1 報告の範囲
1.1 市場概要
1.2 対象期間
1.3 研究目的
1.4 市場調査手法
1.5 研究プロセスとデータソース
1.6 経済指標
1.7 対象通貨
1.8 市場推計の留意点
2 執行要約
2.1 世界市場の概要
2.1.1 グローバルドライエッチングシステム年間売上高（2020年～2031年）
2.1.2 地域別ドライエッチングシステムの世界市場動向（2020年、2024年、2031年）
2.1.3 ドライエッチングシステムの世界市場動向（地域別）2020年、2024年、2031年
2.2 ドライエッチングシステムの種類別セグメント
2.2.1 導体エッチング
2.2.2 絶縁体エッチング
2.2.3 多結晶シリコンエッチング
2.3 ドライエッチングシステムの販売量（タイプ別）
2.3.1 グローバルドライエッチングシステム売上高市場シェア（種類別）（2020-2025）
2.3.2 グローバルドライエッチングシステム売上高と市場シェア（種類別）（2020-2025）
2.3.3 グローバルドライエッチングシステム販売価格（種類別）（2020-2025）
2.4 ドライエッチングシステムセグメント別（用途）
2.4.1 半導体
2.4.2 電子機器
2.5 ドライエッチングシステムの販売額（用途別）
2.5.1 グローバルドライエッチングシステム販売市場シェア（用途別）（2020-2025）
2.5.2 グローバルドライエッチングシステム売上高と市場シェア（用途別）（2020-2025）
2.5.3 アプリケーション別グローバルドライエッチングシステム販売価格（2020-2025）
3 グローバル企業別
3.1 グローバルドライエッチングシステム市場における企業別内訳データ
3.1.1 グローバルドライエッチングシステム年間販売額（企業別）（2020-2025）
3.1.2 グローバルドライエッチングシステム販売市場シェア（企業別）（2020-2025）
3.2 グローバルドライエッチングシステム年間売上高（企業別）（2020-2025）
3.2.1 グローバルドライエッチングシステム企業別売上高（2020-2025）
3.2.2 グローバルドライエッチングシステム売上高市場シェア（企業別）（2020-2025）
3.3 グローバルドライエッチングシステム販売価格（企業別）
3.4 主要メーカーのドライエッチングシステム生産地域分布、販売地域、製品タイプ
3.4.1 主要メーカーのドライエッチングシステム製品立地分布
3.4.2 主要メーカーのドライエッチングシステム製品ラインナップ
3.5 市場集中率分析
3.5.1 競争環境分析
3.5.2 集中率（CR3、CR5、CR10）および（2023-2025）
3.6 新製品と潜在的な新規参入企業
3.7 市場M&A活動と戦略
4 地域別ドライエッチングシステムの世界歴史的動向
4.1 世界ドライエッチングシステム市場規模（地域別）（2020-2025）
4.1.1 地域別グローバルドライエッチングシステム年間売上高（2020-2025）
4.1.2 地域別グローバルドライエッチングシステム年間売上高（2020-2025）
4.2 世界ドライエッチングシステム市場規模（地域別）（2020-2025）
4.2.1 グローバルドライエッチングシステム年間売上高（国/地域別）（2020-2025）
4.2.2 グローバルドライエッチングシステム年間売上高（地域別）（2020-2025）
4.3 アメリカズ ドライエッチングシステム販売成長率
4.4 アジア太平洋地域（APAC）のドライエッチングシステム販売成長
4.5 欧州のドライエッチングシステム販売成長
4.6 中東・アフリカ地域 ドライエッチングシステム販売成長率
5 アメリカ
5.1 アメリカズ ドライエッチングシステム販売額（国別）
5.1.1 アメリカズ ドライエッチングシステム販売額（国別）（2020-2025）
5.1.2 アメリカズ ドライエッチングシステム売上高（国別）（2020-2025）
5.2 アメリカズ ドライエッチングシステム販売量（2020-2025）
5.3 アメリカズ ドライエッチングシステム販売量（用途別）（2020-2025）
5.4 アメリカ合衆国
5.5 カナダ
5.6 メキシコ
5.7 ブラジル
6 アジア太平洋
6.1 APAC地域別ドライエッチングシステム販売額
6.1.1 APAC地域別ドライエッチングシステム販売額（2020-2025）
6.1.2 APAC地域別ドライエッチングシステム売上高（2020-2025）
6.2 アジア太平洋地域（APAC）のドライエッチングシステム販売量（2020-2025）
6.3 APAC ドライエッチングシステムの販売量（地域別）（2020-2025）
6.4 中国
6.5 日本
6.6 韓国
6.7 東南アジア
6.8 インド
6.9 オーストラリア
6.10 中国・台湾
7 ヨーロッパ
7.1 欧州のドライエッチングシステム（国別）
7.1.1 欧州のドライエッチングシステム販売額（国別）（2020-2025）
7.1.2 欧州のドライエッチングシステム売上高（国別）（2020-2025）
7.2 欧州のドライエッチングシステム販売量（2020-2025年）
7.3 欧州ドライエッチングシステム市場規模（用途別）（2020-2025）
7.4 ドイツ
7.5 フランス
7.6 イギリス
7.7 イタリア
7.8 ロシア
8 中東・アフリカ
8.1 中東・アフリカ ドライエッチングシステム（国別）
8.1.1 中東・アフリカ地域 ドライエッチングシステム販売額（国別）（2020-2025）
8.1.2 中東・アフリカ地域 ドライエッチングシステム 売上高（国別）（2020-2025）
8.2 中東・アフリカ地域 ドライエッチングシステム タイプ別販売額（2020-2025）
8.3 中東・アフリカ地域 ドライエッチングシステム アプリケーション別販売量（2020-2025）
8.4 エジプト
8.5 南アフリカ
8.6 イスラエル
8.7 トルコ
8.8 GCC諸国
9 市場動向、課題、およびトレンド
9.1 市場ドライバーと成長機会
9.2 市場課題とリスク
9.3 業界の動向
10 製造コスト構造分析
10.1 原材料とサプライヤー
10.2 ドライエッチングシステムの製造コスト構造分析
10.3 ドライエッチングシステムの製造プロセス分析
10.4 ドライエッチングシステムの産業チェーン構造
11 マーケティング、販売代理店および顧客
11.1 販売チャネル
11.1.1 直接チャネル
11.1.2 間接チャネル
11.2 ドライエッチングシステムの販売代理店
11.3 ドライエッチングシステム顧客
12 地域別ドライエッチングシステムの世界市場予測レビュー
12.1 地域別グローバルドライエッチングシステム市場規模予測
12.1.1 地域別グローバルドライエッチングシステム予測（2026-2031）
12.1.2 地域別グローバルドライエッチングシステム年間売上高予測（2026-2031）
12.2 アメリカ地域別予測（2026-2031）
12.3 アジア太平洋地域別予測（2026-2031）
12.4 欧州地域別予測（2026-2031年）
12.5 中東・アフリカ地域別予測（2026-2031年）
12.6 グローバルドライエッチングシステム市場予測（タイプ別）（2026-2031年）
12.7 グローバルドライエッチングシステム市場予測（用途別）（2026-2031）
13 主要企業分析
13.1 プラズマエッチング
13.1.1 プラズマエッチング企業情報
13.1.2 プラズマエッチングドライエッチングシステム製品ポートフォリオと仕様
13.1.3 プラズマエッチングドライエッチングシステムの販売量、売上高、価格、粗利益率（2020-2025）
13.1.4 プラズマエッチング主要事業概要
13.1.5 プラズマエッチングの最新動向
13.2 日立
13.2.1 日立会社概要
13.2.2 日立ドライエッチングシステム製品ポートフォリオと仕様
13.2.3 日立ドライエッチングシステムの販売、売上高、価格、粗利益率（2020-2025）
13.2.4 日立の主要事業概要
13.2.5 日立の最新動向
13.3 パナソニック
13.3.1 パナソニック会社概要
13.3.2 パナソニックのドライエッチングシステム製品ポートフォリオと仕様
13.3.3 パナソニックのドライエッチングシステムの販売、売上高、価格、粗利益率（2020-2025）
13.3.4 パナソニックの主要事業概要
13.3.5 パナソニックの最新動向
13.4 ティエリー・コーポレーション
13.4.1 ティエリー・コーポレーション 会社概要
13.4.2 ティエリー・コーポレーション ドライエッチングシステム製品ポートフォリオと仕様
13.4.3 ティエリー・コーポレーション ドライエッチングシステムの販売、売上高、価格、粗利益率（2020-2025）
13.4.4 ティエリー・コーポレーション 主な事業概要
13.4.5 ティエリー・コーポレーションの最新動向
13.5 サムコ
13.5.1 サムコ会社概要
13.5.2 サムコ ドライエッチングシステム 製品ポートフォリオと仕様
13.5.3 サムコ ドライエッチングシステムの販売、売上高、価格、粗利益率（2020-2025）
13.5.4 サムコ 主な事業概要
13.5.5 サムコの最新動向
13.6 SPTSテクノロジーズ
13.6.1 SPTS Technologies 会社概要
13.6.2 SPTS Technologies ドライエッチングシステム製品ポートフォリオと仕様
13.6.3 SPTS Technologies ドライエッチングシステムの販売、売上高、価格、粗利益率（2020-2025）
13.6.4 SPTS Technologies 主な事業概要
13.6.5 SPTS Technologiesの最新動向
13.7 シバウラ
13.7.1 芝浦会社情報
13.7.2 芝浦ドライエッチングシステム製品ポートフォリオと仕様
13.7.3 芝浦ドライエッチングシステムの販売、売上高、価格、粗利益率（2020-2025）
13.7.4 芝浦主要事業概要
13.7.5 芝浦の最新動向
13.8 オックスフォード・インストゥルメンツ
13.8.1 オックスフォード・インストゥルメンツ会社概要
13.8.2 オックスフォード・インストゥルメンツ ドライエッチングシステム製品ポートフォリオと仕様
13.8.3 オックスフォード・インストゥルメンツのドライエッチングシステムの販売、売上高、価格、粗利益率（2020-2025）
13.8.4 オックスフォード・インストゥルメンツ 主な事業概要
13.8.5 オックスフォード・インストゥルメンツの最新動向
14 研究結果と結論
14.8.2 オックスフォード・インストゥルメンツ ドライエッチングシステム 製品ポートフォリオと仕様

1 Scope of the Report
1.1 Market Introduction
1.2 Years Considered
1.3 Research Objectives
1.4 Market Research Methodology
1.5 Research Process and Data Source
1.6 Economic Indicators
1.7 Currency Considered
1.8 Market Estimation Caveats
2 Executive Summary
2.1 World Market Overview
2.1.1 Global Dry Etching System Annual Sales 2020-2031
2.1.2 World Current & Future Analysis for Dry Etching System by Geographic Region, 2020, 2024 & 2031
2.1.3 World Current & Future Analysis for Dry Etching System by Country/Region, 2020, 2024 & 2031
2.2 Dry Etching System Segment by Type
2.2.1 The Conductor Etching
2.2.2 Dielectric Etch
2.2.3 Polycrystalline Silicon Etching
2.3 Dry Etching System Sales by Type
2.3.1 Global Dry Etching System Sales Market Share by Type (2020-2025)
2.3.2 Global Dry Etching System Revenue and Market Share by Type (2020-2025)
2.3.3 Global Dry Etching System Sale Price by Type (2020-2025)
2.4 Dry Etching System Segment by Application
2.4.1 Semiconductors
2.4.2 Electronic Devices
2.5 Dry Etching System Sales by Application
2.5.1 Global Dry Etching System Sale Market Share by Application (2020-2025)
2.5.2 Global Dry Etching System Revenue and Market Share by Application (2020-2025)
2.5.3 Global Dry Etching System Sale Price by Application (2020-2025)
3 Global by Company
3.1 Global Dry Etching System Breakdown Data by Company
3.1.1 Global Dry Etching System Annual Sales by Company (2020-2025)
3.1.2 Global Dry Etching System Sales Market Share by Company (2020-2025)
3.2 Global Dry Etching System Annual Revenue by Company (2020-2025)
3.2.1 Global Dry Etching System Revenue by Company (2020-2025)
3.2.2 Global Dry Etching System Revenue Market Share by Company (2020-2025)
3.3 Global Dry Etching System Sale Price by Company
3.4 Key Manufacturers Dry Etching System Producing Area Distribution, Sales Area, Product Type
3.4.1 Key Manufacturers Dry Etching System Product Location Distribution
3.4.2 Players Dry Etching System Products Offered
3.5 Market Concentration Rate Analysis
3.5.1 Competition Landscape Analysis
3.5.2 Concentration Ratio (CR3, CR5 and CR10) & (2023-2025)
3.6 New Products and Potential Entrants
3.7 Market M&A Activity & Strategy
4 World Historic Review for Dry Etching System by Geographic Region
4.1 World Historic Dry Etching System Market Size by Geographic Region (2020-2025)
4.1.1 Global Dry Etching System Annual Sales by Geographic Region (2020-2025)
4.1.2 Global Dry Etching System Annual Revenue by Geographic Region (2020-2025)
4.2 World Historic Dry Etching System Market Size by Country/Region (2020-2025)
4.2.1 Global Dry Etching System Annual Sales by Country/Region (2020-2025)
4.2.2 Global Dry Etching System Annual Revenue by Country/Region (2020-2025)
4.3 Americas Dry Etching System Sales Growth
4.4 APAC Dry Etching System Sales Growth
4.5 Europe Dry Etching System Sales Growth
4.6 Middle East & Africa Dry Etching System Sales Growth
5 Americas
5.1 Americas Dry Etching System Sales by Country
5.1.1 Americas Dry Etching System Sales by Country (2020-2025)
5.1.2 Americas Dry Etching System Revenue by Country (2020-2025)
5.2 Americas Dry Etching System Sales by Type (2020-2025)
5.3 Americas Dry Etching System Sales by Application (2020-2025)
5.4 United States
5.5 Canada
5.6 Mexico
5.7 Brazil
6 APAC
6.1 APAC Dry Etching System Sales by Region
6.1.1 APAC Dry Etching System Sales by Region (2020-2025)
6.1.2 APAC Dry Etching System Revenue by Region (2020-2025)
6.2 APAC Dry Etching System Sales by Type (2020-2025)
6.3 APAC Dry Etching System Sales by Application (2020-2025)
6.4 China
6.5 Japan
6.6 South Korea
6.7 Southeast Asia
6.8 India
6.9 Australia
6.10 China Taiwan
7 Europe
7.1 Europe Dry Etching System by Country
7.1.1 Europe Dry Etching System Sales by Country (2020-2025)
7.1.2 Europe Dry Etching System Revenue by Country (2020-2025)
7.2 Europe Dry Etching System Sales by Type (2020-2025)
7.3 Europe Dry Etching System Sales by Application (2020-2025)
7.4 Germany
7.5 France
7.6 UK
7.7 Italy
7.8 Russia
8 Middle East & Africa
8.1 Middle East & Africa Dry Etching System by Country
8.1.1 Middle East & Africa Dry Etching System Sales by Country (2020-2025)
8.1.2 Middle East & Africa Dry Etching System Revenue by Country (2020-2025)
8.2 Middle East & Africa Dry Etching System Sales by Type (2020-2025)
8.3 Middle East & Africa Dry Etching System Sales by Application (2020-2025)
8.4 Egypt
8.5 South Africa
8.6 Israel
8.7 Turkey
8.8 GCC Countries
9 Market Drivers, Challenges and Trends
9.1 Market Drivers & Growth Opportunities
9.2 Market Challenges & Risks
9.3 Industry Trends
10 Manufacturing Cost Structure Analysis
10.1 Raw Material and Suppliers
10.2 Manufacturing Cost Structure Analysis of Dry Etching System
10.3 Manufacturing Process Analysis of Dry Etching System
10.4 Industry Chain Structure of Dry Etching System
11 Marketing, Distributors and Customer
11.1 Sales Channel
11.1.1 Direct Channels
11.1.2 Indirect Channels
11.2 Dry Etching System Distributors
11.3 Dry Etching System Customer
12 World Forecast Review for Dry Etching System by Geographic Region
12.1 Global Dry Etching System Market Size Forecast by Region
12.1.1 Global Dry Etching System Forecast by Region (2026-2031)
12.1.2 Global Dry Etching System Annual Revenue Forecast by Region (2026-2031)
12.2 Americas Forecast by Country (2026-2031)
12.3 APAC Forecast by Region (2026-2031)
12.4 Europe Forecast by Country (2026-2031)
12.5 Middle East & Africa Forecast by Country (2026-2031)
12.6 Global Dry Etching System Forecast by Type (2026-2031)
12.7 Global Dry Etching System Forecast by Application (2026-2031)
13 Key Players Analysis
13.1 Plasma Etch
13.1.1 Plasma Etch Company Information
13.1.2 Plasma Etch Dry Etching System Product Portfolios and Specifications
13.1.3 Plasma Etch Dry Etching System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.1.4 Plasma Etch Main Business Overview
13.1.5 Plasma Etch Latest Developments
13.2 Hitachi
13.2.1 Hitachi Company Information
13.2.2 Hitachi Dry Etching System Product Portfolios and Specifications
13.2.3 Hitachi Dry Etching System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.2.4 Hitachi Main Business Overview
13.2.5 Hitachi Latest Developments
13.3 Panasonic
13.3.1 Panasonic Company Information
13.3.2 Panasonic Dry Etching System Product Portfolios and Specifications
13.3.3 Panasonic Dry Etching System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.3.4 Panasonic Main Business Overview
13.3.5 Panasonic Latest Developments
13.4 Thierry Corporation
13.4.1 Thierry Corporation Company Information
13.4.2 Thierry Corporation Dry Etching System Product Portfolios and Specifications
13.4.3 Thierry Corporation Dry Etching System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.4.4 Thierry Corporation Main Business Overview
13.4.5 Thierry Corporation Latest Developments
13.5 Samco
13.5.1 Samco Company Information
13.5.2 Samco Dry Etching System Product Portfolios and Specifications
13.5.3 Samco Dry Etching System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.5.4 Samco Main Business Overview
13.5.5 Samco Latest Developments
13.6 SPTS Technologies
13.6.1 SPTS Technologies Company Information
13.6.2 SPTS Technologies Dry Etching System Product Portfolios and Specifications
13.6.3 SPTS Technologies Dry Etching System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.6.4 SPTS Technologies Main Business Overview
13.6.5 SPTS Technologies Latest Developments
13.7 Shibaura
13.7.1 Shibaura Company Information
13.7.2 Shibaura Dry Etching System Product Portfolios and Specifications
13.7.3 Shibaura Dry Etching System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.7.4 Shibaura Main Business Overview
13.7.5 Shibaura Latest Developments
13.8 Oxford Instruments
13.8.1 Oxford Instruments Company Information
13.8.2 Oxford Instruments Dry Etching System Product Portfolios and Specifications
13.8.3 Oxford Instruments Dry Etching System Sales, Revenue, Price and Gross Margin (2020-2025)
13.8.4 Oxford Instruments Main Business Overview
13.8.5 Oxford Instruments Latest Developments
14 Research Findings and Conclusion

※参考情報 ドライエッチング装置は、半導体やMEMS（微小電気機械システム）、光学デバイスなどの微細加工において、材料を選択的に除去するプロセスに用いられる装置です。これは、湿式エッチング（液体を用いるエッチング）に対して、ガス状の化学物質を使用することで材料を削り取る手法です。このようにして、非常に高いアスペクト比や複雑な形状を持つパターンを作成できるのがドライエッチングの大きな特徴です。 ドライエッチングの主な特徴として、まず第一に、エッチングの精度が挙げられます。ドライエッチングは、ガス状の材料を使用して、基板表面での選択的な反応を引き起こすため、非常に細かいパターンを形成することができます。このため、ナノスケールの構造物の Fabrication において特に重要な役割を果たしています。 次に、エッチングの選択性もドライエッチングの特徴です。異なる材料に対する反応性の違いを利用することで、特定の層だけを選択的に除去することが可能です。これにより、多層構造の加工が効率よく行えるようになります。さらに、ドライエッチングは、湿式エッチングに比べて環境への影響が少ないため、よりクリーンなプロセスとされています。 ドライエッチング装置は大きく分けて、反応性イオンエッチング（RIE）、プラズマエッチング、深い反応性イオンエッチング（DRIE）、およびアトモスフェリックエッチング（AE）など、いくつかの種類があります。 反応性イオンエッチング（RIE）は、エッチングの際にイオンを生成し、それを基板に向けて加速することにより、材料を除去する技術です。RIEは、等方的なエッチングと非等方的なエッチングの中間に位置し、比較的高い方向性を持つため、立体的な構造物にも対応できます。 プラズマエッチングは、プラズマを利用してエッチングを行う方法です。プラズマ中で生成される活性成分が基板表面と反応し、材料を除去します。プラズマエッチングは、化学反応を利用するため、マスクのパターンに沿った高精度なエッチングが可能です。 深い反応性イオンエッチング（DRIE）は、主に高アスペクト比の微細加工に用いられる技術で、特にMEMSデバイスの製造で重要視されています。DRIEは、イオン束を用いたエッチングと化学的エッチングの二つのプロセスを交互に行うことで、非常に高いアスペクト比を実現します。 アトモスフェリックエッチング（AE）は、大気圧下で行われるエッチングプロセスで、主に製造コストの低減やスケールアップが期待される技術です。AEは通常のドライエッチングに比べて装置が簡素化でき、コスト効果が高いというメリットがありますが、エッチング精度や選択性は高圧プラズマエッチングに劣ることが多いです。 ドライエッチング装置の用途は多岐にわたります。半導体製造においては、トランジスタや配線、メモリなど、様々なデバイスのパターン形成に利用されています。また、MEMS技術では、センサーやアクチュエータなどの微細構造を作るために重要です。さらに、光学デバイスや微細光学構造の形成にも用いられています。 ドライエッチングに関連する技術としては、エッチングプロセスの制御技術やシミュレーション技術があります。これらの技術は、エッチングプロセスの最適化や新材料の発見に寄与しています。また、現代の製造プロセスにおいては、AIや機械学習を用いた生産管理や品質管理技術も搭載されるようになり、エッチングプロセスの効率性や精度が向上しています。 今後の展望として、ドライエッチング技術はさらなる進化が期待されています。特にナノスケールでの加工や、新しい材料（2次元材料やナノ粒子など）のエッチング技術の開発が進むことで、より複雑で高機能なデバイスの製造が可能になるでしょう。また、環境に配慮したエッチング剤の開発や、サスティナブルな製造プロセスの探求も今後の重要なテーマとなるでしょう。 ドライエッチング装置は、半導体やMEMSデバイスにとって不可欠な技術であり、今後の先端技術の発展にも大きな影響を与える存在であると言えます。最新の研究開発においては、より高効率かつ高品質なエッチングを実現するための多様なアプローチが模索されているため、業界の進展に注目が集まります。

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