カテゴリー： MarketsandMarkets, 世界, 環境/エネルギー

ウェーハ洗浄装置の世界市場予測（～2028）：装置種類別、用途別、技術別、動作モード別、ウェーハサイズ別、地域別

◆英語タイトル：Wafer Cleaning Equipment Market by Equipment Type (Single-wafer Spray System, Batch Spray Cleaning System, and Scrubbers), Application, Technology, Operation Mode, Wafer Size (Less than Equals 150 mm, 200 mm, 300 mm) and Region - Global Forecast to 2028

MarketsandMarketsが発行した調査報告書（SE1235-23）◆商品コード：SE1235-23
◆発行会社（リサーチ会社）：MarketsandMarkets
◆発行日：2023年9月1日
   最新版(2025年又は2026年)はお問い合わせください。
◆ページ数：236
◆レポート形式：英語 / PDF
◆納品方法：Eメール（受注後24時間以内）
◆調査対象地域：グローバル
◆産業分野：産業機械
◆販売価格オプション（消費税別）
Single User（1名様閲覧）USD4,950 ⇒換算￥742,500見積依頼/購入/質問フォーム
Multi User (Five User)USD6,650 ⇒換算￥997,500見積依頼/購入/質問フォーム
Corporate License (全社内共有可)USD8,150 ⇒換算￥1,222,500見積依頼/購入/質問フォーム
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※お支払金額は「換算金額（日本円）＋消費税＋配送料（Eメール納品は無料）」です。
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※上記の日本語題名はH&Iグローバルリサーチが翻訳したものです。英語版原本には日本語表記はありません。
※為替レートは適宜修正・更新しております。リアルタイム更新ではありません。

❖ レポートの概要 ❖

"ウェーハ洗浄装置市場は、2023年の101億米ドルから2028年には165億米ドルに達し、2023年から2028年までのCAGRは10.4％と予測"

"200mmウェーハサイズは、予測期間中にウェーハ市場で2番目に高い成長率で成長する見込み"
直径200mmウェーハには、片面研磨（SSP）と両面研磨（DSP）の2つのバリエーションがあります。これらのウェーハは、メモリ、RFデバイス、LEDなど、さまざまな用途で主に使用されています。200mmウェーハの市場は、その有利な費用対効果によって大きく成長すると予測されています。200mmウェーハの需要は、パワーデバイス、IC、LED、MEMS、その他多数の半導体・電子デバイスなど、幅広い用途でその有用性が拡大していることから、著しく急増する見込みです。

"予測期間中、北米の市場シェアはアメリカが最も高い見込み"
北米地域では、予測期間を通じてアメリカがウェーハ洗浄装置市場でリードしているな地位を維持すると予測されています。これはIntel Inc. (US), Global Foundries (US), and Maxim Integrated (US)などの製造大手がアメリカ内に存在するためです。これらの業界大手は主に、マイクロプロセッサー、MEMS、集積回路（IC）を製造するためのウェハー加工に従事しています。
アメリカでは、ドイツやフランスなどの国への半導体装置の輸出と相まって、地元の業界プレーヤーが普及しており、これがアメリカ市場成長の原動力となっています。アメリカ内のこの分野の注目すべき競合企業には、Applied Materials, LAM Research, Novellus Systems, Inc.などがあります。これらの企業は一貫して最先端技術の採用を優先し、半導体産業での用途に合わせた革新的で優れた製品の提供を目指しています。

ウェーハ洗浄装置市場における主要参入企業のプロファイルの内訳は以下の通りです：
- 企業タイプ別 ティア1：30％、ティア2：50％、ティア3：20％
- 役職別 Cレベル：25％、ディレクターレベル：35％、その他：40％
- 地域タイプ別 北米：35％、ヨーロッパ：30％、アジア太平洋：25％、その他地域：10％

ウェーハ洗浄装置市場の主要プレーヤーには、SCREEN Holdings Co., Ltd. (Japan), Tokyo Electron Limited (Japan), Applied Materials (US), LAM Research Corporation (US), Shibaura Mechatronics Corporation (Japan), PVA TePLA AG (Germany), Entregris Inc., (US), SEMES (US), Modutek.com (Japan), Veeco Instruments Inc. (US), Toho Technology (US), ULTRON SYSTEMS, INC. (US), Akrion Technologies (US), Axus Technology (US), SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION (Japan), etcなどが含まれます。

調査対象：
本レポートでは、ウェーハ洗浄装置市場を装置タイプ、ウェーハサイズ、アプリケーション、地域別に分類し、市場規模を予測しています。また、市場成長に影響を与える促進要因、阻害要因、機会、課題についても包括的にレビューしています。また、市場の量的側面に加えて質的側面もカバーしています。

レポートを購入する理由：
本レポートは、ウェーハ洗浄装置市場全体および関連セグメントの最も近い概算収益に関する情報を提供し、同市場の市場リーダー/新規参入者に役立ちます。本レポートは、利害関係者が競争環境を理解し、市場での地位を強化し、適切な市場参入戦略を計画するためのより多くの洞察を得るのに役立ちます。また、市場の鼓動を理解し、主要な市場促進要因、阻害要因、機会、課題に関する情報を提供します。

本レポートは、以下のポイントに関する洞察を提供します：
- ウェハー洗浄装置市場の成長に影響を与える主要な促進要因、機会、阻害要因、課題の分析を行いました。
- 製品開発/イノベーション：ウェーハ洗浄装置市場における今後の技術、研究開発活動、新製品発売に関する詳細な洞察を行っています。
- 市場開発：有利な市場に関する包括的な情報-当レポートでは、さまざまな地域のウェーハ洗浄装置市場を分析しています。
- 市場の多様化：ウェーハ洗浄装置市場における新製品、未開拓地域、最近の開発、投資に関する詳細情報を提供します。
- 競合評価：SCREEN Holdings Co., Ltd. (Japan), Tokyo Electron Limited (Japan), Applied Materials (US), LAM Research Corporation (US), and Entregris Inc., (US)

1.イントロダクション
2.調査方法
3.エグゼクティブサマリー
4.プレミアムインサイト
5.市場概要
6.ウェーハ洗浄装置の動作モード
7.ウェーハ洗浄における技術・工程
8.ウェーハ洗浄工程・装置における不純物分析
9.ウェーハ洗浄装置の市場分析：ウェーハサイズ別
10.ウェーハ洗浄装置の市場分析：装置種類別
11.ウェーハ洗浄装置の市場分析：用途別
12.ウェーハ洗浄装置の市場分析：地域別
13.競争状況
14.企業情報
15.付録

❖ レポートの目次 ❖

1 はじめに 31
1.1 調査の目的 31
1.2 市場定義 31
1.3 調査範囲 32
1.3.1 調査対象と除外 32
1.3.2 対象市場 33
1.3.3 地域範囲 33
1.3.4 対象年 34
1.4 対象通貨 34
1.5 パッケージサイズ 34
1.6 制約 34
1.7 ステークホルダー 35
1.8 変更点の概要 35
1.9 景気後退の影響 35
2 調査方法 36
2.1 調査データ 36
図1 ウェーハ洗浄装置市場：調査設計 37
2.1.1 二次データ 37
2.1.1.1 二次情報源からの主要データ 38
2.1.1.2 主要な二次情報源 38
2.1.2 一次データ 38
2.1.2.1 一次情報源からの主要データ 39
2.1.2.2 サプライサイドにおける一次調査参加者 39
2.1.2.3 一次インタビューの内訳 40
2.1.2.4 主要な業界洞察 40
2.1.3 二次調査と一次調査 41
2.2 市場規模推計 41
図2 市場規模推計方法：アプローチ1（サプライサイド）：主要プレーヤーによる収益ウェーハ洗浄装置市場 42
図3 市場規模推計手法：アプローチ2（供給側）：ウェーハ洗浄装置市場における主要企業の売上高推計例 43
図4 市場規模推計手法：アプローチ3（需要側） – 地域別ウェーハ洗浄装置市場規模のボトムアップ推計アプローチ 44
2.2.1 ボトムアップアプローチ 44
2.2.1.1 ボトムアップアプローチによる市場規模の推計 44
図5 市場規模推計手法：ボトムアップアプローチ 45
2.2.2 トップダウンアプローチ 45
2.2.2.1 トップダウンアプローチを用いた市場規模の推定 45
図6 市場規模推定手法：トップダウンアプローチ 45
2.3 市場シェアの算出 46
2.4 データ三角測量 46
図7 データ三角測量 47
2.5 リスク評価 48
表1 リスク要因分析 48
2.5.1 景気後退のGDPへの影響 49
2.6 研究の前提と限界 49
2.6.1 研究の前提 49
2.6.2 研究の限界 50
3 エグゼクティブサマリー 51
図8ウェーハ洗浄装置市場、2019～2028年 52
図9：バッチ式スプレー洗浄システムが2028年にウェーハ洗浄装置市場で最大のシェアを占める（装置タイプ別） 52
図10：予測期間中、300mmウェーハがウェーハ市場を席巻する 53
図11：予測期間中、メモリデバイスがウェーハ洗浄装置市場を牽引する（アプリケーション別） 53
図12：2023年から2028年にかけて、アジア太平洋地域が世界のウェーハ洗浄装置市場で最高のCAGRを記録する 54
4 PREMIUM INSIGHTS 55
4.1 ウェーハ洗浄装置市場における魅力的なビジネスチャンス 55
図13 3D ICの普及拡大により、今後数年間でウェーハ洗浄装置の需要が拡大する見込み 55
4.2 ウェーハ洗浄装置市場（装置タイプ別） 56
図14 バッチ式スプレー洗浄システムが2023年にウェーハ洗浄装置市場で最大のシェアを獲得する見込み 56
4.3 ウェーハ市場（ウェーハサイズ別） 56
図15 300mmウェーハが2023年に最大の市場シェアを獲得する見込み 56
4.4 ウェーハ洗浄装置市場（アプリケーション別） 57
図16 2023年にはメモリデバイスがウェーハ洗浄装置市場で最大のシェアを獲得する見込み 57
4.5 アジア太平洋地域のウェーハ洗浄装置市場（アプリケーション別・国別） 57
図17 アジア太平洋地域のウェーハ洗浄装置市場では、2022年にはメモリデバイスと中国がそれぞれアプリケーション別・国別で最大のシェアを占める見込み 57

5 市場概要 58
5.1 はじめに 58
5.2 市場の動向 58
図18 市場の動向：ウェーハ洗浄装置市場 58
5.2.1 推進要因 59
5.2.1.1 様々な業界におけるMEMS技術の採用拡大 59
5.2.1.2 AIベースサーバーからの、優れた速度と精度を備えたメモリデバイスの需要増加 59
5.2.1.3 電気自動車の利用増加 60
図19 電気自動車販売台数データ、2019～2023年（百万台） 61
5.2.1.4 5G技術の急速な採用拡大 61
図20 5Gモバイル加入者数、2019～2028年（百万台） 62
図21 ウェーハ洗浄装置市場への推進要因の影響分析 63
5.2.2 抑制要因 63
5.2.2.1 ウェーハ洗浄中の有害化学物質の排出による環境への懸念 63
図22 ウェーハ洗浄市場における制約要因の影響分析 64
5.2.3 機会 64
5.2.3.1 3D ICの普及拡大 64
5.2.3.2 先端技術を用いた半導体デバイスの採用拡大 64
5.2.3.3 IoTアプリケーションにおけるシリコンベース半導体デバイスの採用拡大 64
図23 ウェーハ洗浄装置市場における機会の影響分析 65
5.2.4 課題 65
5.2.4.1 世界的な半導体工場における水不足の可能性 65
5.2.4.2 厳格な規制による米国における新規半導体工場建設期間の長期化規制 66
図24 ウェーハ洗浄装置市場における課題の影響分析 66
5.3 サプライチェーン分析 67
図25 ウェーハ洗浄装置サプライチェーン分析 67
表2 エコシステムにおける参加者と役割 68
5.4 エコシステムマッピング 69
5.4.1 ウェーハ洗浄装置エコシステム分析 69
図26 ウェーハ洗浄装置エコシステム 69
5.4.2 ウェーハ洗浄工程（RCA洗浄プロセス） 69
5.4.2.1 第一段階（SC-1）：有機物およびパーティクル洗浄 70
5.4.2.2 第二段階：酸化膜剥離70
5.4.2.3 第3ステップ（SC-2）：イオン洗浄 70
5.4.2.4 すすぎと乾燥（オプション工程） 70
図27 ウェーハ洗浄の目的 70
表3 ウェーハ洗浄用途で使用される溶液／混合物／化合物 71
5.5 技術動向 71
5.5.1 ピラニアエッチング洗浄 71
5.5.2 メガソニック洗浄 71
5.5.3 オゾン洗浄 71
5.6 参考価格分析 72
表4 枚葉式ウェーハスプレーシステムの参考価格 72
表5 ウェーハ洗浄で使用される薬品の参考価格洗浄 72
5.7 特許分析 72
表6 特許出願・取得件数（2012年1月～2022年12月） 72
図28 ウェーハ洗浄装置の特許取得件数（2012年～2022年） 73
図29 特許出願件数上位10社（2012年1月～2022年12月） 73
表7 特許保有者上位20社（2012年1月～2022年12月） 74
5.8 ポーターの5つの力分析 74
図30 ウェーハ洗浄装置市場：ポーターの5つの力5.8.1 新規参入の脅威 76
5.8.2 代替品の脅威 76
5.8.3 サプライヤーの交渉力 76
5.8.4 購入者の交渉力 76
5.8.5 競争の激しさ 77
5.9 主要なステークホルダーと購買基準 77
5.9.1 主要なステークホルダーと購買基準購買プロセスにおけるステークホルダー 77
図32 ウェーハ洗浄装置の購買プロセスにおけるステークホルダーの影響（ウェーハサイズ別） 77
表9 ウェーハ洗浄装置の購買プロセスにおけるステークホルダーの影響（ウェーハサイズ別）（％） 77
5.9.2 購買基準 78
図33 ウェーハ洗浄装置の主要購買基準（ウェーハサイズ別） 78
表10 ウェーハ洗浄装置の主要購買基準（ウェーハサイズ別） 78
5.10 ケーススタディ 78
5.10.1 エコスノーシステムズとの協業OWENS DESIGN社、不純物除去用300mmウェーハ洗浄プラットフォームを開発 78
5.10.2 ウェーハ洗浄装置の大手プロバイダーがTISMO TECHNOLOGY SOLUTIONS社と提携し、プラズマ洗浄用HMIシステムを開発 79
5.11 貿易データ分析 79
表11 主要国における半導体製造装置の輸出データ（2018～2022年、単位：百万米ドル） 79
図34 主要国における半導体製造装置の輸出額（2018～2022年、単位：百万米ドル） 80
表12 輸入データ主要国における半導体製造装置（2018～2022年）（百万米ドル） 80
図35 主要国における半導体製造装置の輸入額（2018～2022年） 81
5.12 関税と規制の状況 81
5.12.1 関税 81
表13 米国による半導体製造装置輸出に対する最恵国関税 81
5.12.2 規制機関、政府機関、その他の組織 82
5.12.2.1 北米 82
5.12.2.2 欧州 82
5.12.2.3 アジア太平洋地域 82
5.12.2.4 その他の地域 83
5.12.3 規制 83
5.12.4 規格 83
5.13 顧客ビジネスに影響を与えるトレンド／ディスラプション 84
図36 ウェーハ洗浄装置市場の収益シフトと新たな収益源 84
5.14 2023～2024年における主要カンファレンスおよびイベント 85
表14 ウェーハ洗浄装置市場：カンファレンスおよびイベント一覧 85
6 ウェーハ洗浄装置の動作モード 86
6.1 はじめに 86
6.2自動洗浄 86
6.3 半自動洗浄 86
6.4 手動洗浄 86
7 ウェーハ洗浄に使用される技術とプロセス 87
7.1 はじめに 87
7.2 ウェットケミカル洗浄 87
図37 ウェットケミカル洗浄プロセス 88
7.2.1 ウェット洗浄プロセスにおけるHF酸溶液の使用 88
7.2.2 ウェット洗浄プロセスにおける硫酸の使用 88
7.2.3 RCA洗浄プロセス 88
7.2.4 代替洗浄プロセス 89
7.3 蒸気ドライ洗浄 89
7.3.1 気相洗浄89
7.3.2 プラズマ剥離洗浄 90
7.4 水系洗浄 90
図38 標準的なウェーハ洗浄プロセス 90
7.4.1 水系FEOL洗浄 91
7.4.2 水系BEOL洗浄 91
7.5 極低温エアロゾルおよび超臨界流体洗浄 91
7.6 新興技術 91
7.6.1 レーザー洗浄技術 91
7.6.1.1 ドライレーザー洗浄 92
7.6.1.2 スチームレーザー洗浄 92
7.6.2 水系新興技術 92
7.6.2.1 フォーム/バブル洗浄 92
7.6.2.2 浸漬圧力脈動洗浄 92
7.6.2.3 スプレー圧力脈動洗浄 92
7.6.3 化学薬品ベースの新興技術 92
7.6.4 乾式パーティクル除去技術 92
7.6.4.1 液体クラスター 92
7.6.4.2 ナノプローブ洗浄 92
8 ウェーハ洗浄プロセスおよび装置における不純物分析 93
8.1 はじめに 93
表15 ウェーハへの不純物の影響（汚染物質の種類別） 93
8.2 金属 94
8.3 パーティクル 94
8.4 化学薬品 95
9 ウェーハウェーハサイズ別市場 96
9.1 はじめに 97
図39 予測期間中に300mmウェーハが最高のCAGRを記録する 97
表16 ウェーハサイズ別ウェーハ市場、2019～2022年（百万平方インチ） 97
表17 ウェーハサイズ別ウェーハ市場、2023～2028年（百万平方インチ） 98
9.2 ≤150mm 98
9.2.1 大口径ウェーハの出現が小口径ウェーハの採用に悪影響を与える 98
表18 ≤150mm：ウェーハ市場（ウェーハサイズ別）アプリケーション別、2019～2022年（百万平方インチ） 98
表19 150mm以下：ウェーハ市場、アプリケーション別、2023～2028年（百万平方インチ） 99
9.3 200mm 99
9.3.1 生産効率と歩留まりのバランスをとるため、200mmウェーハの採用が拡大し、市場を牽引 99
表20 200mm：ウェーハ市場、アプリケーション別、2019～2022年（百万平方インチ） 100
表21 200mm：ウェーハ市場、アプリケーション別、2023～2028年（百万平方インチ）インチ) 100

9.4 300mm 101
9.4.1 300mmウェーハがメモリチップおよびICへの採用を促進する先進製造技術の実現可能性 101
図40 2028年に300mmウェーハ市場で最大のシェアを占めるメモリデバイス 101
表22 300mmウェーハ市場（アプリケーション別）、2019～2022年（百万平方インチ） 102
表23 300mmウェーハ市場（アプリケーション別、2023～2028年（百万平方インチ）） 102
10 ウェーハ洗浄装置市場（装置タイプ別） 103
10.1 はじめに 104
表24 ウェーハ洗浄装置市場（装置タイプ別）、2019～2022年（百万米ドル） 104
図41 バッチ式スプレー洗浄システムが2028年にウェーハ洗浄装置市場で最大のシェアを占める 105
表25 ウェーハ洗浄装置市場（装置タイプ別）、2023～2028年（百万米ドル） 105
10.2 枚葉式洗浄システム 106
10.2.1 枚葉式洗浄システムの効率的な洗浄能力市場を牽引する最小限のダメージでウェーハを洗浄 106
表26 枚葉式スプレーシステム：ウェーハ洗浄装置市場、用途別、2019～2022年（百万米ドル） 106
図42 予測期間を通じて枚葉式スプレーシステム市場で最大のシェアを占めるメモリデバイス 107
表27 枚葉式スプレーシステム：ウェーハ洗浄装置市場、用途別、2023～2028年（百万米ドル） 107
10.3 枚葉式クライオジェニックシステム 108
10.3.1 除去の可能性超低温での汚染物質除去が枚葉式クライオジェニックシステムの普及を促進 108
表28 枚葉式クライオジェニックシステム：ウェーハ洗浄装置市場（用途別、2019～2022年、単位：百万米ドル） 108
図43 2028年にはメモリデバイスが枚葉式クライオジェニックシステム市場を席巻する 109
表29 枚葉式クライオジェニックシステム：ウェーハ洗浄装置市場（用途別、2023～2028年、単位：百万米ドル） 109
10.4 バッチ式浸漬洗浄システム 110
10.4.1 複数ウェーハの同時洗浄能力の向上がバッチ液浸洗浄システムの導入を促進 110
表30 バッチ液浸洗浄システム：ウェーハ洗浄装置市場（用途別）、2019～2022年（百万米ドル） 110
図44 予測期間中にバッチ液浸洗浄システム市場で最も高いCAGRを示すMEMSデバイス 111
表31 バッチ液浸洗浄システム：ウェーハ洗浄装置市場（用途別）、2023～2028年（百万米ドル） 111

10.5 バッチスプレー洗浄システム 112
10.5.1 バッチスプレー洗浄システムの導入促進のための高スループットで大量バッチを処理する能力 112
表32 バッチスプレー洗浄システム：ウェーハ洗浄装置市場（用途別）、2019～2022年（百万米ドル） 112
図45 予測期間中にバッチスプレー洗浄システム市場で2番目に高いCAGRを示すLED 113
表33 バッチスプレー洗浄システム：ウェーハ洗浄装置市場（用途別）、2023～2028年（百万米ドル） 113
10.6 スクラバー 114
10.6.1 ウェーハ上の微粒子除去能力がスクラバー需要を牽引 114
表34 スクラバー：ウェーハ洗浄装置市場（用途別）、2019～2022年（百万米ドル） 114
図46 予測期間中にスクラバー市場で最大のCAGARを記録するMEMSデバイス 115
表35 スクラバー：ウェーハ洗浄装置市場（用途別）、2023～2028年（百万米ドル） 115
11 ウェーハ洗浄装置市場（用途別） 116
11.1 はじめに 117
表36 ウェーハ洗浄装置市場（用途別）、2019～2022年（百万米ドル） 117
図47 予測期間を通じてメモリデバイスがウェーハ洗浄装置市場を席巻 117
表37 ウェーハ洗浄装置市場（用途別）、2023～2028年（百万米ドル） 118
表38 ウェーハ市場（用途別）、2019～2022年（百万平方インチ） 118
表39 ウェーハ市場（用途別）、2023～2028年（百万平方インチ） 119
11.2 競合分析 120
11.3 MEMSデバイス 121
11.3.1 民生用電子機器メーカーからのMEMSデバイスへの高い需要が市場を牽引 121
表40 MEMSデバイス：ウェーハ洗浄装置市場、地域別、2019～2022年（百万米ドル） 121
表41 MEMSデバイス：ウェーハ洗浄装置市場、地域別、2023～2028年（百万米ドル） 121
表42 MEMSデバイス：アジア太平洋地域におけるウェーハ洗浄装置市場、国別、2019～2022年（百万米ドル） 122
表43 MEMSデバイス：アジア太平洋地域におけるウェーハ洗浄装置市場（国別、2023～2028年）（百万米ドル） 122
表44 MEMSデバイス：ウェーハ洗浄装置市場（装置タイプ別、2019～2022年）（百万米ドル） 122
図48 予測期間中、枚葉式スプレーシステムがMEMSアプリケーション向けウェーハ洗浄装置市場を牽引する 123
表45 MEMSデバイス：ウェーハ洗浄装置市場（装置タイプ別、2023～2028年）（百万米ドル） 123
表46 MEMSデバイス：ウェーハ市場、ウェーハサイズ別、2019～2022年（百万平方インチ） 123
表47 MEMSデバイス：ウェーハ市場、ウェーハサイズ別、2023～2028年（百万平方インチ） 124
11.4 CIS 124
11.4.1 航空宇宙および医療用画像処理アプリケーションにおけるCMOSイメージセンサーの採用増加により、ウェーハ洗浄装置の需要が増加 124
表48 CIS：ウェーハ洗浄装置、地域別、2019～2022年（百万米ドル） 124
表49 CIS：ウェーハ洗浄装置、地域別地域別、2023～2028年（百万米ドル） 125
表50 CIS：アジア太平洋地域におけるウェーハ洗浄装置市場（国別、2019～2022年）（百万米ドル） 125
表51 CIS：アジア太平洋地域におけるウェーハ洗浄装置市場（国別、2023～2028年）（百万米ドル） 125
表52 CIS：ウェーハ洗浄装置市場（装置タイプ別、2019～2022年）（百万米ドル） 126
図49 2030年にはバッチ式スプレー洗浄システムがCIS用途向けウェーハ洗浄装置市場で最大のシェアを占める126
表53 CIS：ウェーハ洗浄装置市場（装置タイプ別）、2023～2028年（百万米ドル） 126
表54 CIS：ウェーハ市場（ウェーハサイズ別）、2019～2022年（百万平方インチ） 127
表55 CIS：ウェーハ市場（ウェーハサイズ別）、2023～2028年（百万平方インチ） 127
11.5 メモリデバイス 127
11.5.1 市場成長を支える民生用電子機器におけるNANDフラッシュメモリチップの採用増加 127
表56 メモリデバイス：ウェーハ洗浄装置市場、地域別、2019～2022年（百万米ドル） 127
表57 メモリデバイス：ウェーハ洗浄装置市場、地域別、2023～2028年（百万米ドル） 128
表58 メモリデバイス：アジア太平洋地域におけるウェーハ洗浄装置市場、国別、2019～2022年（百万米ドル） 128
表59 メモリデバイス：アジア太平洋地域におけるウェーハ洗浄装置市場、国別、2023～2028年（百万米ドル） 128
表60 メモリデバイス：ウェーハ洗浄装置市場、地域別装置タイプ別、2019～2022年（百万米ドル） 129
図50 枚葉式スプレーシステムによるメモリデバイス向けウェーハ洗浄装置市場（2023～2028年） 129
表61 メモリデバイス：ウェーハ洗浄装置市場（装置タイプ別、2023～2028年）（百万米ドル） 129
表62 メモリデバイス：ウェーハ市場（ウェーハサイズ別、2019～2022年）（百万平方インチ） 130
表63 メモリデバイス：ウェーハ（ウェーハサイズ別、2023～2028年）（百万平方インチ）インチ) 130

11.6 RFデバイス 130
11.6.1 スマートフォンへのRFデバイスの統合拡大が市場成長に貢献 130
表64 RFデバイス：ウェーハ洗浄装置市場、地域別、2019～2022年（百万米ドル） 130
表65 RFデバイス：ウェーハ洗浄装置市場、地域別、2023～2028年（百万米ドル） 131
表66 RFデバイス：アジア太平洋地域におけるウェーハ洗浄装置市場、国別、2019～2022年（百万米ドル） 131
表67 RFデバイス：アジア太平洋地域におけるウェーハ洗浄装置市場、国別、2023～2028年（百万米ドル） 131
表68 RFデバイス：ウェーハ洗浄装置市場、装置タイプ別、2019～2022年（百万米ドル） 132
図51 バッチ式浸漬洗浄システムが2028年にRFデバイス向けウェーハ洗浄装置市場で最大のシェアを占める 132
表69 RFデバイス：ウェーハ洗浄装置市場、装置タイプ別、2023～2028年（百万米ドル） 132
表70 RFデバイス：ウェーハ市場、ウェーハサイズ別2019～2022年（百万平方インチ） 133
表71 RFデバイス：ウェーハ市場、ウェーハサイズ別、2023～2028年（百万平方インチ） 133
11.7 LED 133
11.7.1 スマート照明システムにおけるLEDの使用増加によるウェーハ洗浄装置の需要増加 133
表72 LED：ウェーハ洗浄装置市場、地域別、2019～2022年（百万米ドル） 134
表73 LED：ウェーハ洗浄装置市場、地域別、2023～2028年（百万米ドル） 134
表74 LED：アジア太平洋地域におけるウェーハ洗浄装置市場、国別、2019～2022年（百万米ドル） 134
表75 LED：アジア太平洋地域におけるウェーハ洗浄装置市場、国別、2023～2028年（百万米ドル） 135
表76 LED：ウェーハ洗浄装置市場、装置タイプ別、2019～2022年（百万米ドル） 135
図52 バッチ式スプレー洗浄システム：2028年にLED向けウェーハ洗浄装置市場シェアの大部分を獲得 135
表77 LED：ウェーハ洗浄装置市場、装置タイプ別装置タイプ別、2023～2028年（百万米ドル） 136
表78 LED：ウェーハ市場、ウェーハサイズ別、2019～2022年（百万平方インチ） 136
表79 LED：ウェーハ市場、ウェーハサイズ別、2023～2028年（百万平方インチ） 136
11.8 インターポーザー 136
11.8.1 先進パッケージングソリューションへの需要急増がセグメント成長を牽引 136
表80 インターポーザー：ウェーハ洗浄装置市場、地域別、2019～2022年（百万米ドル） 137
表81 インターポーザー：ウェーハ洗浄装置市場、地域別、2023～2028年（百万米ドル） 137
表82 インターポーザー：アジア太平洋地域におけるウェーハ洗浄装置市場、国別、2019～2022年（百万米ドル） 137
表83 インターポーザー：アジア太平洋地域におけるウェーハ洗浄装置市場、国別、2023～2028年（百万米ドル） 138
表84インターポーザー：ウェーハ洗浄装置市場、装置タイプ別、2019～2022年（百万米ドル） 138
図53：バッチ式スプレー洗浄システムが2028年にインターポーザー市場において最大のシェアを占める 138
表85：インターポーザー：ウェーハ洗浄装置市場、装置タイプ別、2023～2028年（百万米ドル） 139
表86：インターポーザー：ウェーハ市場、ウェーハサイズ別、2019～2022年（百万平方インチ） 139
表87：インターポーザー：ウェーハ市場、ウェーハサイズ別、2023～2028年（百万（平方インチ）139
11.9 ロジックデバイス 140
11.9.1 マイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、グラフィックチップへのロジックデバイスの採用拡大が市場成長を加速 140
表88 ロジックデバイス：ウェーハ洗浄装置市場、地域別、2019～2022年（百万米ドル） 140
表89 ロジックデバイス：ウェーハ洗浄装置市場、地域別、2023～2028年（百万米ドル） 140
表90 ロジックデバイス：アジア太平洋地域におけるウェーハ洗浄装置市場、国別、 2019～2022年（百万米ドル） 141
表91 ロジックデバイス：アジア太平洋地域におけるウェーハ洗浄装置市場（国別、2023～2028年）（百万米ドル） 141
表92 ロジックデバイス：ウェーハ洗浄装置市場（装置タイプ別、2019～2022年）（百万米ドル） 141
図54 バッチ式スプレー洗浄システムが2028年にロジックデバイス向けウェーハ洗浄装置市場で最大のシェアを獲得する見込み 142
表93 ロジックデバイス：ウェーハ洗浄装置市場（装置タイプ別） 2023～2028年（百万米ドル） 142
表94 ロジックデバイス：ウェーハ市場、ウェーハサイズ別、2019～2022年（百万平方インチ） 142
表95 ロジックデバイス：ウェーハ市場、ウェーハサイズ別、2023～2028年（百万平方インチ） 143
11.10 その他 143
表96 その他：ウェーハ洗浄装置市場、地域別、2019～2022年（百万米ドル） 143
表97 その他：ウェーハ洗浄装置市場、地域別、2023～2028年（百万米ドル） 144
表98 その他：アジア太平洋地域におけるウェーハ洗浄装置市場（国別、2019～2022年）（百万米ドル） 144
表99 その他：アジア太平洋地域におけるウェーハ洗浄装置市場（国別、2023～2028年）（百万米ドル） 144
表100 その他：ウェーハ洗浄装置市場（装置タイプ別、2019～2022年）（百万米ドル） 145
図55 バッチ式スプレー洗浄システムが2023～2028年のその他の用途向けウェーハ洗浄装置市場を独占する 145
表101 その他：ウェーハ洗浄装置市場（装置タイプ別）、2023～2028年（百万米ドル） 145
表102 その他：ウェーハ市場（ウェーハサイズ別）、2019～2022年（百万平方インチ） 146
表103 その他：ウェーハ市場（ウェーハサイズ別）、2023～2028年（百万平方インチ） 146
12 ウェーハ洗浄装置市場（地域別） 147
12.1 はじめに 148
図56 2023年から2028年にかけて、世界のウェーハ洗浄装置市場で中国が最高のCAGRを示す 148
表104 ウェーハ洗浄装置市場（地域別）、2019～2022年（百万米ドル） 148
表105 ウェーハ洗浄装置市場（地域別）、2023～2028年（百万米ドル） 149
12.2 北米 149
図57 北米：地域別スナップショット 150
表106 北米：ウェーハ洗浄装置市場（用途別）、2019～2022年（百万米ドル） 150
表107 北米：ウェーハ洗浄装置市場（用途別）、2023～2028年（百万米ドル） 151
表108 北米：ウェーハ洗浄装置市場（国別）、2019～2022年（百万米ドル） 151
表109 北米：ウェーハ洗浄装置市場（国別）、2023～2028年（百万米ドル） 151
12.2.1 北米：景気後退の影響 152
12.2.2 米国 152
12.2.2.1 インテルやグローバルファウンドリなどの製造業大手の存在が市場成長を牽引 152
12.2.3 カナダ 152
12.2.3.1 政府主導による電気自動車の普及促進策が市場成長を支えている 152
12.2.4 メキシコ153
12.2.4.1 活況を呈する通信・エネルギーセクターが市場成長を牽引 153
12.3 ヨーロッパ 153
図 58 ヨーロッパ：地域別スナップショット 154
表 110 ヨーロッパ：ウェーハ洗浄装置市場（用途別）、2019～2022年（百万米ドル） 155
表 111 ヨーロッパ：ウェーハ洗浄装置市場（用途別）、2023～2028年（百万米ドル） 155
表 112 ヨーロッパ：ウェーハ洗浄装置市場（国別）、2019～2022年（百万米ドル） 156
表 113 ヨーロッパ：ウェーハ洗浄装置市場（国別）、2023～2028年（百万米ドル） 156
12.3.1 欧州：景気後退の影響 156

12.3.2 ドイツ 156
12.3.2.1 シリコンファウンドリと半導体メーカーの存在が市場を牽引 156
12.3.3 フランス 157
12.3.3.1 市場成長を促進する高度な通信ネットワーク技術開発への関心の高まり 157
12.3.4 イタリア 157
12.3.4.1 市場成長を支える製造工場とOSAT企業の存在 157
12.3.5 英国 157
12.3.5.1 電子システムに対する需要の高まりが市場成長に貢献 157
12.3.6 その他の欧州 158
12.4 アジア太平洋地域 159
図59 アジア太平洋地域：地域別スナップショット 159
表114 アジア太平洋地域：ウェーハ洗浄装置市場（用途別）、2019～2022年（百万米ドル） 160
表115 アジア太平洋地域：ウェーハ洗浄装置市場（用途別）、2023～2028年（百万米ドル） 160
表116 アジア太平洋地域：ウェーハ洗浄装置市場（国別）、2019～2022年（百万米ドル） 161
表117 アジア太平洋地域：ウェーハ洗浄装置市場（国別）、 2023～2028年（百万米ドル）161
12.4.1 アジア太平洋地域：景気後退の影響 161
12.4.2 台湾 161
12.4.2.1 複数の巨大OSATベンダーの存在が市場成長を牽引 161
12.4.3 中国 162
12.4.3.1 メモリおよびチップ技術の自立化に注力し、市場成長を加速 162
12.4.4 日本 162
12.4.4.1 有力なウェーハ洗浄装置メーカーの存在が市場成長を牽引 162
12.4.5 韓国 162
12.4.5.1 市場成長を支えるため、半導体産業の成長を促進する政府戦略 162
12.4.6 その他のアジア太平洋地域 163
12.5 その他の地域（行） 163
表118 行：ウェーハ洗浄装置市場、用途別、2019～2022年（百万米ドル） 163
表119 行：ウェーハ洗浄装置市場、用途別、2023～2028年（百万米ドル） 164
表120 行：ウェーハ洗浄装置市場、地域別、2019～2022年（百万米ドル） 164
表121 行：ウェーハ洗浄装置市場、地域別、2023～2028年（百万米ドル） 164
12.5.1 行：景気後退の影響164
12.5.2 南米 165
12.5.2.1 消費者向け電子機器の需要増加が市場を牽引 165
12.5.3 中東およびアフリカ 165
12.5.3.1 コネクテッドデバイスの利用増加と自動車産業の活況が市場成長に貢献 165
13 競争環境 166
13.1 概要 166
13.2 市場評価フレームワーク 167
図60 ウェーハ洗浄装置市場における主要企業の主要戦略（2021年から2023年） 167
13.3 市場シェアとランキング分析 168
表122 ウェーハ洗浄装置市場シェア分析、2022年 168
図61 ウェーハ洗浄装置を提供する上位5社の市場シェア 168
13.4 5年間の企業収益分析 170
図62 主要企業の5年間の収益分析 170
13.5 企業評価マトリックス、2022年 171
図63 ウェーハ洗浄装置市場（世界）：企業評価マトリックス、2022年 171
13.5.1 スター企業 171
13.5.2 新興リーダー企業 172
13.5.3 普及企業 172
13.5.4参加企業 172
13.6 ウェーハ洗浄装置市場：企業フットプリント 172
表123 企業フットプリント全体（10社） 172
表124 アプリケーションフットプリント（10社） 173
表125 地域フットプリント（10社） 174
13.7 新興企業／中小企業評価マトリックス、2022年 175
図64 ウェーハ洗浄装置（世界）：新興企業／中小企業評価マトリックス、2022年 175
13.7.1 進歩的な企業 175
13.7.2 対応力のある企業 176
13.7.3ダイナミックな企業 176
13.7.4 スターティングブロック 176
13.8 競合ベンチマーク 176
表 126 ウェーハ洗浄装置市場：主要スタートアップ企業／中小企業一覧 176
表 127 ウェーハ洗浄装置市場：主要スタートアップ企業／中小企業の競合ベンチマーク 178
13.9 競争シナリオ 179
13.9.1 製品発売 179
表 128 2022年12月～2023年1月における製品発売 179
13.9.2 取引 180
表 129 2022年7月～2023年7月における取引180
表130 その他、2021年11月～2023年5月 182
14 企業概要 183
（事業概要、提供製品／ソリューション／サービス、最近の動向、MnMの視点（主要な強み／勝利の権利、戦略的選択、弱みと競争上の脅威））*
14.1 はじめに 183
14.2 主要プレーヤー 183
14.2.1 株式会社SCREENホールディングス183
表131 SCREENホールディングス株式会社：会社概要 184
図65 SCREENホールディングス株式会社：会社概要 184
表132 SCREENホールディングス株式会社：製品発売 187
表133 SCREENホールディングス株式会社：取引 187
表134 SCREENホールディングス株式会社：その他 188
14.2.2 東京エレクトロン株式会社 190
表135 東京エレクトロン株式会社：会社概要 190
図66 東京エレクトロン株式会社：会社概要 191
表136 東京エレクトロン・リミテッド：製品発売 194
表 137 東京エレクトロン・リミテッド：その他 194
14.2.3 ラムリサーチ・コーポレーション 196
表 138 ラムリサーチ・コーポレーション：会社概要 196
図 67 ラムリサーチ・コーポレーション：会社概要 197
表 139 ラムリサーチ・コーポレーション：取引 198
表 140 ラムリサーチ・コーポレーション：その他 199
14.2.4 アプライド・マテリアルズ・インク 200
表 141 アプライド・マテリアルズ・インク：会社概要 200
図 68 アプライド・マテリアルズ・インク：会社概要 201
表 142 アプライドマテリアルズ株式会社：取引状況 203
14.2.5 芝浦メカトロニクス株式会社 204
表 143 芝浦メカトロニクス株式会社：会社概要 204
図 69 芝浦メカトロニクス株式会社：会社概要 205
14.2.6 アクリオンテクノロジーズ 208
表 144 アクリオンテクノロジーズ：会社概要 208
14.2.7 MODUTEK.COM 210
表 145 MODUTEK.COM：会社概要 210
14.2.8 PVA TEPLA AG 212
表 146 PVA TEPLA AG: 会社概要 212
図70 PVA TEPLA AG: 会社概要 213
表147 PVA TEPLA AG: 取引 214
14.2.9 ENTEGRIS 215
表148 ENTEGRIS: 会社概要 215
図71 ENTEGRIS: 会社概要 216
表149 ENTEGRIS: 取引 217
表150 ENTEGRIS: その他 218
14.2.10 ULTRON SYSTEMS, INC. 219
表151 ULTRON SYSTEMS, INC.: 会社概要 219
14.2.11 SÜSS MICROTEC SE 220
表152 SÜSS MICROTEC S: 会社概要 220
図72 SÜSS MICROTEC SE: 会社概要 221
14.3 その他の企業 223
14.3.1 VEECO INSTRUMENTS INC. 223
14.3.2 SEMES 224
14.3.3 AXUS TECHNOLOGY 225
14.3.4 BEIJING TSD SEMICONDUCTOR CO., LTD. 226
14.3.5 TOHO KASEI CO., LTD. 227
14.3.6 CLEANING TECHNOLOGIES GROUP 228
14.3.7 SEMTEK 229
14.3.8 AP&S INTERNATIONAL GMBH 230
14.3.9 ITW 231
14.3.10 RENA TECHNOLOGIES GMBH 232
14.3.11 TDC CO., LTD. 233
14.3.12 ORBRAY CO., LTD. 233
14.3.13 DAINICHI SHOJI KK 234
14.3.14 ULTRA T EQUIPMENT COMPANY INC. 235
*Details on Business Overview, Products/Solutions/Services Offered, Recent Developments, and MnM View (Key strengths/Right to Win, Strategic Choices Made, and Weaknesses and Competitive Threats) might not be captured in case of unlisted companies.
15 APPENDIX 236
15.1 INSIGHTS FROM INDUSTRY EXPERTS 236
15.2 DISCUSSION GUIDE 236
15.3 KNOWLEDGESTORE: MARKETSANDMARKETS’ SUBSCRIPTION PORTAL 240
15.4 CUSTOMIZATION OPTIONS 242
15.5 RELATED REPORTS 242
15.6 AUTHOR DETAILS 243

1 INTRODUCTION 31
1.1 STUDY OBJECTIVES 31
1.2 MARKET DEFINITION 31
1.3 STUDY SCOPE 32
1.3.1 INCLUSIONS AND EXCLUSIONS 32
1.3.2 MARKETS COVERED 33
1.3.3 REGIONAL SCOPE 33
1.3.4 YEARS CONSIDERED 34
1.4 CURRENCY CONSIDERED 34
1.5 PACKAGE SIZE 34
1.6 LIMITATIONS 34
1.7 STAKEHOLDERS 35
1.8 SUMMARY OF CHANGES 35
1.9 RECESSION IMPACT 35
2 RESEARCH METHODOLOGY 36
2.1 RESEARCH DATA 36
FIGURE 1 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET: RESEARCH DESIGN 37
2.1.1 SECONDARY DATA 37
2.1.1.1 Key data from secondary sources 38
2.1.1.2 Key secondary sources 38
2.1.2 PRIMARY DATA 38
2.1.2.1 Key data from primary sources 39
2.1.2.2 Primary research participants across supply side 39
2.1.2.3 Breakdown of primary interviews 40
2.1.2.4 Key industry insights 40
2.1.3 SECONDARY AND PRIMARY RESEARCH 41
2.2 MARKET SIZE ESTIMATION 41
FIGURE 2 MARKET SIZE ESTIMATION METHODOLOGY: APPROACH 1 (SUPPLY SIDE): REVENUE GENERATED BY KEY PLAYERS IN WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET 42
FIGURE 3 MARKET SIZE ESTIMATION METHODOLOGY: APPROACH 2 (SUPPLY SIDE): ILLUSTRATION OF REVENUE ESTIMATION OF KEY PLAYERS IN WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET 43
FIGURE 4 MARKET SIZE ESTIMATION METHODOLOGY: APPROACH 3 (DEMAND SIDE) –BOTTOM-UP APPROACH TO ESTIMATE WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET SIZE BASED ON REGION 44
2.2.1 BOTTOM-UP APPROACH 44
2.2.1.1 Estimation of market size using bottom-up approach 44
FIGURE 5 MARKET SIZE ESTIMATION METHODOLOGY: BOTTOM-UP APPROACH 45
2.2.2 TOP-DOWN APPROACH 45
2.2.2.1 Estimation of market size using top-down approach 45
FIGURE 6 MARKET SIZE ESTIMATION METHODOLOGY: TOP-DOWN APPROACH 45
2.3 MARKET SHARE CALCULATION 46
2.4 DATA TRIANGULATION 46
FIGURE 7 DATA TRIANGULATION 47
2.5 RISK ASSESSMENT 48
TABLE 1 RISK FACTOR ANALYSIS 48
2.5.1 IMPACT OF RECESSION ON GDP 49
2.6 RESEARCH ASSUMPTIONS AND LIMITATIONS 49
2.6.1 RESEARCH ASSUMPTIONS 49
2.6.2 RESEARCH LIMITATIONS 50
3 EXECUTIVE SUMMARY 51
FIGURE 8 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, 2019–2028 52
FIGURE 9 BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS TO ACCOUNT FOR LARGEST SHARE OF WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, IN 2028 52
FIGURE 10 300 MM WAFERS TO DOMINATE WAFER MARKET DURING FORECAST PERIOD 53
FIGURE 11 MEMORY DEVICES TO LEAD WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, DURING FORECAST PERIOD 53
FIGURE 12 ASIA PACIFIC TO RECORD HIGHEST CAGR IN GLOBAL WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET FROM 2023 TO 2028 54
4 PREMIUM INSIGHTS 55
4.1 ATTRACTIVE OPPORTUNITIES FOR PLAYERS IN WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET 55
FIGURE 13 GROWING POPULARITY OF 3D ICS TO BOOST DEMAND FOR WAFER CLEANING EQUIPMENT IN COMING YEARS 55
4.2 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE 56
FIGURE 14 BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS TO CAPTURE LARGEST SHARE OF WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN 2023 56
4.3 WAFER MARKET, BY WAFER SIZE 56
FIGURE 15 300 MM WAFERS TO ACCOUNT FOR LARGEST MARKET SHARE IN 2023 56
4.4 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION 57
FIGURE 16 MEMORY DEVICES TO CAPTURE LARGEST SHARE OF WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN 2023 57
4.5 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY APPLICATION AND COUNTRY 57
FIGURE 17 MEMORY DEVICES AND CHINA HELD LARGEST SHARE OF WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY APPLICATION AND COUNTRY, RESPECTIVELY, IN 2022 57
 
5 MARKET OVERVIEW 58
5.1 INTRODUCTION 58
5.2 MARKET DYNAMICS 58
FIGURE 18 MARKET DYNAMICS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET 58
5.2.1 DRIVERS 59
5.2.1.1 Increasing adoption of MEMS technology across various industries 59
5.2.1.2 Growing demand for memory devices with exceptional speed and accuracy from AI-based servers 59
5.2.1.3 Increasing use of electric vehicles 60
FIGURE 19 ELECTRIC CAR SALES DATA, 2019–2023 (MILLION UNITS) 61
5.2.1.4 Surging adoption of 5G technology 61
FIGURE 20 5G MOBILE SUBSCRIPTIONS, 2019–2028 (MILLION UNITS) 62
FIGURE 21 IMPACT ANALYSIS OF DRIVERS ON WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET 63
5.2.2 RESTRAINTS 63
5.2.2.1 Environmental concerns owing to emission of hazardous chemicals during wafer cleaning 63
FIGURE 22 IMPACT ANALYSIS OF RESTRAINTS ON WAFER CLEANING MARKET 64
5.2.3 OPPORTUNITIES 64
5.2.3.1 Growing popularity of 3D ICs 64
5.2.3.2 Rising adoption of technologically advanced semiconductor devices 64
5.2.3.3 Increasing adoption of silicon-based semiconductor devices in IoT applications 64
FIGURE 23 IMPACT ANALYSIS OF OPPORTUNITIES ON WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET 65
5.2.4 CHALLENGES 65
5.2.4.1 Possibility of water shortage in semiconductor fab facilities globally 65
5.2.4.2 Longer construction timelines associated with new semiconductor fabs in US due to stringent regulations 66
FIGURE 24 IMPACT ANALYSIS OF CHALLENGES ON WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET 66
5.3 SUPPLY CHAIN ANALYSIS 67
FIGURE 25 WAFER CLEANING EQUIPMENT SUPPLY CHAIN ANALYSIS 67
TABLE 2 PARTICIPANTS AND THEIR ROLE IN ECOSYSTEM 68
5.4 ECOSYSTEM MAPPING 69
5.4.1 WAFER CLEANING EQUIPMENT ECOSYSTEM ANALYSIS 69
FIGURE 26 WAFER CLEANING EQUIPMENT ECOSYSTEM 69
5.4.2 WAFER CLEANING STEPS (RCA CLEAN PROCESS) 69
5.4.2.1 First step (SC-1): Organic and particle cleaning 70
5.4.2.2 Second step: Oxide stripping 70
5.4.2.3 Third step (SC-2): Ionic cleaning 70
5.4.2.4 Rinsing and drying (optional process) 70
FIGURE 27 WAFER CLEANING OBJECTIVES 70
TABLE 3 SOLUTIONS/MIXTURES/COMPOUNDS USED IN WAFER CLEANING APPLICATIONS 71
5.5 TECHNOLOGY TRENDS 71
5.5.1 PIRANHA ETCH CLEANING 71
5.5.2 MEGASONIC CLEANING 71
5.5.3 OZONE CLEANING 71
5.6 INDICATIVE PRICE ANALYSIS 72
TABLE 4 INDICATIVE PRICE OF SINGLE-WAFER SPRAY SYSTEMS 72
TABLE 5 INDICATIVE PRICE OF CHEMICALS USED IN WAFER CLEANING 72
5.7 PATENT ANALYSIS 72
TABLE 6 PATENTS FILED AND GRANTED, JANUARY 2012–DECEMBER 2022 72
FIGURE 28 NUMBER OF PATENTS GRANTED FOR WAFER CLEANING EQUIPMENT, 2012–2022 73
FIGURE 29 TOP 10 COMPANIES WITH HIGHEST NUMBER OF PATENT APPLICATIONS, JANUARY 2012–DECEMBER 2022 73
TABLE 7 TOP 20 PATENT OWNERS, JANUARY 2012–DECEMBER 2022 74
5.8 PORTER’S FIVE FORCES ANALYSIS 74
FIGURE 30 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET: PORTER’S FIVE FORCES ANALYSIS, 2022 75
FIGURE 31 IMPACT ANALYSIS OF PORTER’S FIVE FORCES ON WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, 2022 75
TABLE 8 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET: PORTER’S FIVE FORCES ANALYSIS, 2022 76
5.8.1 THREAT OF NEW ENTRANTS 76
5.8.2 THREAT OF SUBSTITUTES 76
5.8.3 BARGAINING POWER OF SUPPLIERS 76
5.8.4 BARGAINING POWER OF BUYERS 76
5.8.5 INTENSITY OF COMPETITIVE RIVALRY 77
5.9 KEY STAKEHOLDERS AND BUYING CRITERIA 77
5.9.1 KEY STAKEHOLDERS IN BUYING PROCESS 77
FIGURE 32 INFLUENCE OF STAKEHOLDERS ON BUYING PROCESS OF WAFER CLEANING EQUIPMENT, BY WAFER SIZE 77
TABLE 9 INFLUENCE OF STAKEHOLDERS ON BUYING PROCESS OF WAFER CLEANING EQUIPMENT, BY WAFER SIZE (%) 77
5.9.2 BUYING CRITERIA 78
FIGURE 33 KEY BUYING CRITERIA FOR WAFER CLEANING EQUIPMENT, BY WAFER SIZE 78
TABLE 10 KEY BUYING CRITERIA FOR WAFER CLEANING EQUIPMENT, BY WAFER SIZE 78
5.10 CASE STUDIES 78
5.10.1 ECO-SNOW SYSTEMS COLLABORATES WITH OWENS DESIGN TO DEVELOP 300 MM WAFER CLEANING PLATFORM TO REMOVE IMPURITIES 78
5.10.2 LEADING PROVIDER OF WAFER CLEANING EQUIPMENT COLLABORATES WITH TISMO TECHNOLOGY SOLUTIONS TO DEVELOP HMI SYSTEM FOR PLASMA CLEANING 79
5.11 TRADE DATA ANALYSIS 79
TABLE 11 EXPORT DATA FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING MACHINES IN MAJOR COUNTRIES, 2018–2022 (USD MILLION) 79
FIGURE 34 EXPORT VALUES FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING MACHINES IN MAJOR COUNTRIES, 2018–2022 80
TABLE 12 IMPORT DATA FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING MACHINES IN MAJOR COUNTRIES, 2018–2022 (USD MILLION) 80
FIGURE 35 IMPORT VALUES FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING MACHINES IN MAJOR COUNTRIES, 2018–2022 81
5.12 TARIFF AND REGULATORY LANDSCAPE 81
5.12.1 TARIFFS 81
TABLE 13 MFN TARIFFS FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT EXPORTED BY US 81
5.12.2 REGULATORY BODIES, GOVERNMENT AGENCIES, AND OTHER ORGANIZATIONS 82
5.12.2.1 North America 82
5.12.2.2 Europe 82
5.12.2.3 Asia Pacific 82
5.12.2.4 RoW 83
5.12.3 REGULATIONS 83
5.12.4 STANDARDS 83
5.13 TRENDS/DISRUPTIONS IMPACTING CUSTOMER BUSINESS 84
FIGURE 36 REVENUE SHIFT AND NEW REVENUE POCKETS FOR WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET 84
5.14 KEY CONFERENCES AND EVENTS, 2023–2024 85
TABLE 14 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET: LIST OF CONFERENCES AND EVENTS 85
6 OPERATING MODES OF WAFER CLEANING EQUIPMENT 86
6.1 INTRODUCTION 86
6.2 AUTOMATIC 86
6.3 SEMIAUTOMATIC 86
6.4 MANUAL 86
7 TECHNOLOGIES AND PROCESSES USED IN WAFER CLEANING 87
7.1 INTRODUCTION 87
7.2 WET CHEMICAL CLEANING 87
FIGURE 37 WET CHEMICAL CLEANING PROCESS 88
7.2.1 USE OF HF ACID SOLUTION IN WET CLEANING PROCESS 88
7.2.2 USE OF SULFURIC ACID IN WET CLEANING PROCESS 88
7.2.3 RCA CLEANING PROCESS 88
7.2.4 ALTERNATIVE CLEANING PROCESSES 89
7.3 VAPOR DRY CLEANING 89
7.3.1 VAPOR PHASE CLEANING 89
7.3.2 PLASMA STRIPPING CLEANING 90
7.4 AQUEOUS CLEANING 90
FIGURE 38 STANDARD WAFER CLEANING PROCESS 90
7.4.1 AQUEOUS FEOL CLEANING 91
7.4.2 AQUEOUS BEOL CLEANING 91
7.5 CRYOGENIC AEROSOLS AND SUPER-CRITICAL FLUID CLEANING 91
7.6 EMERGING TECHNOLOGIES 91
7.6.1 LASER CLEANING TECHNOLOGIES 91
7.6.1.1 Dry laser cleaning 92
7.6.1.2 Steam laser cleaning 92
7.6.2 AQUEOUS-BASED EMERGING TECHNOLOGIES 92
7.6.2.1 Foam/bubble cleaning 92
7.6.2.2 Immersion pressure pulsation cleaning 92
7.6.2.3 Spray pressure pulsation cleaning 92
7.6.3 CHEMICAL-BASED EMERGING TECHNOLOGIES 92
7.6.4 DRY PARTICLE REMOVING TECHNOLOGIES 92
7.6.4.1 Liquid clusters 92
7.6.4.2 Nonoprobe cleaning 92
8 ANALYSIS OF IMPURITIES IN WAFER CLEANING PROCESSES AND EQUIPMENT 93
8.1 INTRODUCTION 93
TABLE 15 IMPACT OF IMPURITIES ON WAFERS, BY CONTAMINANT TYPE 93
8.2 METALS 94
8.3 PARTICULATES 94
8.4 CHEMICALS 95
9 WAFER MARKET, BY WAFER SIZE 96
9.1 INTRODUCTION 97
FIGURE 39 300 MM WAFERS TO REGISTER HIGHEST CAGR DURING FORECAST PERIOD 97
TABLE 16 WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCHES) 97
TABLE 17 WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCHES) 98
9.2 ≤150 MM 98
9.2.1 EMERGENCE OF WAFERS WITH LARGER DIAMETERS TO ADVERSELY IMPACT ADOPTION OF SMALLER DIAMETER WAFERS 98
TABLE 18 ≤150 MM: WAFER MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCHES) 98
TABLE 19 ≤150 MM: WAFER MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCHES) 99
9.3 200 MM 99
9.3.1 RISING ADOPTION OF 200 MM WAFERS TO BALANCE PRODUCTION EFFICIENCY AND YIELD RATES TO DRIVE MARKET 99
TABLE 20 200 MM: WAFER MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCHES) 100
TABLE 21 200 MM: WAFER MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCHES) 100
 
9.4 300 MM 101
9.4.1 ABILITY OF 300 MM WAFERS TO FACILITATE ADVANCED FABRICATION TECHNIQUES TO DRIVE ADOPTION IN MEMORY CHIPS AND ICS 101
FIGURE 40 MEMORY DEVICES TO HOLD LARGEST SHARE OF 300 MM WAFER MARKET IN 2028 101
TABLE 22 300 MM: WAFER MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCHES) 102
TABLE 23 300 MM: WAFER MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCHES) 102
10 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE 103
10.1 INTRODUCTION 104
TABLE 24 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2019–2022 (USD MILLION) 104
FIGURE 41 BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS TO HOLD LARGEST SHARE OF WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN 2028 105
TABLE 25 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2023–2028 (USD MILLION) 105
10.2 SINGLE-WAFER CLEANING SYSTEMS 106
10.2.1 ABILITY OF SINGLE-WAFER CLEANING SYSTEMS TO EFFICIENTLY CLEAN WAFER WITH MINIMAL DAMAGE TO DRIVE MARKET 106
TABLE 26 SINGLE-WAFER SPRAY SYSTEMS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (USD MILLION) 106
FIGURE 42 MEMORY DEVICES TO CAPTURE LARGEST SHARE OF SINGLE-WAFER SPRAY SYSTEM MARKET THROUGHOUT FORECAST PERIOD 107
TABLE 27 SINGLE-WAFER SPRAY SYSTEMS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (USD MILLION) 107
10.3 SINGLE-WAFER CRYOGENIC SYSTEMS 108
10.3.1 POTENTIAL TO REMOVE CONTAMINANTS AT ULTRA-LOW TEMPERATURE TO BOOST ADOPTION OF SINGLE-WAFER CRYOGENIC SYSTEMS 108
TABLE 28 SINGLE-WAFER CRYOGENIC SYSTEMS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (USD MILLION) 108
FIGURE 43 MEMORY DEVICES TO DOMINATE SINGLE-WAFER CRYOGENIC SYSTEM MARKET IN 2028 109
TABLE 29 SINGLE-WAFER CRYOGENIC SYSTEMS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (USD MILLION) 109
10.4 BATCH IMMERSION CLEANING SYSTEMS 110
10.4.1 PROFICIENCY IN CLEANING MULTIPLE WAFERS SIMULTANEOUSLY TO FUEL DEPLOYMENT OF BATCH IMMERSION CLEANING SYSTEMS 110
TABLE 30 BATCH IMMERSION CLEANING SYSTEMS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (USD MILLION) 110
FIGURE 44 MEMS DEVICES TO EXHIBIT HIGHEST CAGR IN BATCH IMMERSION SYSTEM MARKET DURING FORECAST PERIOD 111
TABLE 31 BATCH IMMERSION CLEANING SYSTEMS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (USD MILLION) 111
 
10.5 BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS 112
10.5.1 COMPETENCY IN HANDLING LARGE BATCHES WITH HIGH THROUGHPUT TO INCREASE IMPLEMENTATION OF BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS 112
TABLE 32 BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (USD MILLION) 112
FIGURE 45 LEDS TO EXHIBIT SECOND-HIGHEST CAGR IN BATCH SPRAY CLEANING SYSTEM MARKET DURING FORECAST PERIOD 113
TABLE 33 BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (USD MILLION) 113
10.6 SCRUBBERS 114
10.6.1 CAPABILITY TO REMOVE TINY PARTICLES ON WAFERS TO DRIVE DEMAND FOR SCRUBBERS 114
TABLE 34 SCRUBBERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (USD MILLION) 114
FIGURE 46 MEMS DEVICES TO RECORD HIGHEST CAGAR IN SCRUBBER MARKET DURING FORECAST PERIOD 115
TABLE 35 SCRUBBERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (USD MILLION) 115
11 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION 116
11.1 INTRODUCTION 117
TABLE 36 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (USD MILLION) 117
FIGURE 47 MEMORY DEVICES TO DOMINATE WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET THROUGHOUT FORECAST PERIOD 117
TABLE 37 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (USD MILLION) 118
TABLE 38 WAFER MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCH) 118
TABLE 39 WAFER MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCH) 119
11.2 COMPETITOR ANALYSIS 120
11.3 MEMS DEVICES 121
11.3.1 HIGH DEMAND FOR MEMS DEVICES FROM CONSUMER ELECTRONICS MANUFACTURERS TO DRIVE MARKET 121
TABLE 40 MEMS DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2019–2022 (USD MILLION) 121
TABLE 41 MEMS DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2023–2028 (USD MILLION) 121
TABLE 42 MEMS DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2019–2022 (USD MILLION) 122
TABLE 43 MEMS DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2023–2028 (USD MILLION) 122
TABLE 44 MEMS DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2019–2022 (USD MILLION) 122
FIGURE 48 SINGLE-WAFER SPRAY SYSTEMS TO LEAD WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET FOR MEMS APPLICATIONS DURING FORECAST PERIOD 123
TABLE 45 MEMS DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2023–2028 (USD MILLION) 123
TABLE 46 MEMS DEVICES: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCHES) 123
TABLE 47 MEMS DEVICES: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCHES) 124
11.4 CIS 124
11.4.1 RISING ADOPTION OF CMOS IMAGE SENSORS IN AEROSPACE AND MEDICAL IMAGING APPLICATIONS TO BOOST DEMAND FOR WAFER CLEANING EQUIPMENT 124
TABLE 48 CIS: WAFER CLEANING EQUIPMENT, BY REGION, 2019–2022 (USD MILLION) 124
TABLE 49 CIS: WAFER CLEANING EQUIPMENT, BY REGION, 2023–2028 (USD MILLION) 125
TABLE 50 CIS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2019–2022 (USD MILLION) 125
TABLE 51 CIS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2023–2028 (USD MILLION) 125
TABLE 52 CIS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET EQUIPMENT TYPE, 2019–2022 (USD MILLION) 126
FIGURE 49 BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS TO ACCOUNT FOR LARGEST SHARE OF WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET FOR CIS APPLICATIONS IN 2030 126
TABLE 53 CIS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2023–2028 (USD MILLION) 126
TABLE 54 CIS: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCHES) 127
TABLE 55 CIS: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCHES) 127
11.5 MEMORY DEVICES 127
11.5.1 INCREASING DEPLOYMENT OF NAND FLASH MEMORY CHIPS IN CONSUMER ELECTRONICS TO SUPPORT MARKET GROWTH 127
TABLE 56 MEMORY DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2019–2022 (USD MILLION) 127
TABLE 57 MEMORY DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2023–2028 (USD MILLION) 128
TABLE 58 MEMORY DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2019–2022 (USD MILLION) 128
TABLE 59 MEMORY DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2023–2028 (USD MILLION) 128
TABLE 60 MEMORY DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2019–2022 (USD MILLION) 129
FIGURE 50 SINGLE-WAFER SPRAY SYSTEMS TO COMMAND WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET FOR MEMORY DEVICES FROM 2023 TO 2028 129
TABLE 61 MEMORY DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2023–2028 (USD MILLION) 129
TABLE 62 MEMORY DEVICES: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCHES) 130
TABLE 63 MEMORY DEVICES: WAFER, BY WAFER SIZE, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCHES) 130
 
11.6 RF DEVICES 130
11.6.1 RISING INTEGRATION OF RF DEVICES INTO SMARTPHONES TO CONTRIBUTE TO MARKET GROWTH 130
TABLE 64 RF DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2019–2022 (USD MILLION) 130
TABLE 65 RF DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2023–2028 (USD MILLION) 131
TABLE 66 RF DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2019–2022 (USD MILLION) 131
TABLE 67 RF DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2023–2028 (USD MILLION) 131
TABLE 68 RF DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2019–2022 (USD MILLION) 132
FIGURE 51 BATCH IMMERSION CLEANING SYSTEMS TO HOLD LARGEST SHARE OF WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET FOR RF DEVICES IN 2028 132
TABLE 69 RF DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2023–2028 (USD MILLION) 132
TABLE 70 RF DEVICES: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCHES) 133
TABLE 71 RF DEVICES: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCHES) 133
11.7 LEDS 133
11.7.1 INCREASING USE OF LEDS IN SMART LIGHTING SYSTEMS TO BOOST DEMAND FOR WAFER CLEANING EQUIPMENT 133
TABLE 72 LEDS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2019–2022 (USD MILLION) 134
TABLE 73 LEDS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2023–2028 (USD MILLION) 134
TABLE 74 LEDS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2019–2022 (USD MILLION) 134
TABLE 75 LEDS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2023–2028 (USD MILLION) 135
TABLE 76 LEDS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2019–2022 (USD MILLION) 135
FIGURE 52 BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS TO CAPTURE MAJORITY OF WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET SHARE FOR LEDS IN 2028 135
TABLE 77 LEDS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2023–2028 (USD MILLION) 136
TABLE 78 LEDS: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCHES) 136
TABLE 79 LEDS: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCHES) 136
11.8 INTERPOSERS 136
11.8.1 SURGING DEMAND FOR ADVANCED PACKAGING SOLUTIONS TO DRIVE SEGMENTAL GROWTH 136
TABLE 80 INTERPOSERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2019–2022 (USD MILLION) 137
TABLE 81 INTERPOSERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2023–2028 (USD MILLION) 137
TABLE 82 INTERPOSERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2019–2022 (USD MILLION) 137
TABLE 83 INTERPOSERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2023–2028 (USD MILLION) 138
TABLE 84 INTERPOSERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2019–2022 (USD MILLION) 138
FIGURE 53 BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS TO ACCOUNT FOR LARGEST MARKET SHARE FOR INTERPOSERS IN 2028 138
TABLE 85 INTERPOSERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2023–2028 (USD MILLION) 139
TABLE 86 INTERPOSERS: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCHES) 139
TABLE 87 INTERPOSERS: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCHES) 139
11.9 LOGIC DEVICES 140
11.9.1 GROWING DEPLOYMENT OF LOGIC DEVICES IN MICROPROCESSORS, MICROCONTROLLERS, AND GRAPHIC CHIPS TO ACCELERATE MARKET GROWTH 140
TABLE 88 LOGIC DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2019–2022 (USD MILLION) 140
TABLE 89 LOGIC DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2023–2028 (USD MILLION) 140
TABLE 90 LOGIC DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2019–2022 (USD MILLION) 141
TABLE 91 LOGIC DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2023–2028 (USD MILLION) 141
TABLE 92 LOGIC DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2019–2022 (USD MILLION) 141
FIGURE 54 BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS TO CAPTURE LARGEST SHARE OF WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET FOR LOGIC DEVICES IN 2028 142
TABLE 93 LOGIC DEVICES: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2023–2028 (USD MILLION) 142
TABLE 94 LOGIC DEVICES: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCHES) 142
TABLE 95 LOGIC DEVICES: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCHES) 143
11.10 OTHERS 143
TABLE 96 OTHERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2019–2022 (USD MILLION) 143
TABLE 97 OTHERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2023–2028 (USD MILLION) 144
TABLE 98 OTHERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2019–2022 (USD MILLION) 144
TABLE 99 OTHERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET IN ASIA PACIFIC, BY COUNTRY, 2023–2028 (USD MILLION) 144
TABLE 100 OTHERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2019–2022 (USD MILLION) 145
FIGURE 55 BATCH SPRAY CLEANING SYSTEMS TO DOMINATE WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET FOR OTHER APPLICATIONS FROM 2023 TO 2028 145
TABLE 101 OTHERS: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY EQUIPMENT TYPE, 2023–2028 (USD MILLION) 145
TABLE 102 OTHERS: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2019–2022 (MILLION SQUARE INCHES) 146
TABLE 103 OTHERS: WAFER MARKET, BY WAFER SIZE, 2023–2028 (MILLION SQUARE INCHES) 146
12 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION 147
12.1 INTRODUCTION 148
FIGURE 56 CHINA TO EXHIBIT HIGHEST CAGR IN GLOBAL WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET FROM 2023 TO 2028 148
TABLE 104 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2019–2022 (USD MILLION) 148
TABLE 105 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2023–2028 (USD MILLION) 149
12.2 NORTH AMERICA 149
FIGURE 57 NORTH AMERICA: REGION SNAPSHOT 150
TABLE 106 NORTH AMERICA: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (USD MILLION) 150
TABLE 107 NORTH AMERICA: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (USD MILLION) 151
TABLE 108 NORTH AMERICA: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY COUNTRY, 2019–2022 (USD MILLION) 151
TABLE 109 NORTH AMERICA: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY COUNTRY, 2023–2028 (USD MILLION) 151
12.2.1 NORTH AMERICA: RECESSION IMPACT 152
12.2.2 US 152
12.2.2.1 Presence of manufacturing giants such as Intel and Global Foundries to drive market growth 152
12.2.3 CANADA 152
12.2.3.1 Government-led initiatives promoting use of electric vehicles to support market growth 152
12.2.4 MEXICO 153
12.2.4.1 Thriving telecommunications and energy sectors to fuel market growth 153
12.3 EUROPE 153
FIGURE 58 EUROPE: REGION SNAPSHOT 154
TABLE 110 EUROPE: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (USD MILLION) 155
TABLE 111 EUROPE: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (USD MILLION) 155
TABLE 112 EUROPE: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY COUNTRY, 2019–2022 (USD MILLION) 156
TABLE 113 EUROPE: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY COUNTRY, 2023–2028 (USD MILLION) 156
12.3.1 EUROPE: RECESSION IMPACT 156
 
12.3.2 GERMANY 156
12.3.2.1 Presence of silicon foundries and chipmakers to drive market 156
12.3.3 FRANCE 157
12.3.3.1 Growing focus on development of advanced communication network technologies to foster market growth 157
12.3.4 ITALY 157
12.3.4.1 Existence of fabrication plants and OSAT companies to support market growth 157
12.3.5 UK 157
12.3.5.1 Rising demand for electronic systems to contribute to market growth 157
12.3.6 REST OF EUROPE 158
12.4 ASIA PACIFIC 159
FIGURE 59 ASIA PACIFIC: REGION SNAPSHOT 159
TABLE 114 ASIA PACIFIC: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (USD MILLION) 160
TABLE 115 ASIA PACIFIC: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (USD MILLION) 160
TABLE 116 ASIA PACIFIC: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY COUNTRY, 2019–2022 (USD MILLION) 161
TABLE 117 ASIA PACIFIC: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY COUNTRY, 2023–2028 (USD MILLION) 161
12.4.1 ASIA PACIFIC: RECESSION IMPACT 161
12.4.2 TAIWAN 161
12.4.2.1 Presence of several giant OSAT vendors to fuel market growth 161
12.4.3 CHINA 162
12.4.3.1 Strong focus on achieving self-reliance in memory and chip technologies to accelerate market growth 162
12.4.4 JAPAN 162
12.4.4.1 Presence of prominent wafer cleaning equipment manufacturers to fuel market growth 162
12.4.5 SOUTH KOREA 162
12.4.5.1 Government strategies to expedite growth of semiconductor industry to support market growth 162
12.4.6 REST OF ASIA PACIFIC 163
12.5 REST OF THE WORLD (ROW) 163
TABLE 118 ROW: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2019–2022 (USD MILLION) 163
TABLE 119 ROW: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY APPLICATION, 2023–2028 (USD MILLION) 164
TABLE 120 ROW: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2019–2022 (USD MILLION) 164
TABLE 121 ROW: WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET, BY REGION, 2023–2028 (USD MILLION) 164
12.5.1 ROW: RECESSION IMPACT 164
12.5.2 SOUTH AMERICA 165
12.5.2.1 Increasing demand for consumer electronics to drive market 165
12.5.3 MIDDLE EAST & AFRICA 165
12.5.3.1 Rising use of connected devices and booming automotive industry to contribute to market growth 165
13 COMPETITIVE LANDSCAPE 166
13.1 OVERVIEW 166
13.2 MARKET EVALUATION FRAMEWORK 167
FIGURE 60 KEY STRATEGIES UNDERTAKEN BY LEADING PLAYERS IN WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET FROM 2021 TO 2023 167
13.3 MARKET SHARE AND RANKING ANALYSIS 168
TABLE 122 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET SHARE ANALYSIS, 2022 168
FIGURE 61 MARKET SHARE OF TOP 5 PLAYERS PROVIDING WAFER CLEANING EQUIPMENT 168
13.4 FIVE-YEAR COMPANY REVENUE ANALYSIS 170
FIGURE 62 FIVE-YEAR REVENUE ANALYSIS OF KEY COMPANIES 170
13.5 COMPANY EVALUATION MATRIX, 2022 171
FIGURE 63 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET (GLOBAL): COMPANY EVALUATION MATRIX, 2022 171
13.5.1 STARS 171
13.5.2 EMERGING LEADERS 172
13.5.3 PERVASIVE PLAYERS 172
13.5.4 PARTICIPANTS 172
13.6 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET: COMPANY FOOTPRINT 172
TABLE 123 OVERALL COMPANY FOOTPRINT (10 COMPANIES) 172
TABLE 124 APPLICATION FOOTPRINT (10 COMPANIES) 173
TABLE 125 REGION FOOTPRINT (10 COMPANIES) 174
13.7 STARTUPS/SMES EVALUATION MATRIX, 2022 175
FIGURE 64 WAFER CLEANING EQUIPMENT (GLOBAL): STARTUPS/SMES EVALUATION MATRIX, 2022 175
13.7.1 PROGRESSIVE COMPANIES 175
13.7.2 RESPONSIVE COMPANIES 176
13.7.3 DYNAMIC COMPANIES 176
13.7.4 STARTING BLOCKS 176
13.8 COMPETITIVE BENCHMARKING 176
TABLE 126 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET: LIST OF KEY STARTUPS/SMES 176
TABLE 127 WAFER CLEANING EQUIPMENT MARKET: COMPETITIVE BENCHMARKING OF KEY STARTUPS/SMES 178
13.9 COMPETITIVE SCENARIO 179
13.9.1 PRODUCT LAUNCHES 179
TABLE 128 PRODUCT LAUNCHES, DECEMBER 2022–JANUARY 2023 179
13.9.2 DEALS 180
TABLE 129 DEALS, JULY 2022–JULY 2023 180
TABLE 130 OTHERS, NOVEMBER 2021–MAY 2023 182
14 COMPANY PROFILES 183
(Business Overview, Products/Solutions/Services Offered, Recent Developments, and MnM View (Key strengths/Right to Win, Strategic Choices Made, and Weaknesses and Competitive Threats))*
14.1 INTRODUCTION 183
14.2 KEY PLAYERS 183
14.2.1 SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 183
TABLE 131 SCREEN HOLDINGS CO., LTD.: COMPANY OVERVIEW 184
FIGURE 65 SCREEN HOLDINGS CO., LTD.: COMPANY SNAPSHOT 184
TABLE 132 SCREEN HOLDINGS CO., LTD.: PRODUCT LAUNCHES 187
TABLE 133 SCREEN HOLDINGS CO., LTD.: DEALS 187
TABLE 134 SCREEN HOLDINGS CO., LTD.: OTHERS 188
14.2.2 TOKYO ELECTRON LIMITED 190
TABLE 135 TOKYO ELECTRON LIMITED: COMPANY OVERVIEW 190
FIGURE 66 TOKYO ELECTRON LIMITED: COMPANY SNAPSHOT 191
TABLE 136 TOKYO ELECTRON LIMITED: PRODUCT LAUNCHES 194
TABLE 137 TOKYO ELECTRON LIMITED: OTHERS 194
14.2.3 LAM RESEARCH CORPORATION 196
TABLE 138 LAM RESEARCH CORPORATION: COMPANY OVERVIEW 196
FIGURE 67 LAM RESEARCH CORPORATION: COMPANY SNAPSHOT 197
TABLE 139 LAM RESEARCH CORPORATION: DEALS 198
TABLE 140 LAM RESEARCH CORPORATION: OTHERS 199
14.2.4 APPLIED MATERIALS, INC. 200
TABLE 141 APPLIED MATERIALS, INC.: COMPANY OVERVIEW 200
FIGURE 68 APPLIED MATERIALS, INC.: COMPANY SNAPSHOT 201
TABLE 142 APPLIED MATERIALS, INC.: DEALS 203
14.2.5 SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION 204
TABLE 143 SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION: COMPANY OVERVIEW 204
FIGURE 69 SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION: COMPANY SNAPSHOT 205
14.2.6 AKRION TECHNOLOGIES 208
TABLE 144 AKRION TECHNOLOGIES: COMPANY OVERVIEW 208
14.2.7 MODUTEK.COM 210
TABLE 145 MODUTEK.COM: COMPANY OVERVIEW 210
14.2.8 PVA TEPLA AG 212
TABLE 146 PVA TEPLA AG: COMPANY OVERVIEW 212
FIGURE 70 PVA TEPLA AG: COMPANY SNAPSHOT 213
TABLE 147 PVA TEPLA AG: DEALS 214
14.2.9 ENTEGRIS 215
TABLE 148 ENTEGRIS: COMPANY OVERVIEW 215
FIGURE 71 ENTEGRIS: COMPANY SNAPSHOT 216
TABLE 149 ENTEGRIS: DEALS 217
TABLE 150 ENTEGRIS: OTHERS 218
14.2.10 ULTRON SYSTEMS, INC. 219
TABLE 151 ULTRON SYSTEMS, INC.: COMPANY OVERVIEW 219
14.2.11 SÜSS MICROTEC SE 220
TABLE 152 SÜSS MICROTEC S: COMPANY OVERVIEW 220
FIGURE 72 SÜSS MICROTEC SE: COMPANY SNAPSHOT 221
14.3 OTHER PLAYERS 223
14.3.1 VEECO INSTRUMENTS INC. 223
14.3.2 SEMES 224
14.3.3 AXUS TECHNOLOGY 225
14.3.4 BEIJING TSD SEMICONDUCTOR CO., LTD. 226
14.3.5 TOHO KASEI CO., LTD. 227
14.3.6 CLEANING TECHNOLOGIES GROUP 228
14.3.7 SEMTEK 229
14.3.8 AP&S INTERNATIONAL GMBH 230
14.3.9 ITW 231
14.3.10 RENA TECHNOLOGIES GMBH 232
14.3.11 TDC CO., LTD. 233
14.3.12 ORBRAY CO., LTD. 233
14.3.13 DAINICHI SHOJI KK 234
14.3.14 ULTRA T EQUIPMENT COMPANY INC. 235
*Details on Business Overview, Products/Solutions/Services Offered, Recent Developments, and MnM View (Key strengths/Right to Win, Strategic Choices Made, and Weaknesses and Competitive Threats) might not be captured in case of unlisted companies.
15 APPENDIX 236
15.1 INSIGHTS FROM INDUSTRY EXPERTS 236
15.2 DISCUSSION GUIDE 236
15.3 KNOWLEDGESTORE: MARKETSANDMARKETS’ SUBSCRIPTION PORTAL 240
15.4 CUSTOMIZATION OPTIONS 242
15.5 RELATED REPORTS 242
15.6 AUTHOR DETAILS 243
※参考情報

ウェーハ洗浄装置は、半導体製造プロセスにおいてウェーハの表面を清浄化するために使用される重要な機器です。ウェーハは、シリコンなどの材料から作られ、それに微細な回路が形成されるため、清浄な表面状態が求められます。製造過程では、微小な粒子や化学物質、油分、指紋などがウェーハ表面に付着することがありますので、これらを除去するために専用の洗浄装置が必要です。
ウェーハ洗浄装置の主な機能は、ウェーハ表面の汚染物質を効果的に除去することです。これには、物理的洗浄、化学的洗浄、またはその両方を組み合わせた方法が利用されます。物理的洗浄の方法としては、超音波洗浄や高圧水流を利用することがあります。これにより、固体の微粒子を物理的に取り除くことが可能です。化学的洗浄には、酸やアルカリの溶液を使用して汚染物質を化学的に分解する手法が一般的です。ウェーハの素材や汚染物質の種類によって最適な洗浄剤を選択することが重要です。

ウェーハ洗浄装置には、いくつかの種類があります。代表的なものに、ディスプレイウェーハ用洗浄装置、フォトリソグラフィー用洗浄装置、エッチング後洗浄装置があります。ディスプレイウェーハ用洗浄装置は、液晶やOLEDディスプレイの製造に使われるものであり、特に光学的な特性が要求されるため、高い清浄度が必要です。フォトリソグラフィー用洗浄装置は、光学レンズやマスク上の汚れを取り除くために使用され、洗浄後の解像度を確保する役割を担っています。エッチング後の洗浄装置は、エッチングプロセスで生じる副産物や残留物を除去するためのものです。

用途に関しては、ウェーハ洗浄装置は主に半導体デバイスの製造に関連していますが、電子機器、センサー、メモリデバイスなどの幅広い分野で利用されています。特に、ナノテクノロジー分野では、微細化が進む中で、より高度な洗浄技術が求められています。

関連技術としては、洗浄プロセスの自動化技術が挙げられます。近年、製造効率を向上させるために、ウェーハ洗浄装置は自動化されることが多くなっています。自動制御システムによって、洗浄剤の使用量や温度、濃度などを正確に管理し、再現性のある洗浄結果を実現します。また、センサー技術も重要な役割を果たしており、ウェーハの状態をリアルタイムで監視し、洗浄条件を最適化するためのデータを提供します。

最近のトレンドとして、環境に配慮した洗浄技術が注目されています。従来の化学洗浄剤は環境負荷が高いため、これを改善するための研究が進められています。たとえば、水を基にした洗浄方法や、生分解性の高い化学薬品の使用が促進されています。また、ウェーハ表面のさらなる清浄化を目指して、プラズマやレーザーを用いた洗浄技術も開発されています。

総じて、ウェーハ洗浄装置は半導体製造において欠かせない機器であり、その重要性は今後も増すと考えられます。高度な洗浄技術や新しい材料の開発が進む中で、ウェーハの品質向上と同時に環境への配慮が求められており、業界全体が持続可能な方向へと進化しています。これにより、ますます高度な電子デバイスが市場に投入され、我々の生活は一層便利になっていくでしょう。


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★リサーチレポート[ ウェーハ洗浄装置の世界市場予測（～2028）：装置種類別、用途別、技術別、動作モード別、ウェーハサイズ別、地域別(Wafer Cleaning Equipment Market by Equipment Type (Single-wafer Spray System, Batch Spray Cleaning System, and Scrubbers), Application, Technology, Operation Mode, Wafer Size (Less than Equals 150 mm, 200 mm, 300 mm) and Region - Global Forecast to 2028)]についてメールでお問い合わせはこちらでお願いします。
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