ポンプの生産効率と能力を向上させる新施設を発表。同年12月にはEdwards Vacuumが半導体アプリケーション向けに、市場で最も信頼性と性能に優れたクライオポンプ「CTI-Cryogenics On-Board IS 320F XVS Cryopump」を発売した。また、2021年11月にはEbara CorporationのElliot Groupが、ペンシルベニア州に6,000万ドルを投じて最先端の極低温ポンプ試験施設を完成させ、試験能力を大幅に強化している。

本レポートは、2024年を基準年とし、2019年から2024年までの過去期間と2025年から2033年までの予測期間を対象に、極低温ポンプ市場の包括的な分析を提供する。市場の歴史的および予測トレンド、業界の促進要因と課題、タイプ別(遠心ポンプ、容積式ポンプ)、最終用途産業別(エネルギー・発電、ヘルスケア、電気・電子、冶金、化学など)、地域別(アジア太平洋、ヨーロッパ、北米、ラテンアメリカ、中東・アフリカの主要国を含む)の市場評価を詳細に探求する。ステークホルダーは、市場セグメントの定量的分析、市場トレンド、予測、ダイナミクスを通じて、市場の推進要因、課題、機会に関する最新情報を得られる。また、主要な地域市場および国レベルの市場を特定し、ポーターの5フォース分析により、新規参入者、競争、サプライヤーと買い手の交渉力、代替品の脅威の影響を評価することで、業界の競争レベルと魅力度を分析できる。競争環境の分析は、主要企業の現在の市場での位置付けを理解するのに役立つ。


Market Report Image

Market Report Image

1   序文
2   調査範囲と方法論
    2.1    調査目的
    2.2    関係者
    2.3    データソース
        2.3.1    一次情報源
        2.3.2    二次情報源
    2.4    市場推定
        2.4.1    ボトムアップアプローチ
        2.4.2    トップダウンアプローチ
    2.5    予測方法論
3   エグゼクティブサマリー
4   はじめに
    4.1    概要
    4.2    主要な業界トレンド
5   世界の極低温ポンプ市場
    5.1    市場概要
    5.2    市場実績
    5.3    COVID-19の影響
    5.4    市場予測
6   タイプ別市場内訳
    6.1    遠心ポンプ
        6.1.1 市場トレンド
        6.1.2 市場予測
    6.2    容積式ポンプ
        6.2.1 市場トレンド
        6.2.2 市場予測
7   最終用途産業別市場内訳
    7.1    エネルギー・発電産業
        7.1.1 市場トレンド
        7.1.2 市場予測
    7.2    ヘルスケア産業
        7.2.1 市場トレンド
        7.2.2 市場予測
    7.3    電気・電子産業
        7.3.1 市場トレンド
        7.3.2 市場予測
    7.4    冶金産業
        7.4.1 市場トレンド
        7.4.2 市場予測
    7.5    化学
        7.5.1 市場トレンド
        7.5.2 市場予測
    7.6    その他
        7.6.1 市場トレンド
        7.6.2 市場予測
8   地域別市場内訳
    8.1    北米
        8.1.1 米国
           8.1.1.1 市場トレンド
           8.1.1.2 市場予測
        8.1.2 カナダ
           8.1.2.1 市場トレンド
           8.1.2.2 市場予測
    8.2    アジア太平洋
        8.2.1 中国
           8.2.1.1 市場トレンド
           8.2.1.2 市場予測
        8.2.2 日本
           8.2.2.1 市場トレンド
           8.2.2.2 市場予測
        8.2.3 インド
           8.2.3.1 市場トレンド
           8.2.3.2 市場予測
        8.2.4 韓国
           8.2.4.1 市場トレンド
           8.2.4.2 市場予測
        8.2.5 オーストラリア
           8.2.5.1 市場トレンド
           8.2.5.2 市場予測
        8.2.6 インドネシア
           8.2.6.1 市場トレンド
           8.2.6.2 市場予測
        8.2.7 その他
           8.2.7.1 市場トレンド
           8.2.7.2 市場予測
    8.3    欧州
        8.3.1 ドイツ
           8.3.1.1 市場トレンド
           8.3.1.2 市場予測
        8.3.2 フランス
           8.3.2.1 市場トレンド
           8.3.2.2 市場予測
        8.3.3 英国
           8.3.3.1 市場トレンド
           8.3.3.2 市場予測
        8.3.4 イタリア
           8.3.4.1 市場トレンド
           8.3.4.2 市場予測
        8.3.5 スペイン
           8.3.5.1 市場トレンド
           8.3.5.2 市場予測
        8.3.6 ロシア
           8.3.6.1 市場トレンド
           8.3.6.2 市場予測
        8.3.7 その他
           8.3.7.1 市場トレンド
           8.3.7.2 市場予測
    8.4    ラテンアメリカ
        8.4.1 ブラジル
           8.4.1.1 市場トレンド
           8.4.1.2 市場予測
        8.4.2 メキシコ
           8.4.2.1 市場トレンド
           8.4.2.2 市場予測
8.4.3 その他
8.4.3.1 市場動向
8.4.3.2 市場予測
8.5 中東およびアフリカ
8.5.1 市場動向
8.5.2 国別市場内訳
8.5.3 市場予測
9 SWOT分析
9.1 概要
9.2 強み
9.3 弱み
9.4 機会
9.5 脅威
10 バリューチェーン分析
11 ポーターのファイブフォース分析
11.1 概要
11.2 買い手の交渉力
11.3 供給者の交渉力
11.4 競争の程度
11.5 新規参入の脅威
11.6 代替品の脅威
12 価格分析
13 競争環境
13.1 市場構造
13.2 主要企業
13.3 主要企業のプロファイル
13.3.1 アトラスコプコ
13.3.1.1 会社概要
13.3.1.2 製品ポートフォリオ
13.3.1.3 財務状況
13.3.1.4 SWOT分析
13.3.2 クライオスターSAS (リンデplc)
13.3.2.1 会社概要
13.3.2.2 製品ポートフォリオ
13.3.3 荏原製作所
13.3.3.1 会社概要
13.3.3.2 製品ポートフォリオ
13.3.3.3 財務状況
13.3.3.4 SWOT分析
13.3.4 ファイブス (ノヴァファイブスS.A.S.)
13.3.4.1 会社概要
13.3.4.2 製品ポートフォリオ
13.3.5 フローサーブ・コーポレーション
13.3.5.1 会社概要
13.3.5.2 製品ポートフォリオ
13.3.5.3 財務状況
13.3.5.4 SWOT分析
13.3.6 日機装株式会社
13.3.6.1 会社概要
13.3.6.2 製品ポートフォリオ
13.3.6.3 財務状況
13.3.6.4 SWOT分析
13.3.7 PHPKテクノロジーズInc.
13.3.7.1 会社概要
13.3.7.2 製品ポートフォリオ
13.3.8 ルールポンプングループ (コーポラシオンEG)
13.3.8.1 会社概要
13.3.8.2 製品ポートフォリオ
13.3.9 スルザー株式会社
13.3.9.1 会社概要
13.3.9.2 製品ポートフォリオ
13.3.9.3 財務状況
13.3.10 住友重機械工業株式会社
13.3.10.1 会社概要
13.3.10.2 製品ポートフォリオ
13.3.10.3 財務状況
13.3.10.4 SWOT分析
13.3.11 ウェア・グループPLC
13.3.11.1 会社概要
13.3.11.2 製品ポートフォリオ
13.3.11.3 財務状況
図目次
図1:世界の極低温ポンプ市場:主要な推進要因と課題
図2:世界の極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019-2024年
図3:世界の極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025-2033年
図4:世界の極低温ポンプ市場:タイプ別内訳(%)、2024年
図5:世界の極低温ポンプ市場:最終用途産業別内訳(%)、2024年
図6:世界の極低温ポンプ市場:地域別内訳(%)、2024年
図7:世界の極低温ポンプ(遠心ポンプ)市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図8:世界の極低温ポンプ(遠心ポンプ)市場予測:販売額(百万米ドル)、2025-2033年
図9:世界の極低温ポンプ(容積式ポンプ)市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図10:世界の極低温ポンプ(容積式ポンプ)市場予測:販売額(百万米ドル)、2025-2033年
図11:世界:極低温ポンプ(エネルギー・発電産業)市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図12:世界:極低温ポンプ(エネルギー・発電産業)市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図13:世界:極低温ポンプ(ヘルスケア産業)市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図14:世界:極低温ポンプ(ヘルスケア産業)市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図15:世界:極低温ポンプ(電気・電子産業)市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図16:世界:極低温ポンプ(電気・電子産業)市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図17:世界:極低温ポンプ(冶金産業)市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図18:世界:極低温ポンプ(冶金産業)市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図19:世界:極低温ポンプ(化学品)市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図20:世界:極低温ポンプ(化学品)市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図21:世界:極低温ポンプ(その他の最終用途産業)市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図22:世界:極低温ポンプ(その他の最終用途産業)市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図23:北米:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図24:北米:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図25:米国:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図26:米国:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図27:カナダ:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図28:カナダ:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図29:アジア太平洋:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図30:アジア太平洋:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図31:中国:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図32:中国:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図33:日本:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図34:日本:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図35:インド:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図36:インド:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図37:韓国:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図38:韓国:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図39:オーストラリア:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図40:オーストラリア:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図41:インドネシア:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図42:インドネシア:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図43:その他:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図44:その他:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図45:欧州:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図46:欧州:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図47:ドイツ:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図48:ドイツ:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図49:フランス:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図50:フランス:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図51:英国:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図52:イギリス:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図53:イタリア:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図54:イタリア:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図55:スペイン:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図56:スペイン:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図57:ロシア:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図58:ロシア:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図59:その他:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図60:その他:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図61:ラテンアメリカ:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図62:ラテンアメリカ:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図63:ブラジル:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図64:ブラジル:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図65:メキシコ:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図66:メキシコ:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図67:その他:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図68:その他:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図69:中東およびアフリカ:極低温ポンプ市場:販売額(百万米ドル)、2019年および2024年
図70:中東およびアフリカ:極低温ポンプ市場:国別内訳(%)、2024年
図71:中東およびアフリカ:極低温ポンプ市場予測:販売額(百万米ドル)、2025年~2033年
図72:世界:極低温ポンプ産業:SWOT分析
図73:世界:極低温ポンプ産業:バリューチェーン分析
図74:世界:極低温ポンプ産業:ポーターの5つの力分析

❖本調査資料に関するお問い合わせはこちら❖
世界の市場調査レポート販売サイト
***** 参考情報 *****
クライオポンプは、極低温を利用して高真空または超高真空を生成する真空ポンプの一種です。真空容器内のガスを極低温に冷却された表面に凝縮または吸着させることで排気を行います。これにより、油蒸気などの汚染物質のないクリーンな真空環境を実現できる点が大きな特徴です。

種類としては、主にクライオ凝縮ポンプ、クライオ吸着ポンプ、そしてクライオトラッピングポンプがあります。クライオ凝縮ポンプは、極低温(例えば、水蒸気用には約80K、窒素や酸素用には約15K、水素やヘリウム用には約4K)に冷却された複数のコールドパネルにガスを直接凝縮させる方式です。最も一般的なタイプで、高い排気速度と到達真空度を誇ります。クライオ吸着ポンプは、活性炭やモレキュラーシーブなどの吸着材を極低温に冷却し、ガスの分子をその表面に吸着させることで排気します。主に粗引き用途や特定のガス除去に用いられます。クライオトラッピングポンプは、凝縮しにくい水素やヘリウムなどのガスを、極低温の吸着材や表面に捕獲する方式で、クライオ凝縮ポンプの最終段として組み込まれることが多いです。

用途は非常に広範です。半導体製造プロセスにおける薄膜形成(PVD、CVD)、エッチング、イオン注入装置など、クリーンな高真空が不可欠な分野で広く利用されています。その他、フラットパネルディスプレイ製造、宇宙環境シミュレーションチャンバー、粒子加速器、核融合研究装置、光学コーティング、表面分析装置など、多岐にわたる先端技術分野でその性能が求められています。

関連技術としては、まずクライオポンプの冷却源となるクライオクーラーが挙げられます。代表的なものに、ギフォード・マクマホン(GM)型クライオクーラーがあり、これは多段冷却により極低温を実現します。また、振動が少なく長寿命なパルスチューブ型クライオクーラーも利用されています。真空度を測定するための電離真空計やピラニ真空計も不可欠です。クライオポンプが効率的に作動する前の初期排気には、ドライポンプなどの粗引きポンプが使用されます。さらに、クライオポンプは排気したガスを内部に蓄積するため、定期的な再生(リジェネレーション)が必要です。これは、ポンプを昇温して凝縮・吸着したガスを排出し、粗引きポンプで外部へ排気するプロセスです。