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\u65e5\u672c\u306e\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u30c6\u30c8\u30e9\u30d5\u30eb\u30aa\u30ea\u30c9\u5e02\u5834\u306f\u3001\u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u3001\u96fb\u6c17\u6a5f\u5668\u3001\u90e8\u54c1\u3001\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u3001\u6280\u8853\u306e\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30c1\u30a7\u30fc\u30f3\u5185\u3067\u91cd\u8981\u306a\u4e2d\u9593\u6295\u5165\u7269\u3068\u3057\u3066\u6a5f\u80fd\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002SiF\u2084\u306f\u7121\u8272\u3067\u8150\u98df\u6027\u304c\u3042\u308a\u3001\u6709\u6bd2\u306a\u30ac\u30b9\u3067\u3001\u5316\u5b66\u6c17\u76f8\u6210\u9577\uff08CVD\uff09\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306b\u304a\u3051\u308b\u91cd\u8981\u306a\u524d\u99c6\u4f53\u3068\u3057\u3066\u6a5f\u80fd\u3057\u3001\u7279\u306b\u534a\u5c0e\u4f53\u88fd\u9020\u306b\u304a\u3051\u308b\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u30ca\u30a4\u30c8\u30e9\u30a4\u30c9\uff08Si\u2083N\u2084\uff09\u304a\u3088\u3073\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u30aa\u30ad\u30b7\u30ca\u30a4\u30c8\u30e9\u30a4\u30c9\u30d5\u30a3\u30eb\u30e0\u306e\u5806\u7a4d\u3001\u306a\u3089\u3073\u306b\u5149\u30d5\u30a1\u30a4\u30d0\u30fc\u524d\u99c6\u4f53\u88fd\u9020\u306e\u305f\u3081\u306e\u4fee\u6b63\u5316\u5b66\u6c17\u76f8\u6210\u9577\uff08MCVD\uff09\u306b\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u5e02\u5834\u306f\u3001\u65e5\u672c\u306e\u4e16\u754c\u7684\u306b\u91cd\u8981\u306a\u534a\u5c0e\u4f53\u304a\u3088\u3073\u5149\u30d5\u30a1\u30a4\u30d0\u30fc\u7523\u696d\u306b\u69cb\u9020\u7684\u306b\u7d50\u3073\u3064\u3044\u3066\u304a\u308a\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u7523\u696d\u306f\u56fd\u5185\u4f9b\u7d66\u3055\u308c\u308bSiF\u2084\u306e\u5927\u90e8\u5206\u3092\u6d88\u8cbb\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 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S2\/S8\u306f\u3001\u65e5\u672c\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u30d5\u30a1\u30d6\u3084\u5149\u30d5\u30a1\u30a4\u30d0\u30fc\u88fd\u9020\u696d\u8005\u306b\u3088\u3063\u3066\u5e83\u304f\u63a1\u7528\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u57fa\u6e96\u306b\u6e96\u62e0\u3059\u308b\u3053\u3068\u306f\u3001Tier-1\u30d0\u30a4\u30e4\u30fc\u3068\u306e\u8cc7\u683c\u53d6\u5f97\u3092\u76ee\u6307\u3059\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u30fc\u306b\u3068\u3063\u3066\u5fc5\u9808\u3067\u3059\u3002\u96fb\u5b50\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9\u306eSiF\u2084\u306f\u3001\u91d1\u5c5e\u4e0d\u7d14\u7269\uff08\u901a\u5e38\u306f\u5143\u7d20\u3054\u3068\u306b"}