{"version":"1.0","provider_name":"GlobalResearch.jp","provider_url":"https:\/\/www.globalresearch.jp\/jp","author_name":"globalresearch.jp","author_url":"https:\/\/www.globalresearch.jp\/jp\/author\/globalresearch.jp","title":"\u65e5\u672c\u306e\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u524d\u99c6\u4f53\u5e02\u5834\uff1a\u5206\u6790\u3001\u4e88\u6e2c\u3001\u898f\u6a21\u3001\u30c8\u30ec\u30f3\u30c9\uff06\u30a4\u30f3\u30b5\u30a4\u30c8","type":"rich","width":600,"height":338,"html":"<blockquote class=\"wp-embedded-content\" data-secret=\"eM5whVIupy\"><a href=\"https:\/\/www.globalresearch.jp\/jp\/inbx26d9166\">\u65e5\u672c\u306e\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u524d\u99c6\u4f53\u5e02\u5834\uff1a\u5206\u6790\u3001\u4e88\u6e2c\u3001\u898f\u6a21\u3001\u30c8\u30ec\u30f3\u30c9\uff06\u30a4\u30f3\u30b5\u30a4\u30c8<\/a><\/blockquote><iframe sandbox=\"allow-scripts\" security=\"restricted\" src=\"https:\/\/www.globalresearch.jp\/jp\/inbx26d9166\/embed#?secret=eM5whVIupy\" width=\"600\" height=\"338\" title=\"&#8220;\u65e5\u672c\u306e\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u524d\u99c6\u4f53\u5e02\u5834\uff1a\u5206\u6790\u3001\u4e88\u6e2c\u3001\u898f\u6a21\u3001\u30c8\u30ec\u30f3\u30c9\uff06\u30a4\u30f3\u30b5\u30a4\u30c8&#8221; &#8212; GlobalResearch.jp\" data-secret=\"eM5whVIupy\" frameborder=\"0\" marginwidth=\"0\" marginheight=\"0\" scrolling=\"no\" class=\"wp-embedded-content\"><\/iframe><script>\n\/*! This file is auto-generated *\/\n!function(d,l){\"use strict\";l.querySelector&&d.addEventListener&&\"undefined\"!=typeof URL&&(d.wp=d.wp||{},d.wp.receiveEmbedMessage||(d.wp.receiveEmbedMessage=function(e){var t=e.data;if((t||t.secret||t.message||t.value)&&!\/[^a-zA-Z0-9]\/.test(t.secret)){for(var s,r,n,a=l.querySelectorAll('iframe[data-secret=\"'+t.secret+'\"]'),o=l.querySelectorAll('blockquote[data-secret=\"'+t.secret+'\"]'),c=new RegExp(\"^https?:$\",\"i\"),i=0;i<o.length;i++)o[i].style.display=\"none\";for(i=0;i<a.length;i++)s=a[i],e.source===s.contentWindow&&(s.removeAttribute(\"style\"),\"height\"===t.message?(1e3<(r=parseInt(t.value,10))?r=1e3:~~r<200&&(r=200),s.height=r):\"link\"===t.message&&(r=new URL(s.getAttribute(\"src\")),n=new URL(t.value),c.test(n.protocol))&&n.host===r.host&&l.activeElement===s&&(d.top.location.href=t.value))}},d.addEventListener(\"message\",d.wp.receiveEmbedMessage,!1),l.addEventListener(\"DOMContentLoaded\",function(){for(var e,t,s=l.querySelectorAll(\"iframe.wp-embedded-content\"),r=0;r<s.length;r++)(t=(e=s[r]).getAttribute(\"data-secret\"))||(t=Math.random().toString(36).substring(2,12),e.src+=\"#?secret=\"+t,e.setAttribute(\"data-secret\",t)),e.contentWindow.postMessage({message:\"ready\",secret:t},\"*\")},!1)))}(window,document);\n<\/script>\n","description":"## \u65e5\u672c\u306e\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u524d\u99c6\u4f53\u5e02\u5834 2026\u5e74\u5206\u6790\u30682035\u5e74\u307e\u3067\u306e\u4e88\u6e2c ## \u30a8\u30b0\u30bc\u30af\u30c6\u30a3\u30d6\u30b5\u30de\u30ea\u30fc ### \u4e3b\u306a\u8abf\u67fb\u7d50\u679c - \u65e5\u672c\u306e\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u524d\u99c6\u4f53\u5e02\u5834\u306f\u30012026\u5e74\u306b12\u5104\uff5e15\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\u3068\u63a8\u5b9a\u3055\u308c\u3066\u304a\u308a\u3001\u56fd\u5185\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u8a2d\u5099\u6295\u8cc7\u304c\u5e74\u9593200\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\u3092\u8d85\u3048\u30017nm\u672a\u6e80\u306e\u5148\u9032\u7684\u30ed\u30b8\u30c3\u30af\u30ce\u30fc\u30c9\u306e\u62e1\u5927\u304c\u9032\u3080\u3053\u3068\u304c\u8981\u56e0\u3067\u3059\u3002 - \u8f38\u5165\u4f9d\u5b58\u5ea6\u306f\u3001\u4fa1\u5024\u30d9\u30fc\u30b9\u306755\uff5e65%\u3068\u69cb\u9020\u7684\u306b\u9ad8\u304f\u3001\u6b21\u4e16\u4ee3\u524d\u99c6\u4f53\u306e\u56fd\u5185\u5408\u6210\u898f\u6a21\u304c\u9650\u3089\u308c\u3066\u3044\u308b\u305f\u3081\u3001\u8d85\u9ad8\u7d14\u5ea6\u306e\u91d1\u5c5e\u30a2\u30eb\u30ad\u30eb\u3084\u91d1\u5c5e\u30a2\u30df\u30c9\u306f\u4e3b\u306b\u97d3\u56fd\u3001\u30c9\u30a4\u30c4\u3001\u30a2\u30e1\u30ea\u30ab\u304b\u3089\u8abf\u9054\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 - \u9700\u8981\u306e\u6210\u9577\u306f\u30012026\u5e74\u304b\u30892035\u5e74\u306b\u304b\u3051\u3066\u5e73\u57476\uff5e8%\u306eCAGR\u304c\u4e88\u6e2c\u3055\u308c\u3066\u304a\u308a\u3001ALD\u524d\u99c6\u4f53\u3001\u9ad8k\/\u91d1\u5c5e\u30b2\u30fc\u30c8\u30b9\u30bf\u30c3\u30af\u3001GaN\/SiC\u30d1\u30ef\u30fc\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u88fd\u9020\u30013D-IC\u30a2\u30fc\u30ad\u30c6\u30af\u30c1\u30e3\u5411\u3051\u306e\u5148\u9032\u7684\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u6750\u6599\u304c\u727d\u5f15\u3057\u3001\u6700\u7d42\u7684\u306b\u306f21\u5104\uff5e26\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\u306b\u9054\u3059\u308b\u898b\u8fbc\u307f\u3067\u3059\u3002 ### \u5e02\u5834\u52d5\u5411 \u4e0a\u6d41\u306e\u6295\u5165\u7269\u304b\u3089\u88fd\u9020\u3001\u8a8d\u8a3c\u3001\u6d41\u901a\u30c1\u30e3\u30cd\u30eb\u3092\u901a\u3058\u3066\u4fa1\u5024\u304c\u3069\u306e\u3088\u3046\u306b\u69cb\u7bc9\u3055\u308c\u308b\u304b\u3002 - \u8d85\u9ad8\u7d14\u5ea6\u91d1\u5c5e - \u7279\u6b8a\u6709\u6a5f\u914d\u4f4d\u5b50 - \u5408\u6210\/\u7cbe\u88fd\u7528\u9ad8\u7d14\u5ea6\u6eb6\u5a92 - \u7279\u6b8a\u30ac\u30b9\uff08\u53cd\u5fdc\u7528\uff09 - \u8a8d\u5b9a\u5206\u6790\u53c2\u7167\u6750\u6599 - \u8d85\u9ad8\u7d14\u5ea6\u5408\u6210\u304a\u3088\u3073\u7cbe\u88fd - \u5206\u6790\u8a8d\u8a3c\u304a\u3088\u3073\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30f3\u30b0 - \u7279\u6b8a\u6d41\u901a\u304a\u3088\u3073\u5728\u5eab\u7ba1\u7406 - \u6280\u8853\u30b5\u30dd\u30fc\u30c8\u304a\u3088\u3073\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u7d71\u5408 - REACH\uff08EU\uff09 - TSCA\uff08\u7c73\u56fd\uff09 - \u5316\u5b66\u5175\u5668\u7981\u6b62\u6761\u7d04\uff08\u524d\u99c6\u4f53\u76e3\u8996\uff09 - \u81ea\u5df1\u767a\u706b\u6027\/\u7a7a\u6c17\u611f\u53d7\u6027\u6750\u6599\u306e\u8f38\u9001\u898f\u5236\uff08DOT\u3001IATA\uff09 - \u30b2\u30fc\u30c8\u9178\u5316\u819c\u306e\u5806\u7a4d - \u9ad8k\u8a98\u96fb\u4f53\u5c64 - \u91d1\u5c5e\u30b2\u30fc\u30c8\u96fb\u6975 - \u62e1\u6563\u30d0\u30ea\u30a2\u304a\u3088\u3073\u30e9\u30a4\u30ca\u30fc - \u76f8\u4e92\u63a5\u7d9a\u30b7\u30fc\u30c9\u5c64 - 5nm\u672a\u6e80\u306e\u30ce\u30fc\u30c9\u5411\u3051\u306b\u539f\u5b50\u5c64\u5806\u7a4d\uff08ALD\uff09\u304a\u3088\u3073\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u5f37\u5316ALD\u3078\u306e\u79fb\u884c\u304c\u9032\u3093\u3067\u304a\u308a\u3001\u6db2\u4f53\u304a\u3088\u3073\u56fa\u4f53\u306e\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u524d\u99c6\u4f53\u306e\u6d88\u8cbb\u304c\u52a0\u901f\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002ALD\u7279\u6709\u306e\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9\u306f9\uff5e11%\u306eCAGR\u3067\u6210\u9577\u3057\u3066\u3044\u308b\u306e\u306b\u5bfe\u3057\u3001\u5f93\u6765\u306eMOCVD\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9\u306f4\uff5e5%\u306e\u6210\u9577\u306b\u3068\u3069\u307e\u3063\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 - \u65e5\u672c\u306e\u30d5\u30a1\u30a6\u30f3\u30c9\u30ea\u304a\u3088\u3073\u30e1\u30e2\u30ea\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u306f\u3001\u30d0\u30ea\u30a2\/\u30e9\u30a4\u30ca\u30fc\u7528\u9014\u5411\u3051\u306b\u30eb\u30c6\u30cb\u30a6\u30e0\u304a\u3088\u3073\u30e2\u30ea\u30d6\u30c7\u30f3\u524d\u99c6\u4f53\u306e\u8a8d\u8a3c\u3092\u9032\u3081\u3066\u304a\u308a\u3001\u5f93\u6765\u306e\u30bf\u30f3\u30bf\u30eb\u30d9\u30fc\u30b9\u6750\u6599\u3092\u7f6e\u304d\u63db\u3048\u30012028\u5e74\u307e\u3067\u306b8000\u4e07\uff5e1\u51042000\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\u306e\u65b0\u3057\u3044\u30b5\u30d6\u30bb\u30b0\u30e1\u30f3\u30c8\u3092\u5275\u51fa\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 - \u56fd\u5185\u306e\u7279\u6b8a\u5316\u5b66\u4f01\u696d\u306f\u3001ppb\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u4e0d\u7d14\u7269\u7ba1\u7406\u306e\u305f\u3081\u306b\u5916\u56fd\u4f9b\u7d66\u8005\u3078\u306e\u4f9d\u5b58\u3092\u6e1b\u3089\u3059\u305f\u3081\u306b\u3001\u5c02\u7528\u306e\u7cbe\u88fd\u304a\u3088\u3073\u5206\u6790\u8a8d\u8a3c\u80fd\u529b\u306b\u6295\u8cc7\u3057\u3066\u304a\u308a\u30012025\u5e74\u304b\u30892027\u5e74\u306b\u304b\u3051\u3066\u5c11\u306a\u304f\u3068\u30823\u3064\u306e\u4e3b\u8981\u306a\u80fd\u529b\u62e1\u5f35\u30d7\u30ed\u30b8\u30a7\u30af\u30c8\u304c\u767a\u8868\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 ### \u4e3b\u306a\u8ab2\u984c - \u65e5\u672c\u306e\u30d5\u30a1\u30a6\u30f3\u30c9\u30ea\u304a\u3088\u3073IDM\u306b\u304a\u3051\u308b\u65b0\u3057\u3044\u524d\u99c6\u4f53\u5316\u5b66\u306e\u8a8d\u8a3c\u30b5\u30a4\u30af\u30eb\u306f12\uff5e24\u30f6\u6708\u306b\u53ca\u3073\u3001\u4f9b\u7d66\u8005\u306e\u53ce\u76ca\u5b9f\u73fe\u3092\u9045\u3089\u305b\u3001\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u7d71\u5408\u306e\u305f\u3081\u306eR&D\u30b3\u30b9\u30c8\u3092\u5897\u52a0\u3055\u305b\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 - \u81ea\u5df1\u767a\u706b\u6027\u304a\u3088\u3073\u7a7a\u6c17\u611f\u53d7\u6027\u306e\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u306e\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30f3\u30b0\u304a\u3088\u3073\u7269\u6d41\u306f\u30dc\u30c8\u30eb\u30cd\u30c3\u30af\u3068\u306a\u3063\u3066\u304a\u308a\u3001\u7279\u6b8a\u30d0\u30d6\u30e9\u30fc\u6d17\u6d44\u304a\u3088\u3073\u518d\u8a8d\u8a3c\u80fd\u529b\u306f\u4e16\u754c\u30675\u3064\u672a\u6e80\u306e\u8a8d\u5b9a\u65bd\u8a2d\u306b\u5236\u7d04\u3055\u308c\u3066\u304a\u308a\u3001\u305d\u306e\u3046\u30612\u3064\u304c\u65e5\u672c\u5e02\u5834\u306b\u30b5\u30fc\u30d3\u30b9\u3092\u63d0\u4f9b\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 - \u65e5\u672c\u306e\u5316\u5b66\u7269\u8cea\u7ba1\u7406\u6cd5\uff08CSCL\uff09\u304a\u3088\u3073\u5316\u5b66\u5175\u5668\u7981\u6b62\u6761\u7d04\u306b\u57fa\u3065\u304f\u524d\u99c6\u4f53\u76e3\u8996\u306e\u305f\u3081\u306e\u56fd\u969b\u8f38\u9001\u898f\u5236\uff08IATA\/DOT\uff09\u306b\u304a\u3051\u308b\u898f\u5236\u9075\u5b88\u306f\u3001\u7279\u306b\u65b0\u3057\u3044\u30cf\u30ed\u30b2\u30f3\u5316\u7269\u304a\u3088\u3073\u30b7\u30af\u30ed\u30da\u30f3\u30bf\u30b8\u30a8\u30cb\u30eb\u5316\u5408\u7269\u306b\u5bfe\u3057\u3066\u3001\u7ba1\u7406\u4e0a\u306e\u30ea\u30fc\u30c9\u30bf\u30a4\u30e0\u3068\u30b3\u30b9\u30c8\u3092\u8ffd\u52a0\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 ## \u5e02\u5834\u6982\u8981 \u3053\u306e\u88fd\u54c1\u304c\u901a\u5e38\u3001\u4ed5\u69d8\u3001\u8a8d\u8a3c\u3001\u7d71\u5408\u3001\u7f6e\u304d\u63db\u3048\u30b5\u30a4\u30af\u30eb\u3092\u901a\u3058\u3066\u4fa1\u5024\u3092\u5275\u51fa\u3059\u308b\u5834\u6240\u3002 \u65e5\u672c\u306e\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u524d\u99c6\u4f53\u5e02\u5834\u306f\u3001\u30b0\u30ed\u30fc\u30d0\u30eb\u306a\u96fb\u5b50\u304a\u3088\u3073\u534a\u5c0e\u4f53\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30c1\u30a7\u30fc\u30f3\u5185\u306e\u91cd\u8981\u306a\u4e0a\u6d41\u6295\u5165\u7269\u30ce\u30fc\u30c9\u3068\u3057\u3066\u6a5f\u80fd\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u9ad8\u7d14\u5ea6\u91d1\u5c5e\u6709\u6a5f\u5316\u5408\u7269\uff08\u91d1\u5c5e\u30a2\u30eb\u30ad\u30eb\u3001\u91d1\u5c5e\u30a2\u30df\u30c9\u3001\u91d1\u5c5e\u30b7\u30af\u30ed\u30da\u30f3\u30bf\u30b8\u30a8\u30cb\u30eb\u3001\u30cf\u30ed\u30b2\u30f3\u5316\u7269\u30d9\u30fc\u30b9\u306e\u524d\u99c6\u4f53\u3092\u542b\u3080\uff09\u306f\u3001\u30ed\u30b8\u30c3\u30af\u3001\u30e1\u30e2\u30ea\u3001\u30d1\u30ef\u30fc\u534a\u5c0e\u4f53\u3001\u30c7\u30a3\u30b9\u30d7\u30ec\u30a4\u3001\u30aa\u30d7\u30c8\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u88fd\u9020\u306b\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u91d1\u5c5e\u6709\u6a5f\u5316\u5b66\u84b8\u7740\uff08MOCVD\uff09\u3001\u539f\u5b50\u5c64\u5806\u7a4d\uff08ALD\uff09\u3001\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u5f37\u5316CVD\uff08PE-CVD\uff09\u306a\u3069\u306e\u8584\u819c\u5806\u7a4d\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u5316\u5b66\u7684\u57fa\u76e4\u3068\u3057\u3066\u6a5f\u80fd\u3057\u307e\u3059\u3002\u65e5\u672c\u306e\u4e3b\u8981\u306a\u6d88\u8cbb\u304a\u3088\u3073\u8a8d\u8a3c\u30cf\u30d6\u3068\u3057\u3066\u306e\u5f79\u5272\u306f\u3001\u5148\u9032\u7684\u306a\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30f3\u30b0OSAT\u3001\u30d5\u30a1\u30a6\u30f3\u30c9\u30ea\u696d\u52d9\u3001\u30e1\u30e2\u30ea\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u3001\u4e3b\u8981\u306a\u534a\u5c0e\u4f53IDM\u306e\u96c6\u4e2d\u3092\u53cd\u6620\u3057\u3066\u304a\u308a\u3001\u3059\u3079\u3066\u304cppb\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u91d1\u5c5e\u6c5a\u67d3\u7ba1\u7406\u3092\u6c42\u3081\u308b\u8d85\u9ad8\u7d14\u5ea6\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9\u3092\u5fc5\u8981\u3068\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 ## \u4e3b\u8981\u7d71\u8a08 \u5e02\u5834\u306f\u3001\u7269\u7406\u7684\u5f62\u614b\uff08\u6db2\u4f53\u3001\u56fa\u4f53\u3001\u5358\u4e00\u4f9b\u7d66\u6e90\u524d\u99c6\u4f53\uff09\u3001\u5806\u7a4d\u6280\u8853\uff08MOCVD\u3001ALD\u3001PE-ALD\uff09\u3001\u304a\u3088\u3073\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u30c9\u30e1\u30a4\u30f3\uff08\u30d5\u30ed\u30f3\u30c8\u30a8\u30f3\u30c9\u30fb\u30aa\u30d6\u30fb\u30e9\u30a4\u30f3\u306e\u30ed\u30b8\u30c3\u30af\/\u30e1\u30e2\u30ea\u3001\u30d0\u30c3\u30af\u30a8\u30f3\u30c9\u30fb\u30aa\u30d6\u30fb\u30e9\u30a4\u30f3\u306e\u76f8\u4e92\u63a5\u7d9a\u3068\u30d0\u30ea\u30a2\u3001\u30d1\u30ef\u30fc\u534a\u5c0e\u4f53\u3001\u9ad8\u5ea6\u306a\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30f3\u30b0\u3001\u30c7\u30a3\u30b9\u30d7\u30ec\u30a4\u3001\u30d5\u30a9\u30c8\u30dc\u30eb\u30bf\u30a4\u30af\u30b9\uff09\u306b\u3088\u3063\u3066\u69cb\u9020\u7684\u306b\u30bb\u30b0\u30e1\u30f3\u30c8\u5316\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u65e5\u672c\u306e\u9ad8\u5ea6\u306a\u88fd\u9020\u57fa\u76e4\u3068\u53b3\u683c\u306a\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u8a8d\u8a3c\u30d7\u30ed\u30c8\u30b3\u30eb\u306f\u3001\u8a8d\u8a3c\u3055\u308c\u305f\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u7d71\u5408\u524d\u99c6\u4f53\u5316\u5b66\u7269\u8cea\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u30d7\u30ec\u30df\u30a2\u30e0\u4fa1\u683c\u304c\u7dad\u6301\u3055\u308c\u308b\u9ad8\u4fa1\u5024\u5e02\u5834\u3068\u3057\u3066\u306e\u5730\u4f4d\u3092\u78ba\u7acb\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u5e02\u5834\u306f\u30b3\u30e2\u30c7\u30a3\u30c6\u30a3\u5316\u5b66\u5e02\u5834\u3067\u306f\u306a\u304f\u3001\u4f9b\u7d66\u8005\u3068\u9867\u5ba2\u306e\u5171\u540c\u958b\u767a\u30b5\u30a4\u30af\u30eb\u3084\u9577\u671f\u4f9b\u7d66\u5951\u7d04\u304c\u53d6\u5f15\u69cb\u9020\u3092\u652f\u914d\u3059\u308b\u6280\u8853\u96c6\u7d04\u578b\u306e\u7279\u6b8a\u5316\u5b66\u5e02\u5834\u3067\u3059\u3002 ## \u5e02\u5834\u898f\u6a21\u3068\u6210\u9577 \u65e5\u672c\u306e\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u524d\u99c6\u4f53\u5e02\u5834\u306f\u30012026\u5e74\u306b12\u5104\uff5e15\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\u3068\u63a8\u5b9a\u3055\u308c\u3066\u304a\u308a\u3001\u53f0\u6e7e\u3068\u97d3\u56fd\u306b\u6b21\u3050\u4e16\u754c\u30673\u756a\u76ee\u306b\u5927\u304d\u306a\u5358\u4e00\u56fd\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u6750\u6599\u6d88\u8cbb\u56fd\u3068\u3057\u3066\u306e\u5730\u4f4d\u3092\u53cd\u6620\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u6210\u9577\u306f\u3001\u65e5\u672c\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u88c5\u7f6e\uff08SFE\uff09\u3078\u306e\u652f\u51fa\u306b\u3088\u3063\u3066\u652f\u3048\u3089\u308c\u3066\u304a\u308a\u30012028\u5e74\u307e\u3067\u6bce\u5e74180\u5104\uff5e220\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\u3092\u4e0a\u56de\u308b\u3068\u4e88\u6e2c\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306f\u3001\u56fd\u5185\u306e\u9ad8\u5ea6\u306a\u30ed\u30b8\u30c3\u30af\u304a\u3088\u3073\u30e1\u30e2\u30ea\u30d5\u30a1\u30d6\u3078\u306e\u653f\u5e9c\u306e\u88dc\u52a9\u91d1\u3084\u3001GaN\/SiC\u30d1\u30ef\u30fc\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u80fd\u529b\u62e1\u5f35\u306b\u3088\u3063\u3066\u63a8\u9032\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u5e02\u5834\u306f\u30012026\u5e74\u304b\u30892035\u5e74\u306e\u9593\u306b\u5e74\u5e73\u5747\u6210\u9577\u7387\uff08CAGR\uff096\uff5e8%\u3067\u62e1\u5927\u3057\u3001\u4e88\u6e2c\u671f\u9593\u306e\u7d42\u308f\u308a\u307e\u3067\u306b\u540d\u76ee\u306721\u5104\uff5e26\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\u306b\u9054\u3059\u308b\u3068\u4e88\u6e2c\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 \u30dc\u30ea\u30e5\u30fc\u30e0\u6210\u9577\u306f\u30d0\u30ea\u30e5\u30fc\u6210\u9577\u3088\u308a\u3082\u82e5\u5e72\u4f4e\u304f\u3001\u9ad8\u4fa1\u683c\u306e\u524d\u99c6\u4f53\u3078\u306e\u30b7\u30d5\u30c8\u3092\u53cd\u6620\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002ALD\u7279\u6709\u306e\u524d\u99c6\u4f53\u306f\u3001\u5f93\u6765\u306eMOCVD\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9\u306e1.5\uff5e3\u500d\u306e\u30ad\u30ed\u30b0\u30e9\u30e0\u3042\u305f\u308a\u306e\u4fa1\u683c\u3092\u6301\u3061\u30012030\u5e74\u307e\u3067\u306b\u5e02\u5834\u5168\u4f53\u306e\u4fa1\u5024\u306e40\uff5e45%\u3092\u5360\u3081\u308b\u3068\u4e88\u6e2c\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306f\u30012026\u5e74\u306e\u7d0430%\u304b\u3089\u306e\u5897\u52a0\u3067\u3059\u3002\u30e1\u30e2\u30ea\u30bb\u30b0\u30e1\u30f3\u30c8\uff08DRAM\u304a\u3088\u30733D NAND\uff09\u306f\u3001\u65e5\u672c\u306e\u6d88\u8cbb\u306e45\uff5e50%\u3092\u5360\u3081\u308b\u6700\u5927\u306e\u9700\u8981\u30c9\u30e9\u30a4\u30d0\u30fc\u3067\u3042\u308a\u3001\u30ed\u30b8\u30c3\u30af\u304a\u3088\u3073\u30d5\u30a1\u30a6\u30f3\u30c9\u30ea\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306f30\uff5e35%\u3092\u8ca2\u732e\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u30d1\u30ef\u30fc\u534a\u5c0e\u4f53\uff08GaN\u3001SiC\uff09\u304a\u3088\u3073\u9ad8\u5ea6\u306a\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30f3\u30b0\u306f\u3001\u4e88\u6e2c\u671f\u9593\u4e2d\u306b\u305d\u308c\u305e\u308c12\uff5e15%\u304a\u3088\u307310\uff5e13%\u306eCAGR\u3067\u6700\u3082\u6025\u6210\u9577\u3057\u3066\u3044\u308b\u30b5\u30d6\u30bb\u30b0\u30e1\u30f3\u30c8\u3067\u3059\u3002 ## \u30bb\u30b0\u30e1\u30f3\u30c8\u5225\u304a\u3088\u3073\u6700\u7d42\u7528\u9014\u5225\u306e\u9700\u8981 \u65e5\u672c\u306b\u304a\u3051\u308b\u9700\u8981\u306e\u30bb\u30b0\u30e1\u30f3\u30c6\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306f\u3001\u540c\u56fd\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u306e\u5c02\u9580\u5316\u306b\u5f93\u3063\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u30ed\u30b8\u30c3\u30af\u304a\u3088\u3073\u30e1\u30e2\u30ea\u306e\u30d5\u30ed\u30f3\u30c8\u30a8\u30f3\u30c9\u30fb\u30aa\u30d6\u30fb\u30e9\u30a4\u30f3\uff08FEOL\uff09\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306f\u6700\u5927\u306e\u30b7\u30a7\u30a2\u3092\u5360\u3081\u3066\u304a\u308a\u3001\u91d1\u5c5e\u30a2\u30eb\u30ad\u30eb\uff08\u30c8\u30ea\u30e1\u30c1\u30eb\u30a2\u30eb\u30df\u30cb\u30a6\u30e0\u3001\u30c8\u30ea\u30e1\u30c1\u30eb\u30ac\u30ea\u30a6\u30e0\uff09\u3084\u91d1\u5c5e\u30a2\u30df\u30c9\uff08\u30c6\u30c8\u30e9\u30ad\u30b9\uff08\u30b8\u30e1\u30c1\u30eb\u30a2\u30df\u30c9\uff09\u30c1\u30bf\u30f3\u3001\u30c6\u30c8\u30e9\u30ad\u30b9\uff08\u30a8\u30c1\u30eb\u30e1\u30c1\u30eb\u30a2\u30df\u30c9\uff09\u30b8\u30eb\u30b3\u30cb\u30a6\u30e0\uff09\u3092\u6d88\u8cbb\u3057\u3066\u3001\u30b2\u30fc\u30c8\u9178\u5316\u819c\u3001\u9ad8k\u8a98\u96fb\u4f53\u5c64\u3001\u304a\u3088\u3073\u91d1\u5c5e\u96fb\u6975\u309210nm\u672a\u6e80\u306e\u30ce\u30fc\u30c9\u3067\u5806\u7a4d\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u65e5\u672c\u306e\u30e1\u30e2\u30ea\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u3001\u7279\u306b\u4e16\u754c\u306e\u4e3b\u8981\u306a3D NAND\u751f\u7523\u8005\u306f\u3001\u30ef\u30fc\u30c9\u30e9\u30a4\u30f3\u304a\u3088\u3073\u30d3\u30c3\u30c8\u30e9\u30a4\u30f3\u5f62\u6210\u306e\u305f\u3081\u306b\u30bf\u30f3\u30b0\u30b9\u30c6\u30f3\u304a\u3088\u3073\u30e2\u30ea\u30d6\u30c7\u30f3\u524d\u99c6\u4f53\u306e\u4e3b\u8981\u306a\u6d88\u8cbb\u8005\u3067\u3042\u308a\u3001\u5e74\u9593\u6570\u5341\u30e1\u30c8\u30ea\u30c3\u30af\u30c8\u30f3\u306e\u6d88\u8cbb\u91cf\u3092\u30d5\u30a1\u30d6\u30e9\u30a4\u30f3\u3054\u3068\u306b\u6301\u3063\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 \u30d0\u30c3\u30af\u30a8\u30f3\u30c9\u30fb\u30aa\u30d6\u30fb\u30e9\u30a4\u30f3\uff08BEOL\uff09\u306e\u76f8\u4e92\u63a5\u7d9a\u304a\u3088\u3073\u30d0\u30ea\u30a2\u5c64\u306f\u30015nm\u672a\u6e80\u306e\u30ce\u30fc\u30c9\u3067\u306e\u9285\u76f8\u4e92\u63a5\u7d9a\u306e\u305f\u3081\u306e\u30eb\u30c6\u30cb\u30a6\u30e0\u304a\u3088\u3073\u30e2\u30ea\u30d6\u30c7\u30f3\u30e9\u30a4\u30ca\u30fc\u3078\u306e\u79fb\u884c\u306b\u3088\u3063\u3066\u63a8\u9032\u3055\u308c\u308b\u6210\u9577\u3059\u308b\u9700\u8981\u30dd\u30b1\u30c3\u30c8\u3092\u8868\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u30b5\u30d6\u30bb\u30b0\u30e1\u30f3\u30c8\u306f\u30012026\u5e74\u306e\u7d048000\u4e07\uff5e1\u51042000\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\u304b\u30892035\u5e74\u307e\u3067\u306b2\u51045000\u4e07\uff5e3\u51045000\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\u306b\u6210\u9577\u3059\u308b\u3068\u4e88\u6e2c\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u30d1\u30ef\u30fc\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\uff08GaN-on-Si\u304a\u3088\u3073SiC\u57fa\u677f\uff09\u306f\u3001\u30d0\u30c3\u30d5\u30a1\u5c64\u3001\u30b2\u30fc\u30c8\u8a98\u96fb\u4f53\u3001\u304a\u3088\u3073\u30d1\u30c3\u30b7\u30d9\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u30d5\u30a3\u30eb\u30e0\u306e\u305f\u3081\u306b\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u524d\u99c6\u4f53\u3092\u6d88\u8cbb\u3057\u3066\u304a\u308a\u3001\u65e5\u672c\u306eGaN\u30d5\u30a1\u30a6\u30f3\u30c9\u30ea\u304a\u3088\u3073SiC\u30a6\u30a7\u30cf\u751f\u7523\u8005\u306f\u5e74\u738715\uff5e20%\u3067\u80fd\u529b\u3092\u62e1\u5927\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u9ad8\u5ea6\u306a\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30f3\u30b0\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3001\u7279\u306b3D-IC\u304a\u3088\u3073\u30c1\u30c3\u30d7\u30ec\u30c3\u30c8\u30a2\u30fc\u30ad\u30c6\u30af\u30c1\u30e3\u306e\u305f\u3081\u306e\u30b9\u30eb\u30fc\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u30d3\u30a2\uff08TSV\uff09\u304a\u3088\u3073\u518d\u914d\u5206\u5c64\uff08RDL\uff09\u306f\u3001\u4e3b\u306bALD\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9\u306e\u524d\u99c6\u4f53\u3092\u6d88\u8cbb\u3057\u3066\u304a\u308a\u3001\u610f\u5473\u306e\u3042\u308b\u9700\u8981\u30d9\u30af\u30c8\u30eb\u3068\u3057\u3066\u6d6e\u4e0a\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 \u30c7\u30a3\u30b9\u30d7\u30ec\u30a4\u88fd\u9020\u3001\u7279\u306bOLED\u304a\u3088\u3073TFT\u30d0\u30c3\u30af\u30d7\u30ec\u30fc\u30f3\u306e\u751f\u7523\u306f\u5b89\u5b9a\u3057\u305f\u6210\u9577\u3092\u7dad\u6301\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u304c\u3001\u6210\u9577\u7387\u306f\u9045\u304f\u3001\u8584\u819c\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u30c1\u30e3\u30cd\u30eb\u304a\u3088\u3073\u5c01\u6b62\u5c64\u306e\u305f\u3081\u306bMOCVD\u524d\u99c6\u4f53\u3092\u6d88\u8cbb\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u30d5\u30a9\u30c8\u30dc\u30eb\u30bf\u30a4\u30af\u30b9\u304a\u3088\u3073LED\u306e\u751f\u7523\u306f\u3001\u65e5\u672c\u306e\u7dcf\u9700\u8981\u306e10%\u672a\u6e80\u3092\u5360\u3081\u3066\u3044\u307e\u3059\u304c\u3001\u30ac\u30ea\u30a6\u30e0\u304a\u3088\u3073\u30a4\u30f3\u30b8\u30a6\u30e0\u524d\u99c6\u4f53\u306e\u5b89\u5b9a\u3057\u305f\u57fa\u76e4\u8ca0\u8377\u3092\u63d0\u4f9b\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 ## \u4fa1\u683c\u3068\u30b3\u30b9\u30c8\u30c9\u30e9\u30a4\u30d0\u30fc ## \u4e3b\u8981\u7d71\u8a08 \u65e5\u672c\u306e\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u524d\u99c6\u4f53\u5e02\u5834\u306b\u304a\u3051\u308b\u4fa1\u683c\u8a2d\u5b9a\u306f\u3001\u7d14\u5ea6\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9\u3001\u8a8d\u8a3c\u30ec\u30d9\u30eb\u3001\u30dc\u30ea\u30e5\u30fc\u30e0\u30b3\u30df\u30c3\u30c8\u30e1\u30f3\u30c8\u306b\u3088\u3063\u3066\u968e\u5c64\u5316\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u7814\u7a76\u958b\u767a\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9\u306e\u6750\u6599\u306f\u3001\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u7814\u7a76\u958b\u767a\u3084\u7d71\u5408\u306e\u305f\u3081\u306b\u30b0\u30e9\u30e0\u5358\u4f4d\u3067\u8ca9\u58f2\u3055\u308c\u3066\u304a\u308a\u3001\u5316\u5408\u7269\u306e\u65b0\u898f\u6027\u3084\u5408\u6210\u306e\u8907\u96d1\u3055\u306b\u5fdc\u3058\u3066\u30011\u30b0\u30e9\u30e0\u3042\u305f\u308a500\uff5e5,000\u7c73\u30c9\u30eb\u306e\u4fa1\u683c\u304c\u3064\u3044\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u8cc7\u683c\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9\u306e\u6750\u6599\u306f\u3001ppb\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u4e0d\u7d14\u7269\u4ed5\u69d8\u306b\u8a8d\u8a3c\u3055\u308c\u3001OEM\u3084\u30d5\u30a1\u30a6\u30f3\u30c9\u30ea\u30fc\u306e\u8cc7\u683c\u8a66\u9a13\u7528\u306b\u30ad\u30ed\u30b0\u30e9\u30e0\u5358\u4f4d\u3067\u4f9b\u7d66\u3055\u308c\u3001\u901a\u5e38\u306f1\u30ad\u30ed\u30b0\u30e9\u30e0\u3042\u305f\u308a2,000\uff5e15,000\u7c73\u30c9\u30eb\u306e\u7bc4\u56f2\u3067\u3059\u3002\u9ad8\u30dc\u30ea\u30e5\u30fc\u30e0\u88fd\u9020\uff08HVM\uff09\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9\u306e\u6750\u6599\u306f\u3001\u6570\u5e74\u306b\u308f\u305f\u308b\u9577\u671f\u5951\u7d04\uff08LTA\uff09\u306e\u4e0b\u3067\u30c8\u30f3\u5358\u4f4d\u3067\u4f9b\u7d66\u3055\u308c\u30011\u30ad\u30ed\u30b0\u30e9\u30e0\u3042\u305f\u308a800\uff5e4,000\u7c73\u30c9\u30eb\u306e\u4fa1\u683c\u5e2f\u3067\u3001\u30c8\u30ea\u30e1\u30c1\u30eb\u30a2\u30eb\u30df\u30cb\u30a6\u30e0\u3084\u30c6\u30c8\u30e9\u30ad\u30b9\uff08\u30b8\u30e1\u30c1\u30eb\u30a2\u30df\u30c9\uff09\u30c1\u30bf\u30f3\u306e\u3088\u3046\u306a\u6a19\u6e96\u5316\u3055\u308c\u305f\u524d\u99c6\u4f53\u306b\u306f\u5927\u5e45\u306a\u5272\u5f15\u304c\u9069\u7528\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002 \u30b3\u30b9\u30c8\u30c9\u30e9\u30a4\u30d0\u30fc\u306f\u3001\u5408\u6210\u306e\u8907\u96d1\u3055\u3001\u7cbe\u88fd\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u3001\u5206\u6790\u8a8d\u8a3c\u306e\u30aa\u30fc\u30d0\u30fc\u30d8\u30c3\u30c9\u306b\u3088\u3063\u3066\u652f\u914d\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u8d85\u9ad8\u7d14\u5ea6\u306e\u5408\u6210\u306b\u306f\u3001\u7279\u6b8a\u306a\u53cd\u5fdc\u5668\u3001\u4e0d\u6d3b\u6027\u96f0\u56f2\u6c17\u306e\u53d6\u308a\u6271\u3044\u3001\u8907\u6570\u306e\u84b8\u7559\u307e\u305f\u306f\u6607\u83ef\u30b9\u30c6\u30c3\u30d7\u304c\u5fc5\u8981\u3067\u3001\u7dcf\u751f\u7523\u30b3\u30b9\u30c8\u306e40\uff5e50%\u3092\u5360\u3081\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u5206\u6790\u8a8d\u8a3c\u306b\u306f\u3001\u8a98\u5c0e\u7d50\u5408\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u8cea\u91cf\u5206\u6790\uff08ICP-MS\uff09\u3001\u30ac\u30b9\u30af\u30ed\u30de\u30c8\u30b0\u30e9\u30d5\u30a3\u30fc\u3001\u7c92\u5b50\u8a08\u6570\u304c\u542b\u307e\u308c\u3001\u30b3\u30b9\u30c8\u306b10\uff5e15%\u3092\u8ffd\u52a0\u3057\u307e\u3059\u3002\u7279\u6b8a\u306a\u30b9\u30c6\u30f3\u30ec\u30b9\u92fc\u306e\u30d0\u30d6\u30e9\u30fc\u3084\u77f3\u82f1\u30a2\u30f3\u30d7\u30eb\u3067\u306e\u5305\u88c5\u3001\u6e05\u6383\u304a\u3088\u3073\u518d\u8a8d\u8a3c\u30b5\u30a4\u30af\u30eb\u3092\u542b\u3080\u30b3\u30b9\u30c8\u306f\u3001\u7d0d\u5165\u30b3\u30b9\u30c8\u306e15\uff5e20%\u3092\u5360\u3081\u307e\u3059\u3002 \u91d1\u5c5e\u30a2\u30eb\u30ad\u30eb\uff08\u4f8b\uff1a\u30c8\u30ea\u30e1\u30c1\u30eb\u30a2\u30eb\u30df\u30cb\u30a6\u30e0\u3001\u30c8\u30ea\u30e1\u30c1\u30eb\u30ac\u30ea\u30a6\u30e0\uff09\u306e\u539f\u6599\u8cbb\u306f\u3001\u904e\u53bb3\u5e74\u9593\u306715\uff5e30%\u5909\u52d5\u3057\u305f\u30a2\u30eb\u30df\u30cb\u30a6\u30e0\u304a\u3088\u3073\u30ac\u30ea\u30a6\u30e0\u91d1\u5c5e\u306e\u4fa1\u683c\u306b\u654f\u611f\u3067\u3059\u304c\u3001LTA\u69cb\u9020\u306f\u901a\u5e38\u3001\u30a8\u30f3\u30c9\u30e6\u30fc\u30b6\u30fc\u3092\u30b9\u30dd\u30c3\u30c8\u306e\u5909\u52d5\u304b\u3089\u4fdd\u8b77\u3057\u307e\u3059\u3002\u65e5\u672c\u7279\u6709\u306e\u4fa1\u683c\u30d7\u30ec\u30df\u30a2\u30e0\u306f\u3001\u4e16\u754c\u306e\u30d9\u30f3\u30c1\u30de\u30fc\u30af\u4fa1\u683c\u306b\u5bfe\u3057\u306610\uff5e25%\u306e\u7bc4\u56f2\u3067\u4e00\u822c\u7684\u3067\u3042\u308a\u3001\u3053\u308c\u306f\u56fd\u306e\u53b3\u683c\u306a\u7d14\u5ea6\u4ed5\u69d8\u3001\u30b8\u30e3\u30b9\u30c8\u30a4\u30f3\u30bf\u30a4\u30e0\u306e\u7d0d\u54c1\u8981\u4ef6\u3001CSCL\u304a\u3088\u3073\u8f38\u9001\u5b89\u5168\u30d7\u30ed\u30c8\u30b3\u30eb\u306b\u57fa\u3065\u304f\u898f\u5236\u9075\u5b88\u306e\u30b3\u30b9\u30c8\u3092\u53cd\u6620\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u524d\u99c6\u4f53\u4f9b\u7d66\u304c\u8a2d\u5099\u30b5\u30fc\u30d3\u30b9\u5951\u7d04\u3001\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u7d71\u5408\u30b5\u30dd\u30fc\u30c8\u3001\u307e\u305f\u306f\u30d0\u30d6\u30e9\u30fc\u7ba1\u7406\u3068\u7d44\u307f\u5408\u308f\u3055\u308c\u308b\u30d0\u30f3\u30c9\u30eb\u4fa1\u683c\u8a2d\u5b9a\u306f\u3001\u7279\u306bALD\u304a\u3088\u3073PE-ALD\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306b\u304a\u3044\u3066\u3001\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u5b89\u5b9a\u6027\u304c\u6b69\u7559\u307e\u308a\u306b\u76f4\u63a5\u5f71\u97ff\u3092\u4e0e\u3048\u308b\u305f\u3081\u3001\u307e\u3059\u307e\u3059\u666e\u53ca\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 ## \u4f9b\u7d66\u696d\u8005\u3001\u88fd\u9020\u696d\u8005\u304a\u3088\u3073\u7af6\u4e89 \u65e5\u672c\u306e\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u524d\u99c6\u4f53\u5e02\u5834\u306b\u304a\u3051\u308b\u7af6\u4e89\u74b0\u5883\u306f\u3001\u7d71\u5408\u3055\u308c\u305f\u30b0\u30ed\u30fc\u30d0\u30eb\u5316\u5b66\u5927\u624b\u3001\u65e5\u672c\u306e\u7279\u6b8a\u5316\u5b66\u4f01\u696d\u3001\u6280\u8853\u5fd7\u5411\u306e\u30b9\u30d4\u30f3\u30aa\u30d5\u306e\u6df7\u5408\u306b\u3088\u3063\u3066\u7279\u5fb4\u3065\u3051\u3089\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u65e5\u672c\u306b\u62e0\u70b9\u3092\u6301\u3064\u5b50\u4f1a\u793e\u3084\u6d41\u901a\u30d1\u30fc\u30c8\u30ca\u30fc\u30b7\u30c3\u30d7\u3092\u6301\u3064\u30b0\u30ed\u30fc\u30d0\u30eb\u30ea\u30fc\u30c0\u30fc\u306b\u306f\u3001Merck KGaA\uff08\u305d\u306eEMD Electronics\u90e8\u9580\u3092\u901a\u3058\u3066\uff09\u3001Air Liquide\uff08\u305d\u306eALD\/MOCVD\u524d\u99c6\u4f53\u30dd\u30fc\u30c8\u30d5\u30a9\u30ea\u30aa\u3092\u901a\u3058\u3066\uff09\u3001Entegris\u304c\u542b\u307e\u308c\u3001\u3044\u305a\u308c\u3082\u9ad8\u30dc\u30ea\u30e5\u30fc\u30e0\u88fd\u9020\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9\u306b\u304a\u3044\u3066\u91cd\u8981\u306a\u5e02\u5834\u30dd\u30b8\u30b7\u30e7\u30f3\u3092\u4fdd\u6301\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u97d3\u56fd\u306e\u751f\u7523\u8005Soulbrain\u3084\u30c9\u30a4\u30c4\u306e\u4f9b\u7d66\u696d\u8005Umicore\u3082\u3001\u65e5\u672c\u5e02\u5834\u3067\u6d3b\u767a\u306b\u6d3b\u52d5\u3057\u3066\u304a\u308a\u3001\u7279\u306b\u30e1\u30e2\u30ea\u3084\u30ed\u30b8\u30c3\u30af\u88fd\u9020\u306b\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u91d1\u5c5e\u30a2\u30eb\u30ad\u30eb\u3084\u91d1\u5c5e\u30a2\u30df\u30c9\u306b\u6ce8\u529b\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 \u65e5\u672c\u306e\u56fd\u5185\u4f9b\u7d66\u696d\u8005\u306b\u306f\u3001\u56fd\u5185\u306eIDM\u3084\u30d5\u30a1\u30a6\u30f3\u30c9\u30ea\u30fc\u3068\u306e\u9577\u5e74\u306e\u95a2\u4fc2\u3092\u6301\u3064\u3044\u304f\u3064\u304b\u306e\u7279\u6b8a\u5316\u5b66\u4f01\u696d\u304c\u542b\u307e\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u4f01\u696d\u306f\u3001\u901a\u5e38\u3001\u65b0\u3057\u3044\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u5316\u5408\u7269\u306e\u4e0a\u6d41\u5408\u6210\u3088\u308a\u3082\u3001\u7cbe\u88fd\u3001\u914d\u5408\u3001\u5206\u6790\u8a8d\u8a3c\u306b\u7126\u70b9\u3092\u5f53\u3066\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u5f7c\u3089\u306e\u7af6\u4e89\u512a\u4f4d\u6027\u306f\u3001\u8fc5\u901f\u306a\u8cc7\u683c\u652f\u63f4\u3001\u5730\u57df\u306b\u5bc6\u7740\u3057\u305f\u6280\u8853\u30b5\u30fc\u30d3\u30b9\u3001\u65e5\u672c\u306e\u7523\u696d\u57fa\u6e96\u3078\u306e\u6e96\u62e0\u306b\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u7279\u306b\u65b0\u3057\u3044\u5358\u4e00\u4f9b\u7d66\u524d\u99c6\u4f53\u3084\u4f4e\u6e29\u5806\u7a4d\u5316\u5b66\u3092\u5546\u696d\u5316\u3057\u3066\u3044\u308b\u6280\u8853\u4e3b\u5c0e\u306e\u30b9\u30bf\u30fc\u30c8\u30a2\u30c3\u30d7\u3084\u5927\u5b66\u306e\u30b9\u30d4\u30f3\u30aa\u30d5\u304c\u767b\u5834\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u304c\u3001\u5e02\u5834\u30b7\u30a7\u30a2\u306f\u4f9d\u7136\u3068\u3057\u3066\u5c0f\u3055\u304f\u3001\u901a\u5e38\u306f\u7814\u7a76\u958b\u767a\u304a\u3088\u3073\u8cc7\u683c\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9\u306e\u9700\u8981\u306b\u5fdc\u3048\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 ALD\u524d\u99c6\u4f53\u30bb\u30b0\u30e1\u30f3\u30c8\u3067\u306f\u3001\u7d14\u5ea6\u306e\u4e00\u8cab\u6027\u3068\u30ed\u30c3\u30c8\u9593\u306e\u518d\u73fe\u6027\u304c\u4e3b\u306a\u5dee\u5225\u5316\u8981\u56e0\u3067\u3042\u308a\u3001\u7af6\u4e89\u304c\u6fc0\u5316\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u65e5\u672c\u306e\u30d5\u30a1\u30a6\u30f3\u30c9\u30ea\u30fc\u3067\u306e\u4f9b\u7d66\u696d\u8005\u306e\u8cc7\u683c\u53d6\u5f97\u306b\u306f\u3001\u901a\u5e3812\uff5e18\u30f6\u6708\u306e\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u7d71\u5408\u30c6\u30b9\u30c8\u304c\u5fc5\u8981\u3067\u3042\u308a\u3001\u9ad8\u3044\u5207\u308a\u66ff\u3048\u30b3\u30b9\u30c8\u3068\u6839\u5f37\u3044\u4f9b\u7d66\u696d\u8005\u306e\u5730\u4f4d\u3092\u751f\u307f\u51fa\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002IDM\u5185\u3067\u306e\u81ea\u793e\u751f\u7523\u2014\u5927\u624b\u534a\u5c0e\u4f53\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u304c\u81ea\u793e\u306e\u30d5\u30a1\u30d6\u7528\u306b\u7279\u5b9a\u306e\u524d\u99c6\u4f53\u3092\u5185\u90e8\u3067\u751f\u7523\u3059\u308b\u3053\u3068\u2014\u306f\u3001\u65e5\u672c\u306e\u7dcf\u6d88\u8cbb\u91cf\u306e\u7d0410\uff5e15%\u3092\u5360\u3081\u3066\u304a\u308a\u3001\u4e3b\u306b\u5f93\u6765\u306eMOCVD\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9\u306b\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u304c\u3001\u3053\u306e\u30b7\u30a7\u30a2\u306f\u3001\u5916\u90e8\u4f9b\u7d66\u696d\u8005\u304c\u9ad8\u5ea6\u306a\u30ce\u30fc\u30c9\u5411\u3051\u306b\u512a\u308c\u305f\u7d14\u5ea6\u3068\u30b3\u30b9\u30c8\u52b9\u7387\u3092\u63d0\u4f9b\u3059\u308b\u305f\u3081\u3001\u6e1b\u5c11\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 ## \u56fd\u5185\u751f\u7523\u3068\u4f9b\u7d66 ## \u4e3b\u8981\u7d71\u8a08 \u65e5\u672c\u306f\u3001\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u524d\u99c6\u4f53\u306e\u305f\u3081\u306e\u91cd\u8981\u3067\u306f\u3042\u308b\u304c\u4e0d\u5b8c\u5168\u306a\u56fd\u5185\u751f\u7523\u57fa\u76e4\u3092\u6301\u3063\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u56fd\u5185\u306e\u5408\u6210\u80fd\u529b\u306f\u4e2d\u90e8\u304a\u3088\u3073\u95a2\u6771\u5730\u57df\u306b\u96c6\u4e2d\u3057\u3066\u304a\u308a\u3001\u3044\u304f\u3064\u304b\u306e\u7279\u6b8a\u5316\u5b66\u30d7\u30e9\u30f3\u30c8\u304c\u91d1\u5c5e\u30a2\u30eb\u30ad\u30eb\u304a\u3088\u3073\u91d1\u5c5e\u30a2\u30df\u30c9\u306e\u751f\u7523\u306e\u305f\u3081\u306b\u5c02\u7528\u306e\u53cd\u5fdc\u5668\u3092\u904b\u55b6\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3057\u304b\u3057\u3001\u56fd\u5185\u751f\u7523\u306f\u4e3b\u306b\u30c8\u30ea\u30e1\u30c1\u30eb\u30a2\u30eb\u30df\u30cb\u30a6\u30e0\u3001\u30c8\u30ea\u30e1\u30c1\u30eb\u30ac\u30ea\u30a6\u30e0\u3001\u30c6\u30c8\u30e9\u30ad\u30b9\uff08\u30b8\u30e1\u30c1\u30eb\u30a2\u30df\u30c9\uff09\u30c1\u30bf\u30f3\u306a\u3069\u306e\u78ba\u7acb\u3055\u308c\u305f\u9ad8\u5bb9\u91cf\u306e\u524d\u99c6\u4f53\u306b\u5411\u3051\u3089\u308c\u3066\u304a\u308a\u3001\u65e5\u672c\u306e\u751f\u7523\u8005\u306f\u6570\u5341\u5e74\u306e\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u7d4c\u9a13\u3092\u6709\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u6b21\u4e16\u4ee3\u306e\u524d\u99c6\u4f53\u3001\u4f8b\u3048\u3070\u30eb\u30c6\u30cb\u30a6\u30e0\u30ab\u30fc\u30dc\u30cb\u30eb\u3001\u30e2\u30ea\u30d6\u30c7\u30f3\u30a2\u30df\u30b8\u30cd\u30fc\u30c8\u3001\u65b0\u3057\u3044\u30b7\u30af\u30ed\u30da\u30f3\u30bf\u30b8\u30a8\u30cb\u30eb\u5316\u5408\u7269\u306b\u95a2\u3057\u3066\u306f\u3001\u56fd\u5185\u306e\u5408\u6210\u80fd\u529b\u306f\u9650\u3089\u308c\u3066\u304a\u308a\u3001\u5927\u90e8\u5206\u306e\u6750\u6599\u306f\u8f38\u5165\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 \u65e5\u672c\u56fd\u5185\u3067\u306f\u3001\u7cbe\u88fd\u304a\u3088\u3073\u5206\u6790\u8a8d\u8a3c\u80fd\u529b\u304c\u3088\u308a\u5f37\u56fa\u3067\u3042\u308a\u3001\u8907\u6570\u306e\u65bd\u8a2d\u304c\u84b8\u7559\u3001\u6607\u83ef\u3001\u30be\u30fc\u30f3\u7cbe\u88fd\u3092\u901a\u3058\u3066ppb\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u4e0d\u7d14\u7269\u7ba1\u7406\u3092\u63d0\u4f9b\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u65e5\u672c\u306e\u5206\u6790\u6a5f\u5668\u306b\u304a\u3051\u308b\u5f37\u307f\u306f\u3001ICP-MS\u3084\u30ac\u30b9\u30af\u30ed\u30de\u30c8\u30b0\u30e9\u30d5\u30a3\u30fc\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306e\u4e3b\u8981\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u3092\u62b1\u3048\u3066\u304a\u308a\u3001\u8a8d\u8a3c\u30b5\u30fc\u30d3\u30b9\u306e\u7af6\u4e89\u529b\u306e\u3042\u308b\u30a8\u30b3\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u3092\u652f\u3048\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3057\u304b\u3057\u3001\u7279\u306b\u7a7a\u6c17\u611f\u53d7\u6027\u306e\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u5316\u5408\u7269\u7528\u306b\u8a2d\u8a08\u3055\u308c\u305f\u30b9\u30c6\u30f3\u30ec\u30b9\u30b9\u30c1\u30fc\u30eb\u30d0\u30d6\u30e9\u30fc\u306e\u88fd\u9020\u304a\u3088\u3073\u6d17\u6d44\u306b\u304a\u3051\u308b\u7279\u6b8a\u5305\u88c5\u306e\u30dc\u30c8\u30eb\u30cd\u30c3\u30af\u306f\u4f9d\u7136\u3068\u3057\u3066\u5236\u7d04\u3068\u306a\u3063\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u65e5\u672c\u306b\u306f\u534a\u5c0e\u4f53\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9\u306e\u57fa\u6e96\u306b\u5f93\u3063\u3066\u30d0\u30d6\u30e9\u30fc\u3092\u6d17\u6d44\u304a\u3088\u3073\u518d\u8a8d\u8a3c\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u8a8d\u5b9a\u3055\u308c\u305f\u65bd\u8a2d\u304c2\u3064\u3057\u304b\u306a\u304f\u3001\u30d0\u30d6\u30e9\u30fc\u306e\u30bf\u30fc\u30f3\u30a2\u30e9\u30a6\u30f3\u30c9\u306b\u306f4\u301c8\u9031\u9593\u306e\u30ea\u30fc\u30c9\u30bf\u30a4\u30e0\u304c\u304b\u304b\u308a\u307e\u3059\u3002 \u65e5\u672c\u306e\u56fd\u5185\u751f\u7523\u306f\u3001\u539f\u6599\u4f9b\u7d66\u306e\u53ef\u7528\u6027\u306b\u3082\u5236\u7d04\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u30ac\u30ea\u30a6\u30e0\u3001\u30a4\u30f3\u30b8\u30a6\u30e0\u3001\u30eb\u30c6\u30cb\u30a6\u30e0\u306a\u3069\u306e\u4e3b\u8981\u91d1\u5c5e\u306f\u3001\u56fd\u5185\u3067\u91cd\u8981\u306a\u91cf\u304c\u751f\u7523\u3055\u308c\u3066\u304a\u3089\u305a\u3001\u4e3b\u306b\u4e2d\u56fd\uff08\u30ac\u30ea\u30a6\u30e0\uff09\u3001\u97d3\u56fd\uff08\u30a4\u30f3\u30b8\u30a6\u30e0\uff09\u3001\u5357\u30a2\u30d5\u30ea\u30ab\/\u30ed\u30b7\u30a2\uff08\u30eb\u30c6\u30cb\u30a6\u30e0\uff09\u304b\u3089\u8f38\u5165\u3059\u308b\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306b\u3088\u308a\u3001\u7279\u306b\u30ac\u30ea\u30a6\u30e0\u30d9\u30fc\u30b9\u306e\u524d\u99c6\u4f53\u306b\u304a\u3044\u3066\u4f9b\u7d66\u30c1\u30a7\u30fc\u30f3\u306e\u8106\u5f31\u6027\u304c\u751f\u3058\u3066\u304a\u308a\u3001\u4e2d\u56fd\u306e\u8f38\u51fa\u7ba1\u7406\u3084\u751f\u7523\u5272\u5f53\u304c\u904e\u53bb2\u5e74\u9593\u306720\u301c40%\u306e\u4fa1\u683c\u5909\u52d5\u3092\u5f15\u304d\u8d77\u3053\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 ## \u8f38\u5165\u3001\u8f38\u51fa\u304a\u3088\u3073\u8cbf\u6613 \u65e5\u672c\u306f\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u524d\u99c6\u4f53\u306e\u7d14\u8f38\u5165\u56fd\u3067\u3042\u308a\u30012026\u5e74\u306b\u306f\u8f38\u5165\u304c\u7dcf\u6d88\u8cbb\u306e55\u301c65%\u3092\u5360\u3081\u308b\u3068\u63a8\u5b9a\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u4e3b\u306a\u8f38\u5165\u5143\u306f\u97d3\u56fd\uff08\u8f38\u5165\u4fa1\u5024\u306e35\u301c40%\uff09\u3001\u30c9\u30a4\u30c4\uff0820\u301c25%\uff09\u3001\u30a2\u30e1\u30ea\u30ab\uff0815\u301c20%\uff09\u3067\u3042\u308a\u3001\u3053\u308c\u306f\u8d85\u9ad8\u7d14\u5ea6\u5408\u6210\u304a\u3088\u3073\u30b9\u30b1\u30fc\u30eb\u30a2\u30c3\u30d7\u80fd\u529b\u306e\u5730\u7406\u7684\u96c6\u4e2d\u3092\u53cd\u6620\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u97d3\u56fd\u306e\u8f38\u5165\u306b\u304a\u3051\u308b\u512a\u4f4d\u6027\u306f\u3001\u30e1\u30e2\u30ea\u88fd\u9020\u306e\u305f\u3081\u306e\u91d1\u5c5e\u30a2\u30eb\u30ad\u30eb\u304a\u3088\u3073\u91d1\u5c5e\u30a2\u30df\u30c9\u306e\u5927\u898f\u6a21\u751f\u7523\u306b\u3088\u3063\u3066\u63a8\u9032\u3055\u308c\u3066\u304a\u308a\u3001\u65e5\u672c\u306e\u30e1\u30e2\u30ea\u30d5\u30a1\u30d6\u306f\u30b3\u30b9\u30c8\u306e\u5229\u70b9\u3068\u78ba\u7acb\u3055\u308c\u305f\u8a8d\u8a3c\u306e\u305f\u3081\u306b\u3053\u308c\u3092\u8abf\u9054\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u30c9\u30a4\u30c4\u304b\u3089\u306e\u8f38\u5165\u306f\u3001\u65b0\u3057\u3044ALD\u524d\u99c6\u4f53\u3084\u30b7\u30af\u30ed\u30da\u30f3\u30bf\u30b8\u30a8\u30cb\u30eb\u5316\u5408\u7269\u306b\u504f\u3063\u3066\u304a\u308a\u3001\u30e8\u30fc\u30ed\u30c3\u30d1\u306e\u751f\u7523\u8005\u306f\u5f37\u529b\u306a\u77e5\u7684\u8ca1\u7523\u6a29\u3092\u4fdd\u6301\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 \u8f38\u5165\u91cf\u306f\u3001\u65e5\u672c\u306e\u95a2\u7a0e\u30b9\u30b1\u30b8\u30e5\u30fc\u30eb\u306b\u57fa\u3065\u304fHS\u30b3\u30fc\u30c9293100\uff08\u6709\u6a5f\u7121\u6a5f\u5316\u5408\u7269\uff09\u3001284290\uff08\u305d\u306e\u4ed6\u306e\u7121\u6a5f\u9178\u307e\u305f\u306f\u904e\u9178\u306e\u5869\uff09\u3001\u304a\u3088\u3073382499\uff08\u305d\u306e\u4ed6\u306e\u5316\u5b66\u88fd\u54c1\u304a\u3088\u3073\u8abf\u88fd\u7269\uff09\u306e\u4e0b\u3067\u306e\u5f71\u97ff\u3092\u53d7\u3051\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u30b3\u30fc\u30c9\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u6700\u6075\u56fd\uff08MFN\uff09\u95a2\u7a0e\u7387\u306f0\u301c3.8%\u306e\u7bc4\u56f2\u3067\u3042\u308a\u3001EU\u304a\u3088\u3073\u97d3\u56fd\u3068\u306e\u7d4c\u6e08\u9023\u643a\u5354\u5b9a\uff08EPA\uff09\u306b\u57fa\u3065\u304f\u512a\u9047\u7a0e\u7387\u306b\u3088\u308a\u3001\u9069\u683c\u306a\u51fa\u8377\u306b\u5bfe\u3057\u3066\u306f0\u301c1.5%\u306b\u5f15\u304d\u4e0b\u3052\u3089\u308c\u307e\u3059\u3002\u95a2\u7a0e\u306e\u53d6\u308a\u6271\u3044\u306f\u539f\u7523\u5730\u7279\u5b9a\u304a\u3088\u3073\u88fd\u54c1\u30b3\u30fc\u30c9\u7279\u5b9a\u3067\u3059\u304c\u3001\u5168\u4f53\u7684\u306a\u95a2\u7a0e\u8ca0\u62c5\u306f\u4f4e\u304f\u3001\u65e5\u672c\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u30bb\u30af\u30bf\u30fc\u306e\u305f\u3081\u306e\u6295\u5165\u30b3\u30b9\u30c8\u3092\u6700\u5c0f\u9650\u306b\u6291\u3048\u308b\u3068\u3044\u3046\u7523\u696d\u653f\u7b56\u3092\u53cd\u6620\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 \u65e5\u672c\u304b\u3089\u306e\u8f38\u51fa\u306f\u63a7\u3048\u3081\u3067\u3001\u5e74\u95931\u51045000\u4e07\u301c2\u51045000\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\u3068\u63a8\u5b9a\u3055\u308c\u3066\u304a\u308a\u3001\u4e3b\u306b\u30cb\u30c3\u30c1\u306a\u7528\u9014\u5411\u3051\u306b\u56fd\u5185\u3067\u751f\u7523\u3055\u308c\u305f\u9ad8\u7d14\u5ea6\u524d\u99c6\u4f53\u3084\u3001\u4ed8\u52a0\u4fa1\u5024\u306e\u3042\u308b\u7cbe\u88fd\u307e\u305f\u306f\u8a8d\u8a3c\u5f8c\u306e\u8f38\u5165\u6750\u6599\u306e\u518d\u8f38\u51fa\u3067\u69cb\u6210\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u65e5\u672c\u306e\u8f38\u51fa\u5148\u306f\u4e3b\u306b\u53f0\u6e7e\u3001\u97d3\u56fd\u3001\u30a2\u30e1\u30ea\u30ab\u3067\u3042\u308a\u3001\u65e5\u672c\u8a8d\u8a3c\u306e\u524d\u99c6\u4f53\u306f\u305d\u306e\u4e00\u8cab\u6027\u3068\u30c8\u30ec\u30fc\u30b5\u30d3\u30ea\u30c6\u30a3\u306e\u305f\u3081\u306b\u8a55\u4fa1\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u8cbf\u6613\u306e\u6d41\u308c\u306f\u30d5\u30a1\u30a6\u30f3\u30c9\u30ea\u306e\u8a8d\u8a3c\u30b5\u30a4\u30af\u30eb\u306b\u5927\u304d\u304f\u5f71\u97ff\u3055\u308c\u3066\u304a\u308a\u3001\u65e5\u672c\u306e\u30d5\u30a1\u30d6\u3067\u65b0\u3057\u3044\u524d\u99c6\u4f53\u304c\u8a8d\u8a3c\u3055\u308c\u308b\u3068\u3001\u305d\u306e\u5f8c\u53f0\u6e7e\u3084\u97d3\u56fd\u306e\u30d5\u30a1\u30d6\u3067\u3082\u8a8d\u8a3c\u3055\u308c\u308b\u3053\u3068\u304c\u591a\u304f\u3001\u65e5\u672c\u8a8d\u8a3c\u306e\u6750\u6599\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u8f38\u51fa\u6a5f\u4f1a\u304c\u751f\u307e\u308c\u307e\u3059\u3002 ## \u6d41\u901a\u30c1\u30e3\u30cd\u30eb\u3068\u30d0\u30a4\u30e4\u30fc \u65e5\u672c\u306b\u304a\u3051\u308b\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u524d\u99c6\u4f53\u306e\u6d41\u901a\u306f\u3001\u591a\u5c64\u69cb\u9020\u3067\u904b\u55b6\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u4e3b\u306a\u30c1\u30e3\u30cd\u30eb\u306f\u3001\u30b0\u30ed\u30fc\u30d0\u30eb\u304a\u3088\u3073\u56fd\u5185\u306e\u751f\u7523\u8005\u304b\u3089\u5927\u53e3\u30d0\u30a4\u30e4\u30fc\uff08\u534a\u5c0e\u4f53IDM\u3001\u30e1\u30e2\u30ea\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u3001\u30d5\u30a1\u30a6\u30f3\u30c9\u30ea\uff09\u3078\u306e\u76f4\u63a5\u4f9b\u7d66\u3067\u3042\u308a\u3001\u9577\u671f\u5951\u7d04\u306e\u4e0b\u3067\u4ea4\u6e09\u3055\u308c\u305f\u4fa1\u683c\u3001\u54c1\u8cea\u4ed5\u69d8\u3001\u304a\u3088\u3073\u7d0d\u671f\u304c\u8a2d\u5b9a\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u76f4\u63a5\u95a2\u4fc2\u306f\u5e02\u5834\u4fa1\u5024\u306e70\u301c80%\u3092\u5360\u3081\u3066\u304a\u308a\u3001\u5171\u540c\u958b\u767a\u30d7\u30ed\u30b0\u30e9\u30e0\u3001\u5171\u6709\u3055\u308c\u305f\u5206\u6790\u30c7\u30fc\u30bf\u3001\u304a\u3088\u3073\u9867\u5ba2\u30b5\u30a4\u30c8\u306b\u57cb\u3081\u8fbc\u307e\u308c\u305f\u5c02\u4efb\u306e\u6280\u8853\u30b5\u30dd\u30fc\u30c8\u30c1\u30fc\u30e0\u306b\u3088\u3063\u3066\u7279\u5fb4\u4ed8\u3051\u3089\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 ## \u4e3b\u8981\u7d71\u8a08 \u5c02\u9580\u306e\u30c7\u30a3\u30b9\u30c8\u30ea\u30d3\u30e5\u30fc\u30bf\u30fc\u3068\u8a8d\u5b9a\u30c1\u30e3\u30cd\u30eb\u30d1\u30fc\u30c8\u30ca\u30fc\u306f\u3001\u5e02\u5834\u306e\u6b8b\u308a\u306e20\u301c30\uff05\u3092\u5360\u3081\u3066\u304a\u308a\u3001\u4e3b\u306b\u5148\u9032\u7684\u306a\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30f3\u30b0OSAT\u3001\u30c7\u30a3\u30b9\u30d7\u30ec\u30a4\u30d1\u30cd\u30eb\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u3001\u30d0\u30f3\u30c9\u30eb\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u30ad\u30c3\u30c8\u3092\u5fc5\u8981\u3068\u3059\u308b\u8a2d\u5099OEM\u3001\u7814\u7a76\u6a5f\u95a2\u306a\u3069\u306e\u5c0f\u898f\u6a21\u306a\u30d0\u30a4\u30e4\u30fc\u306b\u5bfe\u5fdc\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u30c7\u30a3\u30b9\u30c8\u30ea\u30d3\u30e5\u30fc\u30bf\u30fc\u306f\u3001\u8a8d\u5b9a\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9\u304a\u3088\u3073R&D\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9\u306e\u6750\u6599\u306e\u5728\u5eab\u3092\u7dad\u6301\u3057\u3001\u901a\u95a2\u624b\u7d9a\u304d\u3084\u898f\u5236\u6587\u66f8\u306e\u7ba1\u7406\u3092\u884c\u3044\u3001\u5371\u967a\u7269\u8f38\u9001\u306e\u305f\u3081\u306e\u7269\u6d41\u30b5\u30dd\u30fc\u30c8\u3092\u63d0\u4f9b\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u4e3b\u8981\u306a\u6d41\u901a\u30cf\u30d6\u306f\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u30af\u30e9\u30b9\u30bf\u30fc\u304c\u96c6\u4e2d\u3057\u3066\u3044\u308b\u6771\u4eac-\u6a2a\u6d5c\u56de\u5eca\u304a\u3088\u3073\u5927\u962a-\u795e\u6238\u5730\u57df\u306b\u4f4d\u7f6e\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 \u65e5\u672c\u306b\u304a\u3051\u308b\u30d0\u30a4\u30e4\u30fc\u306e\u96c6\u4e2d\u5ea6\u306f\u9ad8\u3044\u3067\u3059\u3002\u56fd\u5185\u306e\u4e3b\u8981\u306a\u8ad6\u7406IDM\u3001\u30e1\u30e2\u30ea\u751f\u7523\u8005\u3001\u30d5\u30a1\u30a6\u30f3\u30c9\u30ea\u30aa\u30da\u30ec\u30fc\u30bf\u30fc\u3092\u542b\u3080\u4e0a\u4f4d5\u793e\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u306f\u3001\u5168\u4f53\u306e\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u524d\u99c6\u4f53\u6d88\u8cbb\u306e\u63a8\u5b9a55\u301c65\uff05\u3092\u5360\u3081\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u96c6\u4e2d\u5ea6\u306f\u3001\u5927\u624b\u30d0\u30a4\u30e4\u30fc\u306b\u4fa1\u683c\u4ea4\u6e09\u3084\u5951\u7d04\u6761\u4ef6\u306b\u95a2\u3057\u3066\u91cd\u8981\u306a\u4ea4\u6e09\u529b\u3092\u4e0e\u3048\u3001\u7279\u306b\u8907\u6570\u306e\u8a8d\u5b9a\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u30fc\u304c\u5b58\u5728\u3059\u308b\u30b3\u30e2\u30c7\u30a3\u30c6\u30a3\u524d\u99c6\u4f53\u306b\u304a\u3044\u3066\u9855\u8457\u3067\u3059\u3002\u3057\u304b\u3057\u3001\u8a8d\u5b9a\u3092\u9054\u6210\u3057\u305f\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u30fc\u304c1\u793e\u307e\u305f\u306f2\u793e\u3057\u304b\u5b58\u5728\u3057\u306a\u3044\u65b0\u898f\u524d\u99c6\u4f53\u306b\u95a2\u3057\u3066\u306f\u3001\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u30fc\u306e\u4ea4\u6e09\u529b\u304c\u5927\u5e45\u306b\u9ad8\u304f\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002\u30d0\u30a4\u30e4\u30fc\u306e\u8a8d\u5b9a\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306f\u53b3\u683c\u3067\u3042\u308a\u3001\u6750\u6599\u7279\u6027\u8a55\u4fa1\u3001\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u7d71\u5408\u30c6\u30b9\u30c8\u3001\u4fe1\u983c\u6027\u691c\u8a3c\u309212\u301c24\u30f6\u6708\u306b\u308f\u305f\u3063\u3066\u884c\u3044\u3001\u305d\u306e\u5f8c\u306f\u5207\u308a\u66ff\u3048\u30b3\u30b9\u30c8\u304c\u9ad8\u304f\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002 ## \u898f\u5236\u3068\u57fa\u6e96 \u5546\u696d\u7684\u8ca0\u62c5\u304c\u6280\u8853\u7684\u9069\u5408\u304b\u3089\u627f\u8a8d\u30d9\u30f3\u30c0\u30fc\u306e\u5730\u4f4d\u3001\u751f\u7523\u306e\u7d99\u7d9a\u6027\u3001\u30e9\u30a4\u30d5\u30b5\u30a4\u30af\u30eb\u30b5\u30dd\u30fc\u30c8\u3078\u3068\u3069\u306e\u3088\u3046\u306b\u4e0a\u6607\u3059\u308b\u304b\u3002 - \u30d1\u30d5\u30a9\u30fc\u30de\u30f3\u30b9 - \u30a4\u30f3\u30bf\u30fc\u30d5\u30a7\u30fc\u30b9\u4e92\u63db\u6027 - \u71b1\u7684\/\u4fe1\u983c\u6027\u9069\u5408 - REACH\uff08EU\uff09 - TSCA\uff08\u7c73\u56fd\uff09 - \u5316\u5b66\u5175\u5668\u7981\u6b62\u6761\u7d04\uff08\u524d\u99c6\u4f53\u76e3\u8996\uff09 - \u81ea\u5df1\u767a\u706b\u6027\/\u7a7a\u6c17\u611f\u53d7\u6027\u6750\u6599\u306e\u8f38\u9001\u898f\u5236\uff08DOT\u3001IATA\uff09 - \u8a2d\u8a08\u691c\u8a3c - AVL\u30b9\u30c6\u30fc\u30bf\u30b9 - \u751f\u7523\u6e96\u5099 - \u30ea\u30fc\u30c9\u30bf\u30a4\u30e0\u306e\u5b89\u5b9a\u6027 - \u5728\u5eab\u30b5\u30dd\u30fc\u30c8 - \u30e9\u30a4\u30d5\u30b5\u30a4\u30af\u30eb\u30b5\u30dd\u30fc\u30c8 \u65e5\u672c\u306e\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u524d\u99c6\u4f53\u306b\u95a2\u3059\u308b\u898f\u5236\u30d5\u30ec\u30fc\u30e0\u30ef\u30fc\u30af\u306f\u3001\u4e3b\u306b\u5316\u5b66\u7269\u8cea\u306e\u5be9\u67fb\u6cd5\uff08CSCL\uff09\u306b\u3088\u3063\u3066\u7ba1\u7406\u3055\u308c\u3066\u304a\u308a\u3001\u65b0\u3057\u3044\u5316\u5b66\u7269\u8cea\u306e\u88fd\u9020\u307e\u305f\u306f\u8f38\u5165\u524d\u306b\u901a\u77e5\u3068\u8a55\u4fa1\u304c\u5fc5\u8981\u3067\u3059\u3002\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u306b\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u591a\u304f\u306e\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u5316\u5408\u7269\u306fCSCL\u306e\u4e0b\u3067\u300c\u65e2\u5b58\u5316\u5b66\u7269\u8cea\u300d\u3068\u3057\u3066\u5206\u985e\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u304c\u3001\u7279\u306b\u6b21\u4e16\u4ee3ALD\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u7528\u306b\u958b\u767a\u3055\u308c\u305f\u65b0\u898f\u5316\u5408\u7269\u306f\u3001\u88fd\u9020\u524d\u901a\u77e5\u304c\u5fc5\u8981\u3067\u3042\u308a\u3001\u3053\u306e\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306b\u306f6\u301c12\u30f6\u6708\u304b\u304b\u308b\u3053\u3068\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u898f\u5236\u306e\u30bf\u30a4\u30e0\u30e9\u30a4\u30f3\u306f\u3001\u65b0\u3057\u3044\u524d\u99c6\u4f53\u5316\u5b66\u306e\u5e02\u5834\u53c2\u5165\u306b\u3068\u3063\u3066\u91cd\u8981\u306a\u969c\u58c1\u3068\u306a\u308a\u3001\u65e5\u672c\u306b\u304a\u3051\u308b\u78ba\u7acb\u3055\u308c\u305f\u898f\u5236\u696d\u52d9\u80fd\u529b\u3092\u6301\u3064\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u30fc\u306b\u6709\u5229\u3067\u3059\u3002 \u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u524d\u99c6\u4f53\u306e\u8f38\u9001\u898f\u5236\u306f\u3001\u591a\u304f\u306e\u5316\u5408\u7269\u304c\u81ea\u5df1\u767a\u706b\u6027\u3001\u7a7a\u6c17\u611f\u53d7\u6027\u3001\u6bd2\u6027\u3092\u6301\u3064\u305f\u3081\u53b3\u683c\u3067\u3059\u3002\u56fd\u5185\u8f38\u9001\u306f\u3001\u65e5\u672c\u306e\u6d88\u9632\u6cd5\u304a\u3088\u3073\u9ad8\u5727\u30ac\u30b9\u5b89\u5168\u6cd5\u306b\u3088\u3063\u3066\u898f\u5236\u3055\u308c\u3066\u304a\u308a\u3001\u5305\u88c5\u3001\u30e9\u30d9\u30ea\u30f3\u30b0\u3001\u8eca\u4e21\u4ed5\u69d8\u3001\u904b\u8ee2\u624b\u306e\u8a13\u7df4\u306b\u95a2\u3059\u308b\u8981\u4ef6\u304c\u8ab2\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u56fd\u969b\u8f38\u9001\u306f\u3001IATA\uff08\u822a\u7a7a\uff09\u304a\u3088\u3073IMDG\uff08\u6d77\u4e0a\uff09\u5371\u967a\u7269\u898f\u5236\u306b\u6e96\u62e0\u3059\u308b\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308a\u3001\u591a\u304f\u306e\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u5316\u5408\u7269\u306f\u30af\u30e9\u30b94.2\uff08\u81ea\u5df1\u767a\u706b\u6027\uff09\u307e\u305f\u306f\u30af\u30e9\u30b96.1\uff08\u6bd2\u6027\uff09\u7269\u8cea\u3068\u3057\u3066\u5206\u985e\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u8f38\u9001\u8981\u4ef6\u306f\u3001\u975e\u5371\u967a\u6027\u306e\u7279\u6b8a\u5316\u5b66\u7269\u8cea\u3068\u6bd4\u8f03\u3057\u3066\u7269\u6d41\u30b3\u30b9\u30c8\u306b15\u301c25\uff05\u306e\u8ffd\u52a0\u3092\u3082\u305f\u3089\u3057\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u6750\u6599\u3092\u53d6\u308a\u6271\u3046\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u308b\u7269\u6d41\u30d7\u30ed\u30d0\u30a4\u30c0\u30fc\u306e\u6570\u3092\u5236\u9650\u3057\u307e\u3059\u3002 SEMI\u304b\u3089\u306e\u696d\u754c\u6a19\u6e96\u3001\u7279\u306bSEMI C3\uff08\u9ad8\u7d14\u5ea6\u30ac\u30b9\u304a\u3088\u3073\u5316\u5b66\u7269\u8cea\u306e\u6a19\u6e96\uff09\u306f\u3001\u65e5\u672c\u306e\u30d5\u30a1\u30d6\u306b\u3088\u3063\u3066\u524d\u99c6\u4f53\u306e\u7d14\u5ea6\u3001\u7c92\u5b50\u6570\u3001\u91d1\u5c5e\u6c5a\u67d3\u306e\u57fa\u6e96\u4ed5\u69d8\u3068\u3057\u3066\u5e83\u304f\u63a1\u7528\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u30d5\u30a1\u30a6\u30f3\u30c9\u30ea\u7279\u6709\u306e\u6750\u6599\u8a8d\u5b9a\u30d7\u30ed\u30c8\u30b3\u30eb\u306f\u3001\u3057\u3070\u3057\u3070SEMI\u6a19\u6e96\u3092\u8d85\u3048\u308b\u3082\u306e\u3067\u3042\u308a\u3001\u5404IDM\u304a\u3088\u3073\u30d5\u30a1\u30a6\u30f3\u30c9\u30ea\u306b\u3088\u3063\u3066\u5185\u90e8\u3067\u958b\u767a\u3055\u308c\u3001\u72ec\u81ea\u306e\u3082\u306e\u3068\u898b\u306a\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u5316\u5b66\u5175\u5668\u7981\u6b62\u6761\u7d04\u306b\u6e96\u62e0\u3059\u308b\u3053\u3068\u306f\u3001\u5316\u5b66\u5175\u5668\u306e\u88fd\u9020\u306b\u8ee2\u7528\u3055\u308c\u308b\u53ef\u80fd\u6027\u306e\u3042\u308b\u524d\u99c6\u4f53\u5316\u5b66\u7269\u8cea\u3092\u76e3\u8996\u3057\u3001\u30ea\u30f3\u3001\u786b\u9ec4\u3001\u30d5\u30c3\u7d20\u3092\u542b\u3080\u7279\u5b9a\u306e\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u5316\u5408\u7269\u306b\u9069\u7528\u3055\u308c\u3001\u5f71\u97ff\u3092\u53d7\u3051\u308b\u6750\u6599\u306e\u6700\u7d42\u4f7f\u7528\u5ba3\u8a00\u304a\u3088\u3073\u8a18\u9332\u4fdd\u6301\u304c\u6c42\u3081\u3089\u308c\u307e\u3059\u3002 ## 2035\u5e74\u307e\u3067\u306e\u5e02\u5834\u4e88\u6e2c \u65e5\u672c\u306e\u6709\u6a5f\u91d1\u5c5e\u524d\u99c6\u4f53\u5e02\u5834\u306f\u30012026\u5e74\u306b12\u301c15\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\u304b\u30892035\u5e74\u306b\u306f21\u301c26\u5104\u7c73\u30c9\u30eb\u306b\u6210\u9577\u3059\u308b\u3068\u4e88\u6e2c\u3055\u308c\u3066\u304a\u308a\u3001\u3053\u308c\u306f\u5e74\u5e73\u5747\u6210\u9577\u7387\uff08CAGR\uff096\u301c8\uff05\u3092\u793a\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u6210\u9577\u8ecc\u9053\u306f\u3001\u3044\u304f\u3064\u304b\u306e\u69cb\u9020\u7684\u8981\u56e0\u306b\u3088\u3063\u3066\u652f\u3048\u3089\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u307e\u305a\u3001\u65e5\u672c\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u80fd\u529b\u304c\u62e1\u5927\u3057\u3066\u304a\u308a\u3001\u718a\u672c\u3084\u5317\u6d77\u9053\u3067\u306e\u5148\u9032\u7684\u306a\u8ad6\u7406\u30d5\u30a1\u30d6\u306e\u653f\u5e9c\u88dc\u52a9\u91d1\u306b\u3088\u308b\u5efa\u8a2d\u3084\u3001\u56db\u65e5\u5e02\u3084\u5317\u4e0a\u3067\u306e\u30e1\u30e2\u30ea\u30d5\u30a1\u30d6\u306e\u62e1\u5f35\u304c\u9032\u3093\u3067\u304a\u308a\u30012030\u5e74\u307e\u3067\u306b\u6708\u3042\u305f\u308a\u63a8\u5b9a30\u4e07\u301c40\u4e07\u30a6\u30a7\u30cf\u30fc\u30b9\u30bf\u30fc\u30c8\uff08300 mm\u76f8\u5f53\uff09\u304c\u8ffd\u52a0\u3055\u308c\u308b\u898b\u8fbc\u307f\u3067\u3059\u3002\u65b0\u3057\u3044\u30d5\u30a1\u30d6\u30e9\u30a4\u30f3\u3054\u3068\u306b18\u301c24\u30f6\u6708\u306e\u524d\u99c6\u4f53\u8a8d\u5b9a\u3068\u7acb\u3061\u4e0a\u3052\u304c\u5fc5\u8981\u3067\u3042\u308a\u30012028\u5e74\u304b\u30892030\u5e74\u306b\u304b\u3051\u3066\u6301\u7d9a\u7684\u306a\u9700\u8981\u306e\u6210\u9577\u3092\u751f\u307f\u51fa\u3057\u307e\u3059\u3002 ## \u4e3b\u8981\u7d71\u8a08 \u7b2c\u4e8c\u306b\u30015 nm\u672a\u6e80\u306e\u30ce\u30fc\u30c9\u304a\u3088\u30733D\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\u30a2\u30fc\u30ad\u30c6\u30af\u30c1\u30e3\uff08Gate-All-Around FET\u3092\u542b\u3080\uff09\u3078\u306e\u6280\u8853\u79fb\u884c\u306b\u3088\u308a\u3001\u8907\u6570\u306eALD\u9ad8k\/\u30e1\u30bf\u30eb\u30b2\u30fc\u30c8\u30b9\u30bf\u30c3\u30af\u3001\u4f5c\u696d\u95a2\u6570\u30e1\u30bf\u30eb\u5c64\u3001\u30b3\u30f3\u30d5\u30a9\u30fc\u30de\u30eb\u30d0\u30ea\u30a2\u30d5\u30a3\u30eb\u30e0\u306e\u5fc5\u8981\u6027\u304b\u3089\u3001\u30a6\u30a8\u30cf\u30fc\u3042\u305f\u308a\u306e\u524d\u99c6\u4f53\u6d88\u8cbb\u91cf\u304c7 nm\u30ce\u30fc\u30c9\u3068\u6bd4\u8f03\u3057\u306625\uff5e40%\u5897\u52a0\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u7b2c\u4e09\u306b\u3001\u65e5\u672c\u306b\u304a\u3051\u308bGaN\u304a\u3088\u3073SiC\u30d1\u30ef\u30fc\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u306e\u6210\u9577\u306f\u3001\u96fb\u6c17\u81ea\u52d5\u8eca\u304a\u3088\u3073\u7523\u696d\u7528\u96fb\u529b\u5909\u63db\u306e\u9700\u8981\u306b\u3088\u308a\u3001\u30aa\u30eb\u30ac\u30ce\u30e1\u30bf\u30ea\u30c3\u30af\u524d\u99c6\u4f53\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u65b0\u305f\u306a\u9700\u8981\u30d9\u30af\u30c8\u30eb\u3092\u751f\u307f\u51fa\u3057\u3066\u304a\u308a\u30012030\u5e74\u307e\u3067\u306bGaN\u30a8\u30d4\u30a6\u30a8\u30cf\u30fc\u306e\u751f\u7523\u304c3\u500d\u306b\u306a\u308b\u3068\u4e88\u60f3\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u7b2c\u56db\u306b\u30013D-IC\u3001\u30cf\u30a4\u30d6\u30ea\u30c3\u30c9\u30dc\u30f3\u30c7\u30a3\u30f3\u30b0\u3001\u30c1\u30c3\u30d7\u30ec\u30c3\u30c8\u7d71\u5408\u3092\u542b\u3080\u9ad8\u5ea6\u306a\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30f3\u30b0\u6280\u8853\u304c\u91cd\u8981\u306a\u6d88\u8cbb\u30ab\u30c6\u30b4\u30ea\u30fc\u3068\u3057\u3066\u6d6e\u4e0a\u3057\u3066\u304a\u308a\u3001TSV\u30e9\u30a4\u30ca\u30fc\u3001\u518d\u914d\u5206\u5c64\u30d0\u30ea\u30a2\u3001\u8a98\u96fb\u4f53\u30a8\u30f3\u30ad\u30e3\u30d7\u30b9\u30ec\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5c64\u7528\u306eALD\u524d\u99c6\u4f53\u306f10\uff5e13%\u306eCAGR\u3067\u6210\u9577\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u7b2c\u4e94\u306b\u3001\u30c7\u30a3\u30b9\u30d7\u30ec\u30a4\u30bb\u30af\u30bf\u30fc\u306f\u6210\u9577\u304c\u9045\u3044\u3082\u306e\u306e\u3001OLED\u304a\u3088\u3073\u30df\u30cbLED\u30d0\u30c3\u30af\u30d7\u30ec\u30fc\u30f3\u3078\u306e\u79fb\u884c\u304b\u3089\u6069\u6075\u3092\u53d7\u3051\u3066\u304a\u308a\u3001\u30a4\u30f3\u30b8\u30a6\u30e0\u304a\u3088\u3073\u30ac\u30ea\u30a6\u30e0\u524d\u99c6\u4f53\u306e\u9700\u8981\u3092\u7dad\u6301\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u4e88\u6e2c\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u4e3b\u306a\u4e0b\u65b9\u30ea\u30b9\u30af\u306f\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u7523\u696d\u306e\u9577\u671f\u7684\u306a\u4f4e\u8ff7\u3067\u3042\u308a\u3001\u3053\u308c\u306b\u3088\u308a\u30d5\u30a1\u30d6\u306e\u7a3c\u50cd\u7387\u304c\u4f4e\u4e0b\u3057\u3001\u8a2d\u5099\u62e1\u5f35\u8a08\u753b\u304c\u9045\u308c\u308b\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308a\u3001\u5f31\u6c17\u30b7\u30ca\u30ea\u30aa\u3067\u306f\u6210\u9577\u304c4\uff5e5%\u306eCAGR\u306b\u4f4e\u4e0b\u3059\u308b\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002 ## \u5e02\u5834\u6a5f\u4f1a \u65e5\u672c\u306e\u30aa\u30eb\u30ac\u30ce\u30e1\u30bf\u30ea\u30c3\u30af\u524d\u99c6\u4f53\u5e02\u5834\u306b\u306f\u3001\u3044\u304f\u3064\u304b\u306e\u9ad8\u4fa1\u5024\u306e\u6a5f\u4f1a\u304c\u6d6e\u4e0a\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u30025 nm\u672a\u6e80\u306e\u30ce\u30fc\u30c9\u306b\u304a\u3051\u308bBEOL\u76f8\u4e92\u63a5\u7d9a\u7528\u306e\u30eb\u30c6\u30cb\u30a6\u30e0\u304a\u3088\u3073\u30e2\u30ea\u30d6\u30c7\u30f3\u524d\u99c6\u4f53\u306e\u8a8d\u8a3c\u3068\u63a1\u7528\u306f\u30012035\u5e74\u307e\u3067\u306b2\u51045000\u4e07\uff5e3\u51045000\u4e07\u7c73\u30c9\u30eb\u306e\u30a2\u30c9\u30ec\u30b9\u53ef\u80fd\u5e02\u5834\u3092\u8868\u3057\u3066\u304a\u308a\u3001\u5148\u884c\u3059\u308b\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u30fc\u306f\u65e5\u672c\u306e\u30d5\u30a1\u30a6\u30f3\u30c9\u30ea\u3084\u30e1\u30e2\u30ea\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u3068\u306e\u9577\u671f\u5951\u7d04\u3092\u78ba\u4fdd\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u5c02\u7528\u306e\u65e5\u672c\u6280\u8853\u30b5\u30dd\u30fc\u30c8\u30c1\u30fc\u30e0\u3084\u5730\u57df\u306e\u5206\u6790\u8a8d\u8a3c\u65bd\u8a2d\u306b\u6295\u8cc7\u3059\u308b\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u30fc\u306f\u300112\uff5e24\u30f6\u6708\u306e\u8a8d\u8a3c\u30b5\u30a4\u30af\u30eb\u3068\u8fc5\u901f\u306a\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u7d71\u5408\u30b5\u30dd\u30fc\u30c8\u306e\u91cd\u8981\u6027\u3092\u8003\u616e\u3059\u308b\u3068\u3001\u3053\u306e\u6a5f\u4f1a\u3092\u6349\u3048\u308b\u305f\u3081\u306e\u3088\u308a\u826f\u3044\u30dd\u30b8\u30b7\u30e7\u30f3\u3092\u78ba\u4fdd\u3067\u304d\u308b\u3067\u3057\u3087\u3046\u3002 \u56fd\u5185\u306e\u7cbe\u88fd\u304a\u3088\u3073\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30f3\u30b0\u80fd\u529b\u306e\u62e1\u5927\u306f\u3001\u65e5\u672c\u306e\u7279\u6b8a\u5316\u5b66\u4f01\u696d\u3084\u5730\u57df\u30a4\u30f3\u30d5\u30e9\u306b\u6295\u8cc7\u3059\u308b\u610f\u6b32\u306e\u3042\u308b\u5916\u56fd\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u30fc\u306b\u3068\u3063\u3066\u6226\u7565\u7684\u306a\u6a5f\u4f1a\u3092\u63d0\u4f9b\u3057\u307e\u3059\u3002\u65e5\u672c\u3067\u306e\u30d0\u30d6\u30e9\u30fc\u30af\u30ea\u30fc\u30cb\u30f3\u30b0\u304a\u3088\u3073\u518d\u8a8d\u8a3c\u80fd\u529b\u306e\u69cb\u7bc9\u307e\u305f\u306f\u62e1\u5927\u306f\u3001\u30ea\u30fc\u30c9\u30bf\u30a4\u30e0\u3084\u7269\u6d41\u30b3\u30b9\u30c8\u3092\u524a\u6e1b\u3057\u3001\u73fe\u5728\u306e\u30dc\u30c8\u30eb\u30cd\u30c3\u30af\u304b\u3089\u4fa1\u5024\u3092\u7372\u5f97\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u540c\u69d8\u306b\u3001\u6b21\u4e16\u4ee3\u524d\u99c6\u4f53\u3001\u7279\u306b\u30eb\u30c6\u30cb\u30a6\u30e0\u30a2\u30df\u30b8\u30cd\u30fc\u30c8\u3001\u30e2\u30ea\u30d6\u30c7\u30f3\u30a4\u30df\u30c9\u3001\u65b0\u3057\u3044\u30b7\u30af\u30ed\u30da\u30f3\u30bf\u30b8\u30a8\u30cb\u30eb\u5316\u5408\u7269\u306e\u305f\u3081\u306e\u5c02\u7528\u5408\u6210\u80fd\u529b\u3078\u306e\u6295\u8cc7\u306f\u3001\u65e5\u672c\u306e\u8f38\u5165\u4f9d\u5b58\u5ea6\u3092\u6e1b\u5c11\u3055\u305b\u3001\u56fd\u5185\u5e02\u5834\u3067\u306e\u7af6\u4e89\u512a\u4f4d\u6027\u3092\u751f\u307f\u51fa\u3059\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002 \u30d1\u30ef\u30fc\u534a\u5c0e\u4f53\u30bb\u30b0\u30e1\u30f3\u30c8\u306f\u9ad8\u6210\u9577\u306e\u6a5f\u4f1a\u3092\u63d0\u4f9b\u3057\u3066\u304a\u308a\u3001\u65e5\u672c\u306b\u304a\u3051\u308bGaN-on-Si\u304a\u3088\u3073SiC\u30a8\u30d4\u30bf\u30ad\u30b7\u30e3\u30eb\u30a6\u30a8\u30cf\u30fc\u306e\u751f\u7523\u304c\u6025\u901f\u306b\u62e1\u5927\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002GaN\u30d0\u30c3\u30d5\u30a1\u5c64\u304a\u3088\u3073SiC\u30b2\u30fc\u30c8\u8a98\u96fb\u4f53\u7528\u306b\u7279\u5316\u3057\u305f\u914d\u5408\u3092\u958b\u767a\u3057\u3001\u65e5\u672c\u306e\u4e3b\u8981\u306a\u30d1\u30ef\u30fc\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u30d5\u30a1\u30a6\u30f3\u30c9\u30ea\u3067\u8a8d\u8a3c\u3092\u53d6\u5f97\u3057\u305f\u524d\u99c6\u4f53\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u30fc\u306f\u3001\u30ed\u30b8\u30c3\u30af\/\u30e1\u30e2\u30ea\u524d\u99c6\u4f53\u3088\u308a\u3082\u9ad8\u3044\u30de\u30fc\u30b8\u30f3\u3067\u6210\u9577\u3059\u308b\u53ce\u76ca\u6e90\u3092\u78ba\u4fdd\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002 \u9ad8\u5ea6\u306a\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30f3\u30b0\u30bb\u30b0\u30e1\u30f3\u30c8\u306f\u3001\u7d76\u5bfe\u7684\u306a\u898f\u6a21\u3067\u306f\u5c0f\u3055\u3044\u3082\u306e\u306e\u300110\uff5e13%\u306eCAGR\u3067\u6210\u9577\u3057\u3066\u304a\u308a\u3001\u78ba\u7acb\u3055\u308c\u305f\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u30fc\u3067\u306e\u98fd\u548c\u304c\u5c11\u306a\u3044\u305f\u3081\u3001\u6280\u8853\u306b\u7126\u70b9\u3092\u5f53\u3066\u305f\u30b9\u30bf\u30fc\u30c8\u30a2\u30c3\u30d7\u3084\u7279\u6b8a\u5316\u5b66\u4f01\u696d\u304c\u30dd\u30b8\u30b7\u30e7\u30f3\u3092\u78ba\u7acb\u3059\u308b\u6a5f\u4f1a\u3092\u751f\u307f\u51fa\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u6700\u5f8c\u306b\u3001\u524d\u99c6\u4f53\u4f9b\u7d66\u3092\u8a2d\u5099\u30b5\u30fc\u30d3\u30b9\u3001\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u6700\u9069\u5316\u3001\u30d0\u30d6\u30e9\u30fc\u7ba1\u7406\u3068\u7d44\u307f\u5408\u308f\u305b\u305f\u30d0\u30f3\u30c9\u30eb\u4fa1\u683c\u8a2d\u5b9a\u306e\u50be\u5411\u306f\u3001\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u30fc\u304c\u9867\u5ba2\u306e\u30ed\u30c3\u30af\u30a4\u30f3\u3092\u5897\u52a0\u3055\u305b\u3001\u30d0\u30ea\u30e5\u30fc\u30c1\u30a7\u30fc\u30f3\u306e\u3088\u308a\u5927\u304d\u306a\u30b7\u30a7\u30a2\u3092\u7372\u5f97\u3059\u308b\u3053\u3068\u3092\u53ef\u80fd\u306b\u3057\u307e\u3059\u3002 \u6280\u8853\u3001\u88fd\u9020\u306e\u6df1\u3055\u3001\u8a8d\u8a3c\u3001\u30c1\u30e3\u30cd\u30eb\u30ea\u30fc\u30c1\u3092\u5236\u5fa1\u3059\u308b\u50be\u5411\u306e\u3042\u308b\u30d7\u30ec\u30fc\u30e4\u30fc\u306e\u5f79\u5272\u30d9\u30fc\u30b9\u306e\u898b\u65b9\u3002 \u30a2\u30fc\u30ad\u30bf\u30a4\u30d7 \u30b3\u30a2\u6280\u8853 \u88fd\u9020\u898f\u6a21 \u8a8d\u8a3c \u30c7\u30b6\u30a4\u30f3\u30a4\u30f3\u30b5\u30dd\u30fc\u30c8 \u30c1\u30e3\u30cd\u30eb\u30ea\u30fc\u30c1 \u7d71\u5408\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u304a\u3088\u3073\u30d7\u30e9\u30c3\u30c8\u30d5\u30a9\u30fc\u30e0\u30ea\u30fc\u30c0\u30fc \u9ad8 \u9ad8 \u9ad8 \u9ad8 \u9ad8 \u534a\u5c0e\u4f53\u304a\u3088\u3073\u5148\u9032\u6750\u6599\u30b9\u30da\u30b7\u30e3\u30ea\u30b9\u30c8 \u9078\u629e\u7684 \u9ad8 \u4e2d \u4e2d \u9ad8 IDM\/\u30d5\u30a1\u30a6\u30f3\u30c9\u30ea\u5185\u306e\u30ad\u30e3\u30d7\u30c6\u30a3\u30d6\u30d7\u30ed\u30c7\u30e5\u30fc\u30b5\u30fc \u9078\u629e\u7684 \u9ad8 \u4e2d \u4e2d \u9ad8 \u6280\u8853\u4e3b\u5c0e\u306e\u30b9\u30bf\u30fc\u30c8\u30a2\u30c3\u30d7\u304a\u3088\u3073\u30b9\u30d4\u30f3\u30aa\u30d5 \u9078\u629e\u7684 \u9ad8 \u4e2d \u4e2d \u9ad8 \u8a8d\u5b9a\u30c7\u30a3\u30b9\u30c8\u30ea\u30d3\u30e5\u30fc\u30bf\u30fc\u304a\u3088\u3073\u30c7\u30b6\u30a4\u30f3\u30a4\u30f3\u30c1\u30e3\u30cd\u30eb\u30b9\u30da\u30b7\u30e3\u30ea\u30b9\u30c8 \u9078\u629e\u7684 \u9ad8 \u4e2d \u4e2d \u9ad8 \u30e2\u30b8\u30e5\u30fc\u30eb\u3001\u76f8\u4e92\u63a5\u7d9a\u304a\u3088\u3073\u30b5\u30d6\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u30b9\u30da\u30b7\u30e3\u30ea\u30b9\u30c8 \u9078\u629e\u7684 \u9ad8 \u4e2d \u4e2d \u9ad8"}